一種靶材打磨用的平面磨床的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型屬于打磨設備領域，具體涉及一種靶材打磨用的平面磨床。
【背景技術】
[0002]鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。其中基板在生產完成后、濺射鍍膜前，需要進行打磨拋光處理，由于基板為脆性材質，在打磨時散熱量大，并且基板體量較小，在采用傳統磨床時難以打磨，導致基板生產成本很高。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型為了解決上述現有技術中存在的問題，本實用新型提供了一種靶材打磨用的平面磨床，能夠方便基板固定，便于基板散熱，保證基板的打磨質量。
[0004]本實用新型采用的具體技術方案是:
[0005]—種靶材打磨用的平面磨床，包括床身、工作臺、砂輪，工作臺與床身形成滑動配合，砂輪設置在工作臺上方，砂輪軸線沿水平方向設置，所述的工作臺上端面增設有基板安裝盤，基板安裝盤包括矩形結構的盤身、盤身上套裝設置有固定螺栓，盤身借助固定螺栓與工作臺形成固定連接，盤身上端面矩陣式排列有多個橡膠吸盤，每列橡膠吸盤借助連通管相互連通，連通管連接有抽氣機。
[0006]所述的固定螺栓下端呈圓錐形結構，固定螺栓借助于固定帽安裝在盤身上，固定帽外側固定設置有手輪。
[0007]所述的盤身上端面設置有噴淋口，噴淋口數量與連通管數量相同。
[0008]所述的盤身呈槽體結構，所述的橡膠吸盤設置在盤身的槽體結構內。
[0009]所述的盤身槽體深度為35-50mm。
[0010]本實用新型的有益效果是:
[0011]本實用新型，采用吸盤進行基板的安裝固定，極大方便基板的安裝，并且采用橡膠吸盤的柔性連接，能夠避免基板與砂輪之間的硬接觸，防止基板損壞。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0013]圖2為基板安裝盤的結構示意圖；
[0014]附圖中，1、床身，2、工作臺，3、砂輪，4、盤身，5、固定螺栓，6、橡膠吸盤，7、連通管，
8、固定帽，9、手輪，10、噴淋口。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步說明:
[0016]具體實施例如圖1所示，一種靶材打磨用的平面磨床，包括床身1、工作臺2、砂輪3，工作臺2與床身I形成滑動配合，砂輪3設置在工作臺2上方，砂輪3軸線沿水平方向設置，所述的工作臺2上端面增設有基板安裝盤，基板安裝盤包括矩形結構的盤身4、盤身4上套裝設置有固定螺栓5，盤身4借助固定螺栓5與工作臺2形成固定連接，盤身4上端面矩陣式排列有多個橡膠吸盤6，每列橡膠吸盤6借助連通管7相互連通，連通管7連接有抽氣機。所述的固定螺栓5下端呈圓錐形結構，固定螺栓5借助于固定帽8安裝在盤身4上，固定帽8外側固定設置有手輪9。本實用新型的基板安裝盤，使用時將固定螺栓5的圓錐形結構的端部插入工作臺2上端面的燕尾槽，使用手輪9將固定螺栓5固定，完成安裝。
[0017]所述的盤身4上端面設置有噴淋口10，噴淋口 10數量與連通管7數量相同。
[0018]所述的盤身4呈槽體結構，所述的橡膠吸盤6設置在盤身4的槽體結構內。
[0019]所述的盤身4槽體深度為35-50mm。
[0020]本實用新型，采用吸盤進行基板的安裝固定，極大方便基板的安裝，并且采用橡膠吸盤的柔性連接，能夠避免基板與砂輪之間的硬接觸，防止基板損壞，設置的槽體結構的盤身將基板容納在槽體內，當噴淋口進行噴淋時，槽體高于基板上端面，水面淹沒基板，能夠保證研磨時及時降溫，并且水面能夠防止碎肩沖擊基板，保護基板不被擊碎。
【主權項】
1.一種靶材打磨用的平面磨床，包括床身(I)、工作臺(2)、砂輪(3)，工作臺(2)與床身(I)形成滑動配合，砂輪(3)設置在工作臺(2)上方，砂輪(3)軸線沿水平方向設置，其特征在于:所述的工作臺(2)上端面增設有基板安裝盤，基板安裝盤包括矩形結構的盤身(4)、盤身(4)上套裝設置有固定螺栓(5)，盤身(4)借助固定螺栓(5)與工作臺(2)形成固定連接，盤身(4)上端面矩陣式排列有多個橡膠吸盤(6)，每列橡膠吸盤(6)借助連通管(7)相互連通，連通管(7)連接有抽氣機。2.根據權利要求1所述的一種靶材打磨用的平面磨床，其特征在于:所述的固定螺栓(5)下端呈圓錐形結構，固定螺栓(5)借助于固定帽(8)安裝在盤身(4)上，固定帽(8)外側固定設置有手輪(9)。3.根據權利要求1所述的一種靶材打磨用的平面磨床，其特征在于:所述的盤身(4)上端面設置有噴淋口( 1 )，噴淋口( 1)數量與連通管(7)數量相同。4.根據權利要求1所述的一種靶材打磨用的平面磨床，其特征在于:所述的盤身(4)呈槽體結構，所述的橡膠吸盤(6)設置在盤身(4)的槽體結構內。5.根據權利要求4所述的一種靶材打磨用的平面磨床，其特征在于:所述的盤身(4)槽體深度為35-50mm。
【專利摘要】本實用新型屬于打磨設備領域，具體涉及一種靶材打磨用的平面磨床，包括床身、工作臺、砂輪，砂輪設置在工作臺上方，砂輪軸線沿水平方向設置，所述的工作臺上端面增設有基板安裝盤，基板安裝盤包括矩形結構的盤身、盤身上套裝設置有固定螺栓，盤身借助固定螺栓與工作臺形成固定連接，盤身上端面矩陣式排列有多個橡膠吸盤，本實用新型，采用吸盤進行基板的安裝固定，極大方便基板的安裝，并且采用橡膠吸盤的柔性連接，能夠避免基板與砂輪之間的硬接觸，防止基板損壞，設置的槽體結構的盤身將基板容納在槽體內，當噴淋口進行噴淋時，槽體高于基板上端面，水面淹沒基板，能夠保證研磨時及時降溫，并且水面能夠防止碎屑沖擊基板，保護基板不被擊碎。
【IPC分類】B24B7/07, B24B55/02, B24B41/06
【公開號】CN205254705
【申請號】CN201521062147
【發明人】崔娜, 朱輝, 閆麗娜, 張衛, 康林杰, 郄奕
【申請人】河北東同光電科技有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月18日