專利名稱：晶片抓取手臂的制作方法
技術領域：
本實用新型有關于一種晶片抓取手臂的設計。
背景技術：
請參閱圖l所示，為習用的吸取手臂吸取晶片的示意圖，在目前習用
的晶片90(或晶圓)的取放方式，多是利用 一個吸取手臂80伸入于疊置有復 數個晶片卯的卡匣中，當要取放晶片90時，驅動件70將驅動吸取手臂80 伸于疊置的晶片90間，再經由通氣管60抽真空，使吸取手臂80前端形成 負壓狀態，此時晶片90便會吸附于吸取手臂80的前端上，再由驅動件70 將吸取手臂抽出并將晶片90轉送到待加工區。
而為了要使吸取手臂80前端可形成有負壓的狀態，在吸取手臂80上 必需要設置有氣槽81,請參閱圖2所示，習用的吸取手臂剖面示意圖，在 圖2上可看到，吸取手臂80主要為一個板體，而板體的一端即為用于吸取 晶片90的伸入板82，另外，在吸取手臂80的底面即為氣槽81的配置處， 且氣槽81的一端與通氣管60連通，而另一端則連通至位于伸入板82頂面 的吸附溝槽83。由于氣槽81必需要密封，故于吸取手臂80的底面會加設 有一片鋁板50,藉以密封氣槽81，但因為加設的鋁板50會凸出于吸取手 臂80的底面，當吸取手臂80伸入于卡匣中欲吸取晶片90時，容易刮傷層 疊存放下方的晶片表面，所以仍有改善的空間。
實用新型內容
本實用新型所解決的技術問題在于提供一種晶片抓取手臂，以解決 習知的吸取手臂容易產生刮傷晶片的問題。
本實用新型的一實施例所提供的晶片抓取手臂，包括有本體、蓋板 以及通氣管，其中蓋板位于本體的底面，而通氣管位于本體的尾端，且 蓋板的外表面與本體的底面齊平，如此一來，在晶片抓取手臂伸入于卡匣中欲吸取晶片時，便不會刮傷層疊存放下方的晶片表面。
因此本實用新型的有益效果就是在提供一種晶片4爪取手臂，于可吸 取晶片時，不會刮傷層疊存放下方的晶片表面。
圖1為習用的吸取手臂吸取晶片的示意圖； 圖2為習用的吸取手臂剖面示意圖； 圖3為本實用新型晶片抓取手臂實施例的立體示意圖一 ； 圖4為本實用新型晶片抓取手臂實施例的立體示意圖二； 圖5為本實用新型晶片抓取手臂實施例的結構分解示意圖； 圖6為本實用新型晶片抓取手臂實施例的局部剖面示意圖。圖號說明
本體IO
第一氣道lll
第二氣道121
蓋板20
鋁板50
驅動件70
氣槽81
吸附溝槽83
凹槽ll
伸入板12
連通孔13
通氣管30
通氣管60
吸取手臂80
伸入板82
曰- 片90
曰曰
具體實施方式
為了能^f吏本實用新型的特征更為清楚，以下將揭露本實用新型的一 種較佳實施例，而所描述的特定組件與安排僅為簡化本案說明，然其并 非用以限定本實用新型。
請共同參照圖3及圖4,繪示依照本實用新型 一較佳實施例的 一種晶 片抓取手臂的立體示意圖一、二，其中圖3為本實用新型實施例的正面視 圖，而圖4為本實用新型實施例的底面視圖，如圖所示本實用新型晶片 抓取手臂的實施例包括有本體IO、蓋板20以及通氣管30，其中蓋板20位于本體10的底面，而通氣管30位于本體10的尾端。
再請同時參閱圖5及圖6,分別繪示本實用新型晶片抓取手臂實施例 的結構分解示意圖以及本實用新型晶片抓取手臂實施例的局部剖面示意 圖，如圖所示在本體10的底面設置有一個凹槽11,且在凹槽ll的表面 上再形成有一個第一氣道lll，而在本體10的前端處則具有一個伸入板 12,且在伸入板12的頂面上形成有一個第二氣道121，此外，第一氣道lll 的一端與第二氣道121間更具有一個大致位于伸入板12與本體10交界處， 也就是位于伸入板12的尾端靠近于凹槽11地方的連通孔13，且連通孔13 的二端分別與第一氣道111的一端與第二氣道121的一端連通，藉此，第
一氣道111與第二氣道121即形成連通的態樣。
另外，上述的蓋板20可以為鋁材，并對應蓋合于凹槽ll上，且蓋板 20的外表面與本體10的底面齊平，也就是說在本實施例中蓋板20的形狀 與凹槽ll的完全吻合，使蓋板20可完全的蓋合于凹槽11上，且完成蓋合 后，本體10的底面將形成一個齊整的平面，不會有突出于本體10底面的 部體，且蓋板20將密封于凹槽11上，使第一氣道111成為密封于本體10內 的一個空氣流道，而上述的通氣管30組接于本體10的尾端，并與第一氣 道lll的另一端連通，如此一來，在通氣管30與第一氣道111的一端連通， 而第一氣道111的另一端則經由連通孔13與第二氣道121連通，故通氣管 30、第一氣道lll、連通孔13與第二氣道121間即形成一個連通的空氣流 道，當經由通氣管30通氣或排氣時，在具有第二氣道121的伸入板12表面 便會具有一股真空推力或真空吸附力，藉以吹離晶片或吸附固定晶片。
是以，本實用新型所提供的晶片抓取手臂，最重要的是本體底部為 一個齊平的平面，在晶片抓取手臂伸入于卡匣中欲吸取晶片時，不會刮 傷層疊存放下方的晶片表面。
雖然本實用新型已以實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新 型，任何具有本實用新型所屬技術領域的通常知識者，在不脫離本實用 新型的精神和范圍內，當可作各種更動與潤飾，并可思揣其它不同的實 施例，因此本實用新型的保護范圍當視后附申請專利范圍所界定者為準。
權利要求1、一種晶片抓取手臂，其特征在于，包括一本體，具有一凹槽設置于該本體的底面，而該凹槽的表面上形成有一第一氣道；一蓋板，對應蓋合于該凹槽上以封閉第一氣道，且該蓋板的外表面與該本體的底面齊平；以及一通氣管，組接于該本體的尾端并與第一氣道連通。
2、 如權利要求1所述的晶片抓取手臂，其特征在于，該本體的前端 則形成有一伸入板，并于該伸入板上具有一第二氣道，且該第一氣道與 該第二氣道連通。
3、 如權利要求2所述的晶片抓取手臂，其特征在于，該第一氣道與 該第二氣道間具有一連通孔，且該連通孔位于該伸入板與該本體的交界 處。
4、 如權利要求1所述的晶片抓取手臂，其特征在于，該蓋板為鋁材。
專利摘要本實用新型晶片抓取手臂，包括有本體、蓋板以及通氣管，其中蓋板位于本體的底面，而通氣管位于本體的尾端，且蓋板的外表面與本體的底面齊平，如此一來，在晶片抓取手臂伸入于卡匣中欲吸取晶片時，便不會刮傷層疊存放下方的晶片表面。
文檔編號H01L21/67GK201252093SQ20082013218
公開日2009年6月3日 申請日期2008年8月4日 優先權日2008年8月4日
發明者林進達 申請人:林進達