三點支撐三點換位工件架的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種工件架，具體的說是一種三點支撐三點換位工件架。
【背景技術】
[0002]應用于磁控濺射鍍膜機上的工件架，主要是支撐、固定被鍍膜樣品，使磁控靶對其外表面進行鍍膜；依據被鍍樣品形狀、尺寸、工位要求及鍍膜要求，工件架結構有很大區別；依據樣品形狀及大小確定工件架支撐、固定結構及尺寸，依據工位要求(一次安裝幾只樣品)及鍍膜要求(全表面鍍膜或指定表面鍍膜)確定工件架的結構；為保證樣品膜的均勻性，工件架除支撐、固定樣品功能外，需要帶有自轉功能，磁控靶固定不動正對樣品表面，工件架自轉，實現樣品表面均勻鍍膜。
[0003]現有針對球形樣品及半球形樣品全表面鍍膜，由于工件架需支撐固定樣品，樣品被支撐、固定面鍍膜時不能鍍到，需要分多次(兩次以上)鍍膜來實現全表面鍍膜，多次鍍膜會對膜的均勻性造成影響，支撐、固定面比其余位置膜層單薄，同時多次裝卡易對樣品外表面膜層造成傷害，被鍍樣品的合格率較低。
[0004]單個樣品多次鍍膜，使鍍膜時間加長，工作效率低。如膜層為對人體有害膜層，多次鍍膜會致使操作人員頻繁接觸被鍍樣品，即使操作人員已做好防護措施，多次鍍膜也增大了操作人員被傷害的危險性。
【實用新型內容】
[0005]針對現有技術中磁控濺射鍍膜機被鍍樣品的合格率較低、工作效率低等不足，本實用新型要解決的技術問題是提供一種可提高工作效率、增大樣品鍍膜的成功率的三點支撐三點換位工件架。
[0006]為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是:
[0007]本實用新型三點支撐三點換位工件架，包括自轉電機、自轉傳動機構、三點換位電機以及換位機構，其中自轉電機的輸出端經自轉傳動機構與工件架傳動連接，三點換位電機驅動換位機構轉動換位。
[0008]換位機構包括三點換位升降滾珠絲桿、升降盤、導向機構、支撐柱、固定盤以及換位支桿，其中換位升降滾珠絲桿的底端通過底腳固定于安裝底盤上，頂端與升降盤抵接，導向機構豎直設置，穿置于升降盤中，升降盤上布置多個用于安裝支撐點固定盤的支撐柱，安裝支撐點固定盤上設置三個換位支桿。
[0009]本實用新型還設有升降換位導軸，其穿置于升降盤的邊部。
[0010]升降換位導軸上端設有一支撐輪，與一自轉從動齒輪機構外緣轉動接觸。
[0011]本實用新型還設有負偏壓機構，其為一環形，安裝于自轉從動齒輪機構上，與三個固定支撐點和三個換位支撐點電連接。
[0012]本實用新型還具有擋板，其設于自轉從動齒輪機構的上方。
[0013]自轉傳動機構包括自轉電機、自轉主動齒輪機構以及自轉從動齒輪機構，其中自轉電機的輸出端與自轉主動齒輪機構傳動連接，自轉主動齒輪機構與自轉從動齒輪機構嚙合。本實用新型具有以下有益效果及優點:
[0014]1.本實用新型針對半球形或球形樣品單工位、全表面鍍膜，三點支撐三點換位工件架可實現一次成膜，不需要多次鍍膜。
[0015]2.應用本實用新型可一次成膜，不僅提高了工作效率，同時避免了多次鍍膜對膜表面的損傷，提高了樣品鍍膜合格率。
[0016]3.本實用新型采用三點支撐三點換位工件架鍍膜，減少了操作人員與被鍍樣品直接接觸次數，間接保護了操作人員，避免造成人身損害。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型三點固定支撐狀態示意圖；
[0018]圖2為本實用新型三點換位支撐狀態示意圖。
[0019]其中，I為自轉電機，2為自轉主動齒輪機構，3為三點換位支撐點導向機構，4為三個固定支撐點，5為半球樣品，6為三個換位支撐點，7為自轉從動齒輪機構，8為負偏壓機構，9為三點換位升降滾珠絲桿，10為三點換位電機，11為安裝底盤，12為升降盤，13為升降換位導軸，14為換位支桿，15為固定支桿，16為支撐柱，17為支撐點固定盤，18為擋板，
【具體實施方式】
[0020]下面結合說明書附圖對本發明作進一步闡述。
[0021]如圖1所示，本實用新型三點支撐三點換位工件架包括自轉電機1、自轉傳動機構、三點換位電機10以及換位機構，其中自轉電機I的輸出端經自轉傳動機構與工件架傳動連接，三點換位電機10驅動換位機構轉動換位。
[0022]換位機構包括三點換位升降滾珠絲桿9、升降盤12、導向機構3、支撐柱16、固定盤17以及換位支桿14，其中換位升降滾珠絲桿9的底端通過底腳固定于安裝底盤11上，頂端支撐升降盤12，導向機構3豎直設置，穿置于升降盤12中，升降盤12上布置多個用于安裝支撐點固定盤17的支撐柱16，安裝支撐點固定盤17上設置三個換位支桿14。
[0023]自轉傳動機構包括自轉電機1、自轉主動齒輪機構2以及自轉從動齒輪機構7，其中自轉電機I的輸出端與自轉主動齒輪機構2傳動連接，自轉主動齒輪機構2與自轉從動齒輪機構7嚙合。
[0024]為了使升降動作穩定，本實用新型還設有升降換位導軸13，其穿置于升降盤12的邊部。升降換位導軸13上端設有一支撐輪，與一自轉從動齒輪機構7外緣轉動接觸。
[0025]還設有負偏壓機構8，其為一環形，安裝于自轉從動齒輪機構7上，與三個固定支撐點和三個換位支撐點電連接。
[0026]為了防止齒輪機構被鍍膜，本實用新型還設置了擋板18，其設于自轉從動齒輪機構7的上方。
[0027]所有部件安裝于11安裝底盤上；樣品自轉依靠I自轉電機驅動2自轉主動齒輪機構轉動帶動7自轉從動齒輪機構轉動實現5樣品自轉；支點換位依靠10三點換位電機驅動9為三點換位升降滾珠絲桿通過13升降換位導軸帶動12升降盤上下運動，實現三個固定支撐點與三個換位支撐點切換。
[0028]負片壓機構為樣品鍍膜時給樣品加一定負電壓，目的增加鍍膜牢固度，其與六個支點連接。
[0029]以直徑Φ70πιπι半球形樣品(球面向上)，單工位、全表面鍍膜為例，需要三只磁控靶分別排布于樣品正下方、正上方及側方，同時樣品于工件架上自轉，三點支撐三點換位形式實現樣品外表面一次鍍膜成型。
[0030]三點支撐三點換位工件架樣品自轉由一個電機驅動，齒輪傳動，實現樣品自轉。
[0031]三點支撐三點換位工件架為保證一次全表面鍍膜，采用均布六個支撐點，其中三個支撐點不動，支撐、固定半球形樣品，依靠兩只電機驅動，兩套滾珠絲杠傳動，實現另外三個支撐點上下升降，實現與不動的三個支撐點，換位支撐。
[0032]采用三個支撐點支撐、固定樣品，可減少樣品被遮擋面積，同時保證樣品穩定性；樣品先裝卡于三個不動的支撐點上，進行鍍膜，只有三個支撐點未被鍍膜，依據鍍膜工藝要求鍍膜一定時間后，在不停止鍍膜的情況下，啟動另外三個換位支撐點，與三個不動支撐點換位支撐，依據鍍膜工藝要求鍍膜一定時間，此時樣品外表面全部被鍍膜。
【主權項】
1.一種三點支撐三點換位工件架，其特征在于:包括自轉電機、自轉傳動機構、三點換位電機以及換位機構，其中自轉電機的輸出端經自轉傳動機構與工件架傳動連接，三點換位電機驅動換位機構轉動換位。2.按權利要求1所述的三點支撐三點換位工件架，其特征在于:換位機構包括三點換位升降滾珠絲桿、升降盤、導向機構、支撐柱、固定盤以及換位支桿，其中換位升降滾珠絲桿的底端通過底腳固定于安裝底盤上，頂端與升降盤抵接，導向機構豎直設置，穿置于升降盤中，升降盤上布置多個用于安裝支撐點固定盤的支撐柱，安裝支撐點固定盤上設置三個換位支桿。3.按權利要求1所述的三點支撐三點換位工件架，其特征在于:還設有升降換位導軸，其穿置于升降盤的邊部。4.按權利要求3所述的三點支撐三點換位工件架，其特征在于:升降換位導軸上端設有一支撐輪，與一自轉從動齒輪機構外緣轉動接觸。5.按權利要求1所述的三點支撐三點換位工件架，其特征在于:還設有負偏壓機構，其為一環形，安裝于自轉從動齒輪機構上，與三個固定支撐點和三個換位支撐點電連接。6.按權利要求1所述的三點支撐三點換位工件架，其特征在于:還具有擋板，其設于自轉從動齒輪機構的上方。7.按權利要求1所述的三點支撐三點換位工件架，其特征在于:自轉傳動機構包括自轉電機、自轉主動齒輪機構以及自轉從動齒輪機構，其中自轉電機的輸出端與自轉主動齒輪機構傳動連接，自轉主動齒輪機構與自轉從動齒輪機構嚙合。
【專利摘要】本實用新型涉及一種三點支撐三點換位工件架，包括自轉電機、自轉傳動機構、三點換位電機以及換位機構，其中自轉電機的輸出端經自轉傳動機構與工件架傳動連接，三點換位電機驅動換位機構轉動換位；換位機構包括三點換位升降滾珠絲桿、升降盤、導向機構、支撐柱、固定盤以及換位支桿，其中換位升降滾珠絲桿的底端通過底腳固定于安裝底盤上，頂端與升降盤抵接，導向機構豎直設置，穿置于升降盤中，升降盤上布置多個用于安裝支撐點固定盤的支撐柱，安裝支撐點固定盤上設置三個換位支桿。本實用新型針可實現一次成膜，不需要多次鍍膜，提高工作效率的同時避免了多次鍍膜對膜表面的損傷，提高了樣品鍍膜合格率，間接保護了操作人員，避免造成人身損害。
【IPC分類】C23C14/50, C23C14/35
【公開號】CN204779793
【申請號】CN201520493199
【發明人】慈連鰲
【申請人】沈陽騰鰲真空技術有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2015年7月9日