技術總結
本實用新型涉及碳化硅領域，公開了一種制備碳化硅單晶的裝置，其中，該裝置包括加熱裝置、長晶爐(1)和坩堝(2)，所述加熱裝置包括雙頻電源(3)和加熱部件(4)，所述雙頻電源(3)設置在所述長晶爐(1)的外部，所述加熱部件(4)和所述坩堝(2)位于所述長晶爐(1)的內部，所述雙頻電源(3)與所述加熱部件(4)電連接，所述加熱部件(4)設置在所述坩堝(2)的外周。該制備碳化硅單晶的裝置能夠使在升溫和恒溫的過程中溫度保持穩定，從而提高碳化硅單晶的質量。
技術研發人員：張巖;趙然;馬鵬翔;趙子強;孫建;李晉;陳菲菲;谷元中;梁浩;鄧曉妍;王浩然
受保護的技術使用者：中科鋼研節能科技有限公司
文檔號碼：201720222503
技術研發日：2017.03.09
技術公布日：2017.10.20