一種用于柔性管道加熱的復合保溫材料的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于柔性管道加熱的復合保溫材料，其包括基材、隔熱層和外包層，其中，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜，所述蝕刻不銹鋼加熱膜的兩面分別設置有上硅橡膠涂覆玻纖布和下硅橡膠涂覆玻纖布，所述隔熱層包括氣凝膠隔熱氈，所述氣凝膠隔熱氈設置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布的外側，且所述氣凝膠隔熱氈外設置有玻璃纖維氈或發泡硅橡膠層的任一種，所述外包層設置于所述玻璃纖維氈或發泡硅橡膠層的外側。上述復合保溫材料采用氣凝膠隔熱氈作為保溫材料，其導熱系數在0.01W/mK左右，使得生產高保溫又美觀的柔性加熱器成為可能。降低了加熱器的表面溫度，大大減少了加熱器的能耗，增加了加熱器的使用壽命。
【專利說明】
一種用于柔性管道加熱的復合保溫材料
技術領域
[0001]本實用新型屬于柔性管道加熱技術，尤其是涉及一種用于柔性管道加熱的復合保溫材料。
【背景技術】
[0002]半導體真空管道加熱已經廣泛應用于許多半導體生產工藝中。由于許多半導體生產工藝中(例如CVD，PECVD，Etch)有大量的可凝生成物的生成，對管道的加熱可以避免此類生成物在管道內壁上的沉積，從而，避免了管道的堵塞，以保證半導體生產設備的正常運行。一個完美加熱的半導體管道可以大大增加設備的利用率，延長真空栗的壽命，提高成品的良率，并且減少操作工人和有毒氣體的接觸。
[0003]由于必須對管道進行定期的維護，例如，更換O型圈，半導體的管道加熱套必須能夠方便裝拆。這就極大地限制了保溫材料的使用。尤其是必須對復雜形狀的零部件(例如，閥門)的加熱。
[0004]發泡硅橡膠和玻璃纖維是目前最常用的保溫材料。發泡硅橡膠可以做出非常美觀的加熱器，但是，它的導熱系數較高(0.lW/mK左右)，因此，加熱器表面溫度較高，散熱量很大。例如有些工藝需要加熱到180°C，表面溫度可達90°C。這不僅造成熱量的損耗，而且可能導致操作人員的燙傷。玻璃纖維具有較低的導熱系數，廣泛用于直管的保溫。但是，由于很難對復雜零部件進行包覆。所以采用玻璃纖維的復雜零部件加熱器往往非常難看，且生產成本極高。
[0005]因此，對于半導體真空管道的加熱，如何提高加熱器的綜合保溫性能就極其重要。柔性加熱器的保溫一直是最大的挑戰。因為高保溫的材料往往柔性較差。而柔性的材料有往往是有機材料，不僅不耐高溫，而且可燃，安全性能較差。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型的目的在于提供一種用于柔性管道加熱的復合保溫材料，其具有保溫效果好和外形美觀的特點，以解決現有技術中柔性管道加熱存在的上述問題。
[0007]為達此目的，本實用新型采用以下技術方案:
[0008]—種用于柔性管道加熱的復合保溫材料，其包括基材、隔熱層和外包層，其中，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜，所述蝕刻不銹鋼加熱膜的兩面分別設置有上硅橡膠涂覆玻纖布和下硅橡膠涂覆玻纖布，所述隔熱層包括氣凝膠隔熱氈，所述氣凝膠隔熱氈設置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布的外側，且所述氣凝膠隔熱氈外設置有玻璃纖維氈或發泡硅橡膠層的任一種，所述外包層設置于所述玻璃纖維氈或發泡硅橡膠層的外側。
[0009]特別地，所述外包層包括玻纖布和外特氟龍涂覆玻纖布，所述玻纖布設置于所述玻璃纖維氈的外側，所述外特氟龍涂覆玻纖布設置于所述玻纖布的外側。
[0010]特別地，所述外包層為外硅橡膠涂覆玻纖布，所述氣凝膠隔熱氈包裹于所述發泡硅橡膠層內，所述外硅橡膠涂覆玻纖布設置于所述發泡硅橡膠層的外側。
[0011]特別地，所述下硅橡膠涂覆玻纖布的內側設置有內特氟龍涂覆玻纖布。
[0012]本實用新型的有益效果為，與現有技術相比所述用于柔性管道加熱的復合保溫材料采用氣凝膠隔熱氈作為保溫材料，其導熱系數在0.01W/mK左右，比發泡硅橡膠要低10倍，其與玻璃纖維或發泡硅橡膠結合使用，適用于直觀或復雜形狀的加熱。使得生產高保溫又美觀的柔性加熱器成為可能。這樣，降低了加熱器的表面溫度，大大減少了加熱器的能耗，增加了加熱器的使用壽命，具有較高的價值。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型【具體實施方式】I提供的用于柔性管道加熱的復合保溫材料的剖面圖；
[0014]圖2是本實用新型【具體實施方式】2提供的用于柔性管道加熱的復合保溫材料的剖面圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖并通過【具體實施方式】來進一步說明本實用新型的技術方案。
[0016]實施例一:
[0017]請參閱圖1所示，圖1是本實用新型【具體實施方式】I提供的用于柔性管道加熱的復合保溫材料的剖面圖。
[0018]本實施例中，一種用于柔性管道加熱的復合保溫材料包括基材、隔熱層和外包層，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜1，所述蝕刻不銹鋼加熱膜I的兩面分別設置有上硅橡膠涂覆玻纖布2和下硅橡膠涂覆玻纖布3，所述隔熱層采用氣凝膠隔熱氈4，且所述氣凝膠隔熱氈4設置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布2的外側，所述外包層包括玻璃纖維氈5、玻纖布6和外特氟龍涂覆玻纖布7，所述玻璃纖維氈5設置于所述氣凝膠隔熱氈4的外側，所述玻纖布6設置于所述玻璃纖維氈5的外側，所述外特氟龍涂覆玻纖布7設置于所述玻纖布6的外側。所述下硅橡膠涂覆玻纖布3的內側設置有內特氟龍涂覆玻纖布8。
[0019]本實施例中，復合保溫材料的保溫層采用氣凝膠隔熱氈4，但是氣凝膠很難單獨在半導體管道復雜零部件加熱器中使用。即使在直管加熱器中，由于表面不夠柔軟，而且成本較高。因此，并不適合單獨使用。通過氣凝膠隔熱氈4與玻璃纖維的結合形成復合保溫材料，適用于直管加熱器中。
[0020]實施例二:
[0021]請參閱圖2所示，圖2是本實用新型【具體實施方式】2提供的用于柔性管道加熱的復合保溫材料的剖面圖。
[0022]本實施例中，一種用于柔性管道加熱的復合保溫材料包括基材、隔熱層和外包層，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜1，所述蝕刻不銹鋼加熱膜I的兩面分別設置有上硅橡膠涂覆玻纖布2和下硅橡膠涂覆玻纖布3，所述隔熱層采用氣凝膠隔熱氈4，且所述氣凝膠隔熱氈4設置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布2的外側，所述外包層包括發泡硅橡膠層9和外硅橡膠涂覆玻纖布10，所述氣凝膠隔熱氈4包裹于所述發泡硅橡膠層9內，所述外硅橡膠涂覆玻纖布10設置于所述發泡硅橡膠層9的外側。
[0023]本實施例中，復合保溫材料的保溫層采用氣凝膠隔熱氈4，通過氣凝膠隔熱氈4與發泡硅橡膠層9的結合形成復合保溫材料，適用于復雜形狀(例如閥門，法蘭)的加熱，既達到了提高保溫的目的，又可以使得加熱器外形美觀。
[0024]以上實施例只是闡述了本實用新型的基本原理和特性，本實用新型不受上述事例限制，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.一種用于柔性管道加熱的復合保溫材料，其包括基材、隔熱層和外包層，其特征在于，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜，所述蝕刻不銹鋼加熱膜的兩面分別設置有上硅橡膠涂覆玻纖布和下硅橡膠涂覆玻纖布，所述隔熱層包括氣凝膠隔熱氈，所述氣凝膠隔熱氈設置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布的外側，且所述氣凝膠隔熱氈外設置有玻璃纖維氈或發泡硅橡膠層的任一種，所述外包層設置于所述玻璃纖維氈或發泡硅橡膠層的外側。2.根據權利要求1所述的用于柔性管道加熱的復合保溫材料，其特征在于，所述外包層包括玻纖布和外特氟龍涂覆玻纖布，所述玻纖布設置于所述玻璃纖維氈的外側，所述外特氟龍涂覆玻纖布設置于所述玻纖布的外側。3.根據權利要求1所述的用于柔性管道加熱的復合保溫材料，其特征在于，所述外包層為外硅橡膠涂覆玻纖布，所述氣凝膠隔熱氈包裹于所述發泡硅橡膠層內，所述外硅橡膠涂覆玻纖布設置于所述發泡硅橡膠層的外側。4.根據權利要求1或2所述的用于柔性管道加熱的復合保溫材料，其特征在于，所述下硅橡膠涂覆玻纖布的內側設置有內特氟龍涂覆玻纖布。
【文檔編號】B32B17/02GK205716238SQ201620570662
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月14日
【發明人】顧幼范, 謝龍
【申請人】無錫新輝龍科技有限公司