一種吸附加工治具的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種吸附加工治具，包括基座、腔體管和吸氣管，基座內表面與石英板表面相吻合并貼合石英板表面，基座背面設有容置腔體管端部的接口，基座內表面上設有若干吸氣孔或吸氣槽，腔體管通過接口與吸氣孔或吸氣槽相通，腔體管另一端與吸氣管相通，吸氣管另一端與真空裝置相接，本實用新型在石英產品制作時，采用真空吸附方法來夾持石英板，使得石英板在高溫焊接時不會受壓變形，而腔體管的設計，則可以形成一個穩壓空間，使基座內表面的吸氣孔或吸氣槽的吸力更加均勻和穩定，保證吸附可靠和安全，同時也有利于焊接時的旋盤夾持。
【專利說明】
一種吸附加工治具
技術領域
[0001]本實用新型涉及到石英產品加工技術領域，尤其涉及到一種能提高石英管加工效率、降低加工成本的吸附加工治具。
【背景技術】
[0002]石英產品屬于半導體設備中的必要產品。在高溫情況下，石英產品作為反應腔體，與外部金屬隔離，防止金屬離子的污染，現有技術是采用石英管在加熱熔融狀態下，用工具從中間壓下來，使其一分為二，并在熔融狀態下，利用離心作用使其圓封而成，這種加工技術存在的缺點是:整體效率低，能耗較大，質量不穩定，石英管表面會產生皺褶，生產成本很高，而且作業人員長時間在高溫中工作，對身體傷害很大。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型主要解決現有石英管加工中存在的技術問題;提供了一種能提高石英管加工效率、降低加工成本的吸附式加工治具。
[0004]為了解決上述存在的技術問題，本實用新型主要是采用下述技術方案:
[0005]本實用新型的一種吸附加工治具，用于對石英板進行吸附，所述治具包括基座、腔體管和吸氣管，所述基座內表面與所述石英板表面相吻合并貼合石英板表面，所述基座背面設有與所述腔體管端部相吻合且容置腔體管端部的接口，基座內表面上設有若干吸氣孔或吸氣槽，所述吸氣孔或吸氣槽與所述接口連通，腔體管通過接口與吸氣孔或吸氣槽相通，腔體管的另一端與所述吸氣管相通，吸氣管的另一端與外部真空裝置相接，在石英產品制作時，采用真空吸附方法來夾持石英板，使得石英板在高溫焊接時不會受熱變形，而腔體管的設計，則可以形成一個穩壓空間，使基座內表面的吸氣孔或吸氣槽的吸力更加均勻和穩定，保證吸附可靠和安全，同時也有利于焊接時的旋盤夾持。
[0006]作為優選，所述基座內表面呈平面形并與石英板表面貼合，基座內表面設有多個吸氣孔，所述吸氣孔沿基座內表面中心環狀均勻分布，根據不同的產品結構特點，通過多個吸氣孔的設計，分散吸附壓力，在高溫下不會造成石英板的變形，同時，也能保證石英板產品獲得較好的吸附。
[0007]作為優選，所述基座表面呈內凹弧面形結構，所述弧面形結構與所述石英板表面的外凸曲面相吻合并貼合外凸曲面，基座內表面上設有多條吸氣槽，弧面狀的基座內表面可以對應球面狀的石英板產品，多條吸氣槽均勻分布在弧形面上，吸附力均勻，可有效吸附石英板，保證產品加工時的可靠性和安全性。
[0008]作為優選，所述基座材質為高純度石墨材料，所述腔體管材質為不銹鋼材料，石墨材料和不銹鋼材料不會對石英產品造成污染及表面劃傷，同時在高溫下不會變形，提高產品的加工質量。
[0009]本實用新型的有益效果是:在石英產品制作時，采用真空吸附方法來夾持石英板，使得石英板在高溫焊接時不會受熱變形，而腔體管的設計，則可以形成一個穩壓空間，使基座內表面的吸氣孔或吸氣槽的吸力更加均勻和穩定，保證吸附可靠和安全，同時也有利于焊接時的旋盤夾持。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的一種結構示意圖。
[0011]圖2是圖1基座的一種結構不意圖。
[0012]圖3是圖2結構的側視示意圖。
[0013]圖4是圖1基座的另一種結構不意圖。
[0014]圖5是圖4結構的側視示意圖。
[0015]圖中1.石英板，2.基座，3.腔體管，4.吸氣管，5.吸氣孔，6.吸氣槽，7.石英圓管。
【具體實施方式】
[0016]下面通過實施例，并結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步具體的說明。
[0017]實施例1:本實施例1的一種吸附加工治具，用于對石英板I進行吸附夾持，如圖1所示，治具包括基座2、腔體管3和吸氣管4，基座由高純度石墨材料制成，如圖2和圖3所示，基座表面呈內凹弧面形結構，弧面形結構與石英板表面的外凸曲面相吻合并貼合外凸曲面，基座內表面上設有多條吸氣槽6，吸氣槽與接口相通，腔體管由不銹鋼材料制成，腔體管一側端部嵌設于接口中并與接口相通，腔體管的另一端與吸氣管相通并通過吸氣管與真空裝置相接。
[0018]治具裝配時，先將腔體管一端嵌設于接基座背面的接口中，腔體管另一端連接吸氣管并通過吸氣管連接至真空栗上。
[0019]加工時，將石英圓管7夾持在加工機床的一端旋盤上，使石英圓管端部位于焊接位上，然后，打開真空栗，將裝配好治具的基座內表面貼合石英板并吸附石英板，再將吸附有石英板的治具通過另一側旋盤夾持在加工機床上，使石英板與圓管對準貼合，最后，旋盤轉動，開始進行石英圓管與石英板接觸區的焊接。
[0020]實施例2:本實施例2的一種吸附加工治具，用于對石英板進行吸附夾持，治具包括基座、腔體管和吸氣管，如圖4和圖5所示，基座內表面呈平面形并與石英板表面貼合，基座內表面設計有多個吸氣孔5，吸氣孔沿基座內表面中心呈環狀均勻分布，本實施例2的其它部分均與實施例1的相應部分類同，本文不再贅述。
[0021]在本實用新型的描述中，技術術語“上”、“下”、“前”、“后”、“內”、“外”等表示方向或位置關系是基于附圖所示的方向或位置關系，僅是為了便于描述和理解本實用新型的技術方案，以上說明并非對本實用新型作了限制，本實用新型也不僅限于上述說明的舉例，本技術領域的普通技術人員在本實用新型的實質范圍內所做出的變化、改型、增添或替換，都應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種吸附加工治具，用于對石英板(I)進行吸附夾持，其特征在于:所述治具包括基座(2)、腔體管(3)和吸氣管(4)，所述基座內表面與所述石英板表面相吻合并貼合石英板表面，所述基座背面設有與所述腔體管端部相吻合且容置腔體管端部的接口，基座內表面上設有若干吸氣孔(5)或吸氣槽(6)，所述吸氣孔或吸氣槽與所述接口連通，腔體管通過接口與吸氣孔或吸氣槽相通，腔體管的另一端與所述吸氣管相通，吸氣管的另一端與外接真空裝置相接。2.根據權利要求1所述的一種吸附加工治具，其特征在于:所述基座(2)內表面呈平面形并與石英板(I)表面貼合，基座內表面設有多個吸氣孔(5)，所述吸氣孔沿基座內表面中心環狀均勻分布。3.根據權利要求1所述的一種吸附加工治具，其特征在于:所述基座(2)表面呈內凹弧面形結構，所述弧面形結構與所述石英板(I)表面的外凸曲面相吻合并貼合外凸曲面，基座內表面上設有多條吸氣槽(6)。4.根據權利要求2或3所述的一種吸附加工治具，其特征在于:所述基座(2)材質為高純度石墨材料，所述腔體管(3)材質為不銹鋼材料。
【文檔編號】C03B20/00GK205420152SQ201521013002
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年12月8日
【發明人】楊軍, 顧永明
【申請人】杭州大和熱磁電子有限公司