濺射靶的制作方法
【專利摘要】一種濺射靶，包括靶材和背板，背板為長條狀，背板包括多段依次連接的分背板，分背板與相鄰分背板的連接處設置有連接面，且連接面的形狀與相鄰分背板的連接面的形狀相適配；靶材為多塊，靶材一一對應的粘貼在分背板上，且靶材的形狀與分背板的形狀相適配。上述濺射靶，背板包括多段相對較小的分背板，靶材和分背板一一對應，一個分背板粘貼一塊靶材。更換時，只需要將快用完的靶材換掉，不僅節約了靶材，而且保證了靶材的均勻度，有助于提高濺鍍的質量。分背板相連處設置相互匹配的連接面，可以防止濺射過程中濺鍍原料隨縫隙濺入到陰極背板上，影響到陰極的使用質量。
【專利說明】濺射靶
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及濺鍍的【技術領域】，特別是涉及一種濺射靶。
【背景技術】
[0002] -般的銅背板比較長，銅背板的同一側上粘貼兩塊靶材。有時在需要更換靶材時， 一塊靶材快用完了，但另一塊還剩很多，但是由于兩塊靶材粘在同一個銅背板上，所以兩塊 靶材要同時拆下來。因此會造成靶材浪費，增加了成本，同時也會增加工時,提高了人力成 本。 實用新型內容
[0003] 基于此，有必要針對長背板容易造成靶材浪費的問題，提供一種濺射靶。
[0004] 一種濺射靶，包括背板和靶材；
[0005] 所述背板為長條狀，所述背板包括多段依次連接的分背板，所述分背板與相鄰所 述分背板的連接處設置有連接面，且所述連接面的形狀與相鄰所述分背板的所述連接面的 形狀相適配；
[0006] 所述靶材為多塊，所述靶材一一對應的粘貼在所述分背板上，且所述靶材的形狀 與所述分背板的形狀相適配。
[0007] 在其中一個實施例中，所述連接面為斜面。
[0008] 在其中一個實施例中，所述連接面與所述背板延伸平面的夾角為15度至75度。
[0009] 在其中一個實施例中，所述連接面上設置有階形部。
[0010] 在其中一個實施例中，所述階形部包括平行于所述背板延伸平面的平行面。
[0011] 在其中一個實施例中，所述連接面為曲面。
[0012] 在其中一個實施例中，所述連接面為彎折面。
[0013] 在其中一個實施例中，所述背板的兩長邊處設置有臺階部。
[0014] 在其中一個實施例中，所述分背板的材質為銅。
[0015] 在其中一個實施例中，所述靶材和所述分背板之間設有連接層，所述連接層為銦 層。
[0016] 上述濺射靶，背板包括多段相對較小的分背板，靶材和分背板一一對應，一個分背 板粘貼一塊靶材。更換時，只需要將快用完的靶材換掉，不僅節約了靶材，而且保證了靶材 的均勻度，有助于提高濺鍍的質量。分背板相連處設置相互匹配的連接面，可以防止濺射過 程中濺鍍原料隨縫隙濺入到陰極背板上，影響到陰極的使用質量。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017] 圖1為一實施例濺射靶的示意圖；
[0018] 圖2為圖1所示濺射靶的A處放大圖；
[0019] 圖3為圖1所示濺射靶的分背板的示意圖；
[0020] 圖4為圖1所示濺射靶的側視圖；
[0021] 圖5為圖4所示濺射靶的B處放大圖；
[0022] 圖6為圖4所示濺射靶的分背板的側視圖；
[0023] 圖7為又一實施例濺射靶的示意圖；
[0024] 圖8為又一實施例濺射靶的示意圖。
【具體實施方式】
[0025] 為了便于理解本實用新型，下面將參照相關附圖對濺射靶進行更全面的描述。附 圖中給出了濺射靶的首選實施例。但是，濺射靶可以以許多不同的形式來實現，并不限于本 文所描述的實施例。相反地，提供這些實施例的目的是使對濺射靶的公開內容更加透徹全 面。
[0026] 除非另有定義，本文所使用的所有的技術和科學術語與屬于本實用新型的技術領 域的技術人員通常理解的含義相同。本文中在濺射靶的說明書中所使用的術語只是為了描 述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本實用新型。本文所使用的術語"及/或"包括一 個或多個相關的所列項目的任意的和所有的組合。
[0027] 如圖1、圖2所示，一實施方式的濺射靶10包括靶材100和背板200,背板200為 長條狀，同時參見圖3,背板200包括多段依次連接的分背板220。同時參見圖4至圖6,分 背板220與相鄰分背板220的連接處設置有連接面222,且連接面222的形狀與相鄰分背板 220的連接面222的形狀相適配。靶材100為多塊，靶材100 -一對應的粘貼在分背板220 上，且靶材100的形狀與分背板220的形狀相適配。分背板220的材質可以是銅，靶材100 和分背板220之間設有連接層，連接層為銦層。靶材100和分背板220可以通過金屬銦連 接，即金屬銦加熱至170攝氏度左右，可以是140攝氏度至200攝氏度之間，金屬銦融化后 作為粘貼劑將靶材1〇〇和分背板220粘貼在一起。
[0028] 本實施例的背板200包括多段相對較小的分背板220,靶材100和分背板220-- 對應，一個分背板220粘貼一塊靶材100。哪塊靶材100用完了就相應的更換哪塊靶材100， 其他分背板220上的靶材100不必更換，只需要將快用完的靶材100換掉，節約了靶材100， 降低了原料成本。而且將背板200分為小塊，有助于控制背板200各個區域的靶材100的 量，保證了靶材的均勻度，有助于提高濺鍍的質量。分背板220相連處設置相互匹配的連接 面222,可以防止濺射過程中濺鍍原料隨縫隙濺入到陰極背板上，影響到陰極的使用質量。
[0029] 參見圖1至圖3,在其中一個實施例中，背板200的兩長邊處設置有臺階部240。臺 階部240可以位于每一個分背板220上，由于分背板220在加熱時會受熱膨脹，可以通過臺 階部240將分背板220固定在濺射裝置上，防止分背板220變形。
[0030] 在其中一個實施例中，連接面222可以是斜面、曲面或彎折面。圖4至圖6所示 的實施例中，連接面222為斜面，連接面222與背板200延伸平面的夾角可以是15度至75 度，圖4至圖6所示的實施例中，連接面222與背板200延伸方向的夾角為45度。夾角在 15度至75度之間與直角相比，濺鍍原料不容易進入兩分背板220之間的縫隙，即使有少量 的濺鍍原料進入該縫隙，也會堆積在縫隙的邊緣，不會進入縫隙的中部。因此可以阻止濺鍍 原料隨縫隙濺入到陰極背板上。
[0031] 同時參見圖7,在其中一個實施例中，連接面222上設置有階形部224,階形部224 包括平行于背板200延伸平面的平行面。如果有少量的濺鍍原料進入兩分背板220之間的 縫隙，平行面可以起到攔截濺鍍原料的作用，進一步防止濺鍍原料進入縫隙的中部。
[0032] 同時參見圖8,在其中一個實施例中，連接面222為曲面，兩分背板220之間的朝向 靶材100-側的縫隙開口處，曲面的切向角度在15度至75度之間，也可以防止濺射過程中 濺鍍原料濺入縫隙。
[0033] 以上實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并 不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術 人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本 實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
【權利要求】
1. 一種濺射靶，其特征在于，包括背板和靶材； 所述背板為長條狀，所述背板包括多段依次連接的分背板，所述分背板與相鄰所述分 背板的連接處設置有連接面，且所述連接面的形狀與相鄰所述分背板的所述連接面的形狀 相適配； 所述靶材為多塊，所述靶材一一對應的粘貼在所述分背板上，且所述靶材的形狀與所 述分背板的形狀相適配。
2. 根據權利要求1所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面為斜面。
3. 根據權利要求2所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面與所述背板延伸平面的夾 角為15度至75度。
4. 根據權利要求2所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面上設置有階形部。
5. 根據權利要求4所述的濺射靶，其特征在于，所述階形部包括平行于所述背板延伸 平面的平行面。
6. 根據權利要求1所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面為曲面。
7. 根據權利要求1所述的濺射靶，其特征在于，所述連接面為彎折面。
8. 根據權利要求1至7任一項所述的濺射靶，其特征在于，所述背板的兩長邊處設置有 臺階部。
9. 根據權利要求8所述的濺射靶，其特征在于，所述分背板的材質為銅。
10. 根據權利要求9所述的濺射靶，其特征在于，所述靶材和所述分背板之間設有連接 層，所述連接層為銦層。
【文檔編號】C23C14/34GK203890432SQ201420160844
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年4月3日 優先權日:2014年4月3日
【發明者】張迅, 陽威, 歐陽小園, 易偉華 申請人:江西沃格光電股份有限公司