技術總結
本發明公開了一種含類金剛石復合涂層及其制備方法和含有含類金剛石復合涂層的耐磨器件。本發明含類金剛石復合涂層包括結合在基底表面的過渡金屬層，由所述基底向所述過渡金屬層延伸方法，還包括依次結合在所述過渡金屬層表面的過渡金屬硼化物層、類金剛石層，且所述過渡金屬硼化物層與類金剛石層至少為1次的交替層疊結合，并在最外層為所述過渡金屬硼化物層。含類金剛石復合涂層能夠實現充分緩解類金剛石層本身的內應力，提高了含類金剛石復合涂層整體韌性以及耐磨耐腐蝕性能。該制備方法避免了繁瑣的制備工藝，不僅保證了沉積的含類金剛石復合涂層性能的穩定性，而且有效降低了其制備成本。
技術研發人員：唐永炳;朱海莉;蔣春磊;申京受
受保護的技術使用者：深圳先進技術研究院
文檔號碼：201611093220
技術研發日：2016.12.01
技術公布日：2017.05.31