專利名稱：一種超高純鹽酸的提純裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及超高純試劑提純技術，具體涉及一種超高純鹽酸的提純裝置。
背景技術：
超高純試劑是電子領域微細加工制作中不可缺少的關鍵性基礎化工原料之一，主要用于芯片的清洗和蝕刻。超高純鹽酸為強酸性清洗劑，通常與硝酸，過氧化氫配合使用。生產超高純鹽酸的方法主要有兩種一是以工業鹽酸為原料進行提純操作；二是以氫氣和氯氣為原料反應制得氯化氫，再將氯化氫溶解于純水中，同時嚴格控制原料的雜質含量。中國專利200410008785. 3公開了一種制備超凈高純試劑酸的精餾裝置，包括普通精餾裝置中的通用工藝設備，精餾塔在由填料塔在下，刺餾塔在上直接串聯而組成，填料塔為分段式，此外，該裝置中的吸收槽與質監罐單獨設立，整套設備的占用空間較大。此外，吸收槽的作用在于冷卻并進一步吸收少量的氯化氫氣體，質監罐的目的在與控制產品質量，冷凝器冷凝的鹽酸和氯化氫經管道輸送至吸收槽的液面下方，吸收槽的出料口距液面下方的管道口很近，易將冷凝下來的鹽酸直接排入質監槽中，會造成質監槽中所采集的每批次產品質量不穩定。因此，有必要對現有技術中的鹽酸提純裝置進行改進。
實用新型內容本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的缺陷，提供一種產品質量穩定可靠、占用空間小的超高純鹽酸的提純裝置。為實現上述目的，本實用新型的技術方案是超高純鹽酸提純裝置包括預熱器和與儲罐相連通的高位槽，所述預熱器包括內管和套設在所述內管周圍的外管，所述高位槽的出料口與所述外管的進料口相連接，所述外管的出料口與蒸餾釜相連通，所述蒸餾釜的底部設置有與稀鹽酸罐相連通的高沸點物出料口，所述蒸餾釜的上部依次設置有相通的填料塔和刺餾塔，刺餾塔頂部的出料口與所述內管的進料口相連接，所述內管的出料口與冷凝器相連接，所述冷凝器的出料口與混合罐的進料口相連接，所述混合罐的出料口與成品罐相連接，所述混合罐的進料口設置在混合罐的低端，所述混合罐的出料口高度大于混合罐的進料口高度。其中，所述混合罐內設置有鹽酸比重計和溫度計。其中，所述蒸餾釜的高沸點物出料口連接有與稀鹽酸儲罐相連通的出料管，所述出料管為U形管，所述出料管的最高點與所述蒸餾釜中鹽酸的液面齊平。其中，所述內管的進料口與所述外管的出料口設置在所述預熱器的一端，所述內管的出料口和所述外管的進料口設置在所述預熱器的另一端。其中，所述填料塔內填充有石英環。其中，所述蒸餾釜、填料塔和刺餾塔為石英玻璃材質。本實用新型的優點和有益效果在于該裝置中混合罐的進料口高度低于出料口高度，冷凝器流出的鹽酸和氯化氫首先到達混合罐底部，由于氯化氫氣泡的攪拌作用，混合罐內的鹽酸濃度更均勻，當罐內液面處的溫度計和鹽酸比重計達到預設數值時，將液面處的鹽酸首先導入成品罐中，該裝置不僅減少了占用空間，而且產品質量穩定可靠。
圖I是本實用新型超高純乙酸丁酯的提純裝置的結構示意圖。圖中I、儲罐；2、高位槽；3、預熱器；4、內管；5、外管；6、蒸餾釜；7、填料塔；8、刺懼塔；9、冷凝器；10、混合iig ;11、成品iig ;12、稀鹽
具體實施方式
以下結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步描述。以下實施 例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。如圖I所示，本實施例為一種超高純鹽酸提純裝置，包括預熱器3和與儲罐I相連通的高位槽2，預熱器3包括內管4和套設在內管4周圍的外管5，高位槽2的出料口與外管5的進料口相連接，外管5的出料口與蒸餾釜6相連通，蒸餾釜6的底部設置有與稀鹽酸罐12相連通的高沸點物出料口，蒸餾釜6的上部依次設置有相通的填料塔7和刺餾塔8，刺餾塔8頂部的出料口與內管4的進料口相連接，內管4的出料口與冷凝器9相連接，冷凝器9的出料口與混合罐10的進料口相連接，混合罐10的出料口與成品罐11相連接，混合罐10的進料口設置在混合罐10的低端，混合罐10的出料口高度大于混合罐10的進料口高度。在本實施例中，混合罐10內設置有鹽酸比重計和溫度計。在本實施例中，蒸餾釜6的高沸點物出料口連接有與稀鹽酸儲罐I相連通的出料管，出料管為U形管，出料管的最高點與蒸餾釜6中鹽酸的液面齊平。在本實施例中，內管4的進料口與外管5的出料口設置在預熱器3的一端，內管4的出料口和外管5的進料口設置在預熱器3的另一端。在本實施例中，填料塔7內填充有石英環。在本實施例中，蒸餾釜6、填料塔7和刺餾塔8為石英玻璃材質。將工業鹽酸自儲罐I抽到高位槽2，加預處理試劑，攪拌、靜止。然后將預處理好鹽酸原料液自高位槽2底部流出，進入預熱器3預熱后，泡點料進入石英質蒸餾釜6，蒸餾釜6再次加熱，逸出氯化氫氣體和剩余為組分不變的20%鹽酸恒沸物被汽化先經精餾塔的上部石英環填料塔7，再經串聯的刺餾塔8，反復進行部分冷凝回流、部分氣化，氣、液兩相在塔內反復密切接觸，進行質交換；得到純化并與原料液進行逆流熱交換；刺餾塔8頂部的餾出物經預熱器3預冷后進入冷凝器9冷凝為液體；調節進料開關，使通過混合罐10內的鹽酸比重計和溫度計控制比重控制在預定的數值，然后被導入成品罐11，另一部分組分不變的20%鹽酸恒沸物冷卻后進入稀鹽酸罐12。從原料液自高位槽2流出到鹽酸自動進入成品罐11均發生在一個密封系統中，冷凝器9中循環使用的冷卻介質自成系統除外，儲罐I、混合罐10和成品罐11的排空管通入尾氣吸收槽中的堿液液面下，然后直接室外高位放空。以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型 的保護范圍。
權利要求1.一種超高純鹽酸的提純裝置，所述提純裝置包括預熱器和與儲罐相連通的高位槽，所述預熱器包括內管和套設在所述內管周圍的外管，所述高位槽的出料口與所述外管的進料口相連接，所述外管的出料口與蒸餾釜相連通，所述蒸餾釜的底部設置有高沸點物出料口，所述蒸餾釜的上部依次設置有相通的填料塔和刺餾塔，刺餾塔頂部的出料口與所述內管的進料口相連接，所述內管的出料口與冷凝器相連接，其特征在于，所述冷凝器的出料口與混合罐的進料口相連接，所述混合罐的出料口與成品罐相連接，所述混合罐的進料口設置在所述混合罐的低端，所述混合罐的出料口高度大于混合罐的進料口高度。
2.根據權利要求I所述的超高純鹽酸的提純裝置，其特征在于，所述混合罐內設置有鹽酸比重計和溫度計。
3.根據權利要求2所述的超高純鹽酸的提純裝置，其特征在于，所述蒸餾釜的高沸點物出料口連接有與稀鹽酸儲罐相連通的出料管，所述出料管為U形管，所述出料管的最高點與所述蒸餾釜中鹽酸的液面齊平。
4.根據權利要求3所述的超高純鹽酸的提純裝置，其特征在于，所述內管的進料口與所述外管的出料口設置在所述預熱器的一端，所述內管的出料口和所述外管的進料口設置在所述預熱器的另一端。
5.根據權利要求4所述的超高純鹽酸的提純裝置，其特征在于，所述填料塔內填充有石英環。
6.根據權利要求5所述的超高純鹽酸的提純裝置，其特征在于，所述蒸餾釜、填料塔和刺餾塔為石英玻璃材質。
專利摘要本實用新型公開了一種超高純鹽酸的提純裝置，包括預熱器和與儲罐相連通的高位槽，預熱器包括內管和套設在內管周圍的外管，高位槽的出料口與外管的進料口相連接，外管的出料口與蒸餾釜相連通，蒸餾釜的底部設置有高沸點物出料口，蒸餾釜的上部依次設置有相通的填料塔和刺餾塔，刺餾塔頂部的出料口與內管的進料口相連接，內管的出料口與冷凝器相連接，冷凝器的出料口與混合罐的進料口相連接，混合罐的出料口與成品罐相連接，混合罐的進料口設置在混合罐的低端，混合罐的出料口高度大于混合罐的進料口高度。該裝置不僅減少了占用空間，而且產品質量穩定可靠。
文檔編號C01B7/07GK202785640SQ20122028072
公開日2013年3月13日 申請日期2012年6月14日 優先權日2012年6月14日
發明者周耀慶 申請人:江陰蘇龍微電子材料有限公司