柔性基質處理設備的制作方法

專利名稱：柔性基質處理設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及處理設備，其中帶狀柔性基質在被輸送的同時經受諸如成膜之類的處 理，且更具體地說，本發明涉及對柔性基質的橫向位置進行控制的控制裝置。
背景技術：
剛性基質通常用作用于半導體薄膜之類的薄膜層疊體的基質。在一些情形中，使 用諸如塑性薄膜之類的柔性基質，從而通過對重量減輕且構造為卷筒的基質進行處理來改 進便利性，以實現增加產量和降低成本的目的。例如，專利文獻1披露一種對薄膜層疊體 (薄膜光電變換元件)進行制造的制造設備，其中在對由退繞卷筒供給的帶狀柔性基質(聚 酰亞胺膜)進行間歇地輸送的同時，多個不同性質的薄膜彼此疊加地形成在沿柔性基質的 輸送方向設置的多個成膜單元中，且所獲得的層疊體卷繞成成卷制品。專利文獻1 日本公開專利申請第2005-7M08號。對薄膜層疊體進行制造的此種制造設備可以是如下類型其中，在以橫向姿態對 帶狀柔性基質進行輸送的同時、也就是在基質的橫向方向是水平方向的狀態下進行成膜， 并且可以是如下類型其中，在以垂直姿態對帶狀柔性基質進行輸送的同時，也就是在基質 的橫向方向是垂直方向的狀態中進行成膜。由于安裝面積較小且還由于基質表面較不容易 污染，因而后一類型優于前一類型，然而在輸送跨距增大的情形下，在重力作用下難于保持 恒定的輸送高度，并呈現出在柔性基質表面上產生褶皺和柔性基質發生下垂的嚴重趨勢。因此，已有建議提出，使其中并排安裝有大量成膜單元(例如，諸如化學氣相沉淀 單元和物理氣相氣相沉淀單元之類的氣相沉淀單元)的制造設備設有邊緣位置控制(EPC) 輥子，該邊緣位置控制輥子在定位于輸送跨距中央的成膜單元之間，與柔性基質的整個寬 度相接觸。然而，在為了確保光滑度而將由不銹鋼之類形成的EPC輥子引入保持于相對高 溫下的成膜單元之間的情形下，該柔性基質通過與輥子接觸而快速冷卻，且此種冷卻會致 使出現褶皺。此外，通過使成膜單元之間的距離最小并且減小柔性基質的邊界可提高產量并且 可減小安裝空間，然而即使在成膜單元之間的一個位置安裝EPC輥子，需要確保等間距安 裝的所有成膜單元之間的距離與EPC輥子匹配，或者需要為EPC輥子提供相應于一個單元 的空間，這兩種措施都不適合于提供產量并且減小安裝空間的觀點。

發明內容
本發明旨在解決上述問題，且本發明的目標在于提供一種柔性基質處理設備，其 中即使當以垂直姿態在長距離范圍內輸送帶狀柔性基質時，可抑制柔性基質下垂和褶皺產 生，并且可使柔性基質的橫向位置保持恒定，藉此確保高質量處理。(1)為了實現上述目標，本發明的第一基本方面涉及一種柔性基質處理設備，該處 理設備包括輸送裝置(12、14、32、34)，該輸送裝置沿橫向方向以垂直姿態輸送帶狀柔性 基質，柔性基質處理單元(20)，該處理單元沿柔性基質的輸送路徑設置；以及位置控制裝置01、5、5')，該位置控制裝置對處理單元中的柔性基質的橫向位置進行控制，其中，該 位置控制裝置包括成對上部夾持輥子04、25)，該成對上部夾持輥子對柔性基質的上邊 緣部分進行夾持，且成對上部夾持輥子的旋轉軸傾斜，從而成對上部夾持輥子在夾持部分 中的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小偏角朝上傾斜，上部支承機構06、27)，該 上部支承機構包括對成對上部夾持輥子進行支承的可動支承部件和固定支承部件，從而成 對上部夾持輥子可旋轉和彼此靠近或離開，偏置部件(51、51')，該偏置部件通過可動支 承部件使成對上部夾持輥子中的一個輥子沿對該成對上部夾持輥子中的另一個輥子進行 壓靠的方向偏置，以及驅動裝置(56)，該驅動裝置使偏置部件移位，從而對該成對上部夾持 輥子的夾持壓力進行調整。在上述處理設備中，由諸如設在處理單元上游和下游的饋送輥子之類的輸送裝置 以垂直姿態輸送帶狀柔性基質，且在處理單元中執行諸如成膜之類的處理。在此情形中，定 位在柔性基質的上側上的邊緣部分由構成位置控制裝置的夾持輥對所夾持，且該夾持輥子 在夾持部分中的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小偏角朝上傾斜。于是，可產生 如下力該力將抵抗由重力所產生的下垂而向上提升柔性基質。此種提升力取決于夾持輥 對的夾持壓力，也就是取決于偏置部件的偏置力。因此，通過利用驅動裝置使偏置部件移位 并且對偏置部件的偏置力進行調整，可對帶狀柔性基質沿垂直寬度方向的位置進行控制， 并且使該位置保持于恒定水平或者保持在預定公差范圍內。由于由此可使柔性基質沿垂直寬度方向的位置保持恒定，并且可抑制下垂，因而 即使在以垂直姿態在長距離范圍內輸送帶狀柔性基質時，柔性基質可沿輸送跨距均勻地張 緊，并且可防止褶皺或下垂的發生。因此，可執行對柔性基質的高質量處理。此外，由于夾 持輥對僅僅對定位在帶狀柔性基質的上側上的邊緣部分進行夾持，因而不會對產品的各部 分產生不利影響。此外，由于可使用小直徑和小寬度的輥子，因而這些輥子能以非常小的間 距設在處理單元之間，可使處理單元的空間和柔性基質的邊界最小，從而可提高產量并且 可減小安裝空間。( 為了實現上述目標，本發明的第二基本方面涉及柔性基質處理設備，該處理設 備包括輸送裝置(12、14、32、34)，該輸送裝置沿橫向方向以其垂直姿態輸送帶狀柔性基 質；柔性基質處理單元(20)，該處理單元沿柔性基質的輸送路徑設置；以及位置控制裝置 (21,8,8'、8")，該位置控制裝置對處理單元中的柔性基質的橫向位置進行控制，其中，該 位置控制裝置包括成對上部夾持輥子04、25)，該成對上部夾持輥子對柔性基質的上邊 緣部分進行夾持，且成對上部夾持輥子的旋轉軸傾斜，從而成對上部夾持輥子在夾持部分 中的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小偏角朝上傾斜，上部支承機構08、四)，該 上部支承機構包括對成對上部夾持輥子進行支承的可動支承部件和固定支承部件，從而成 對上部夾持輥子可旋轉和彼此靠近或離開，偏置部件(81、81')，該偏置部件通過可動支 承部件使成對上部夾持輥子中的一個輥子沿對該成對上部夾持輥子中的另一個輥子進行 壓靠的方向偏置，第二偏置部件(82、82')，所述第二偏置部件沿與偏置部件的偏置力相 反方向對可動支承部件施加調整力，以及驅動裝置(86)，所述驅動裝置使第二偏置部件移 位，從而對該成對上部夾持輥子的夾持壓力進行調整。在根據第一基本方面的處理設備中，位置控制單元具有如下構造通過利用驅動 裝置使偏置部件直接移位來調整夾持壓力，而在根據第二基本方面的處理設備中，第二偏置部件設置成沿與偏置部件(第一偏置部件)的偏置力相反方向對可動支承部件施加調整 力，通過利用驅動裝置使第二偏置部件移位來對第二偏置部件的偏置力(調整力)進行調 整，通過被改變的調整力與第一偏置部件的偏置力相抵消，從而對夾持輥對的夾持壓力進 行調整。因此，在根據第二基本方面的處理設備中，第一偏置部件的偏置力總是通過可動 支承部件作用在夾持輥對上。此外，在夾持輥對的夾持壓力較小的區域中，也就是在沿垂直 寬度方向的偏移較小且位置控制集中的區域中，第一偏置部件的偏置力和第二偏置部件的 偏置力(調整力)增大。于是，可改進控制精確度和穩定性。其它的操作效果與第一基本 方面的操作效果類似。本發明的柔性基質處理設備主要用于對薄膜層疊體進行制造的制造設備，在該制 造設備中，包括成膜單元的制造設備的主要部件設在共用的真空腔室內部，然而難于將包 括諸如電動機或液壓缸之類的致動器設置在減壓至預定真空水平且保持相對高溫的真空 腔室內部。因此，本發明包括下述第二方面，該第二方面涉及在提供由設置在真空腔室外部 的致動器來對夾持輥對的夾持壓力進行遠程操作的構造時，上述偏置裝置的布置。(1. 1)根據基于上述第一基本方面的第一從屬方面，該處理單元包括設在真空腔 室內部的至少一個成膜單元(41)，成對上部夾持輥子04、25)、上部支承機構06、27)以及 偏置部件(51)設在真空腔室內部，且驅動裝置包括致動器(56)和驅動傳遞機構(55、54、 53)，該致動器設在真空腔室外部，驅動傳遞機構通過密封裝置(57)將致動器的驅動傳遞 至真空腔室內部的偏置部件(51)(圖5)。(1. 2)根據基于上述第一基本方面的第二從屬方面，該處理單元包括設在真空腔 室內部的至少一個成膜單元(41)，成對上部夾持輥子(對、2幻和上部支承機構06、27)設 在真空腔室內部，而偏置部件(51')設在真空腔室外部，且驅動裝置包括致動器(56)且還 包括偏置力傳遞機構(55' ,54' ,53')，該致動器設在真空腔室外部，該偏置力傳遞機構 通過密封裝置(57)將偏置部件的偏置力傳遞至真空腔室內部的可動支承部件(圖9)。(2. 1)根據基于上述第二基本方面的第一從屬方面，該處理單元包括設在真空腔 室內部的至少一個成膜單元(41)，成對上部夾持輥子04、25)、上部支承機構Q8J9)以及 偏置部件(81)設在真空腔室內部，而第二偏置部件(82)設在真空腔室外部，且驅動裝置包 括致動器(86)且此外還包括調整力傳遞機構(85、84、83)，該致動器設在真空腔室外部，該 調整力傳遞機構通過密封裝置(57)將第二偏置部件的調整力傳遞至真空腔室內部的可動 支承部件(圖7)。(2. 2)根據基于上述第二基本方面的第二從屬方面，該處理單元包括設在真空腔 室內部的至少一個成膜單元(41)，成對上部夾持輥子04、25)、上部支承機構08、四)、偏 置部件(81)以及第二偏置部件(82')設在真空腔室內部，且驅動裝置包括致動器(86)和 驅動傳遞機構(85' ,84' ,83')，該致動器設在真空腔室外部，該驅動傳遞機構通過密封 裝置(57)將致動器的驅動傳遞至真空腔室內部的第二偏置部件(圖10)。(2. 3)根據基于上述第二基本方面的第三從屬方面，該處理單元包括設在真空腔 室內部的至少一個成膜單元(41)，成對上部夾持輥子04、25)、上部支承機構(觀、29)設在 真空腔室內部，而偏置部件(81')和第二偏置部件(8 設在真空腔室外部，且驅動裝置包 括致動器(86)且此外還包括偏置力傳遞機構(85"、84"、83")，該致動器設在真空腔室外部，該偏置力傳遞機構通過密封裝置(57)將偏置部件的偏置力傳遞至真空腔室內部的 可動支承部件(圖11)。在本發明的上述第二方面，密封裝置(57)較佳的是密封軸承，驅動傳遞機構、偏 置力傳遞機構或調整力傳遞機構包括軸(5454'、84、84'、84")，該軸由密封軸承氣密 密封但可旋轉地支承，且旋轉力通過軸由真空腔室外部傳遞至真空腔室內部。在如下構造中其中，自真空腔室的外部對夾持輥對的夾持壓力進行遠程操作，由 于密封結構上的負載較小，因而通過由設在真空腔室的隔壁中的密封軸承進行氣密密封但 可旋轉支承的軸所傳遞的旋轉力是有用的，從而偏置力或調整力能以良好效率傳遞到真空 腔室中，并且確保基質位置控制的精確度。根據本發明較佳的是，位置控制裝置還包括成對下部夾持輥子(23)，該成對下 部夾持輥子對柔性基質的下邊緣部分進行夾持，且成對下部夾持輥子的旋轉軸傾斜，從而 該成對下部夾持輥子在夾持部分中的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小偏角朝 下傾斜，下部支承機構，該下部支承機構包括對該成對下部夾持輥子進行支承的可動支承 部件和固定支承部件，從而成對下部夾持輥子可旋轉并且彼此靠近或離開，以及下部偏置 部件，該下部偏置部件通過可動支承部件使該成對下部夾持輥子中的一個輥子沿對該成對 下部夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠的方向偏置。采用此種構造，通過由上部夾持輥對所產生的可控制提升力和由下部夾持輥對所 產生的下拉力而沿垂直方向(也就是橫向方向)對帶狀柔性基質進行拉伸，且在拉伸狀態 下執行對沿垂直寬度方向位置的控制。于是，以更高精確度來執行位置控制。在上述構造中，還設有下部驅動裝置，該下部驅動裝置使下部偏置裝置移位，從而 對成對下部夾持輥子的夾持壓力進行控制，或者還設有下部第二偏置部件和下部驅動裝 置，該下部第二偏置部件沿與下部偏置部件的偏置力的方向相反的方向對可動支承部件施 加調整力，該下部驅動裝置使下部第二偏置部件移位，從而對成對下部夾持輥子的夾持壓 力進行調整。(3)為了實現上述目標，本發明的第三基本方面涉及柔性基質處理設備，該處理 設備包括輸送裝置(12、14、32、34)，該輸送裝置沿橫向方向以其垂直姿態輸送帶狀柔性 基質；柔性基質處理單元(20)，該處理單元沿柔性基質的輸送路徑設置；以及位置控制裝 置(121、105)，該位置控制裝置對處理單元中的柔性基質的橫向位置進行控制，其中，該位 置控制裝置包括成對上部夾持輥子(1M、125)，該成對上部夾持輥子對柔性基質的上邊 緣部分進行夾持，且成對上部夾持輥子的旋轉軸傾斜，從而成對上部夾持輥子在夾持部分 中的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小偏角朝上傾斜，支承機構(1觀、1四)，該 支承機構包括對該成對上部夾持輥子進行支承的可動支承部件和固定支承部件，從而成對 上部夾持輥子可旋轉和彼此靠近或離開，彈簧(160)，該彈簧通過可動支承部件使該成對 上部夾持輥子中的一個輥子對該成對上部夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠，傳遞機構 (151、153、巧4)，該傳遞機構將彈簧的偏置力作為扭矩傳遞至可動支承部件，以及驅動裝置 (156)，該驅動裝置使彈簧的支承點繞該彈簧與傳遞機構連接的連接點進行角移位，從而對 該成對上部夾持輥子的夾持壓力進行調整。在第三基本方面，使用如下構造彈簧的支承點繞該彈簧與傳遞機構連接的連接 點角移位，從而對夾持輥對的夾持壓力進行調整，藉此即使在彈簧保持恒定的彈性移位的狀態下，仍能響應于彈簧支承點的角移位而使偏置力的用于夾持輥對的夾持壓力的角分量 (也就是垂直于彈簧支承點的旋轉軸向方向的分量)逐漸增大或減小。比起彈簧支承點沿 偏置力的作用方向前后移位，此種構造的優點在于執行控制所需的驅動力減小，結構簡化 并且執行高精度的控制。具體地說，彈簧的偏置力總是在包括如下區域的整個角移位的區域中作用在傳遞 機構上夾持輥對的夾持壓力較小。此外，彈簧支承點的沿旋轉徑向方向的分量隨著偏置力 的用于夾持輥對的夾持壓力的角分量的減小而增大，且該徑向分量有利于使傳遞機構的角 位置和夾持輥對的與該角位置相對應的夾持壓力穩定。因此，在夾持輥對的夾持壓力較小、 也就是在柔性基質的沿垂直寬度方向位置的移位較小且位置控制集中的區域中，上述構造 對于提高精確度和控制穩定性來說有用。在第三基本方面較佳的是，驅動裝置包括驅動部件(161)，該驅動部件使彈簧的支 承點繞通過該彈簧與傳遞機構的連接的連接點并且與傳遞機構的旋轉軸平行的軸線進行 角移位，與此同時使彈簧保持恒定的彈性移位。此方面的優點在于可容易地創造如下系統 其中可消除彈簧的彈性變形所伴隨的摩擦影響，且可執行高質量控制，此外可由驅動裝置 來對使用肘節機構(下文將進行描述)的夾持輥子的釋放位置進行設定。因此，在本發明的另一較佳實施例中，由驅動裝置所引起的支承點的角移位是肘 節角位置并且包括肘節角位置(161 ‘)，從而傳遞機構可通過支承在肘節角位置的彈簧的 偏置力保持在如下兩個位置成對夾持輥子中的一個輥子壓靠于成對夾持輥子中的另一個 輥子的位置；以及成對夾持輥子中的一個輥子離開成對夾持輥子中的另一個輥子的位置。采用此種構造，可通過利用驅動裝置將彈簧支承點移位至肘節角位置來獲得如下 備用狀態其中，成對夾持輥子中的一個輥子可離開成對夾持輥子中的另一個輥子，與此同 時使可動支承部件、傳遞機構、彈簧以及驅動裝置保持連接關系。此外，在成對夾持輥子中 的一個輥子相互離開成對夾持輥子中的另一個輥子的情形下，所離開的夾持輥子由彈簧的 偏置力保持于離開狀態，且柔性基質可容易地引入制造設備中。此外，在所離開的夾持輥子 于柔性基質已通過成膜單元之后回到初始位置的情形下，夾持輥子由彈簧的偏置力馬上壓 靠于成對夾持輥子的另一個輥子，且對柔性基質進行夾持。因此，可便于引入柔性基質的操 作。在本發明的另一較佳實施例中，位置控制裝置還包括成對下部夾持輥子(123)， 該成對下部夾持輥子對柔性基質的下邊緣部分進行夾持，且成對下部夾持輥子的旋轉軸傾 斜，從而該成對下部夾持輥子在夾持部分中的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小 偏角朝下傾斜，下部支承機構，該下部支承機構包括對該成對下部夾持輥子進行支承的可 動支承部件和固定支承部件，從而成對下部夾持輥子可旋轉和彼此靠近或離開，以及下部 彈簧，該下部彈簧通過可動支承部件使成對下部夾持輥子中的一個輥子對該成對下部夾持 輥子中的另一個輥子進行壓靠。采用如下構造其中，使對帶狀柔性基質的下邊緣進行夾持的成對下部夾持輥對 添加于對柔性基質的上邊緣進行夾持的上述成對上部夾持輥對，上部夾持輥對具有微小偏 角，從而該上部夾持輥對的旋轉方向面向上傾斜，且下部夾持輥對具有微小偏角，從而該下 部夾持輥對的旋轉方向面向下傾斜，帶狀柔性基質由上部夾持輥對所產生的提升力和下部 夾持輥對所產生的下拉力沿垂直方向(也就是橫向方向)拉伸，并且在拉伸狀態下執行對沿垂直寬度方向位置的控制。于是，以更高精確度來執行位置控制。根據本發明，較佳的是柔性基質處理設備還包括檢測裝置09)和位置控制裝置， 該檢測裝置用于對柔性基質的沿垂直寬度方向的位置進行檢測，而該位置控制裝置還包括 控制單元(50、150)，該位置控制單元用于根據檢測裝置的檢測值來對驅動裝置進行控制。 采用此種構造，通過預先實施對夾持壓力和控制量(角移位)的校準，可執行諸如基于反饋 控制之類的自動控制。例如，在以預定間距間歇地輸送帶狀柔性基質的同時進行成膜時，實施對沿垂直 寬度方向位置的檢測，且如果需要的話在停止階段的成膜處理同步地實施對夾持壓力的調 整，在下一輸送階段可由輸送裝置的輸送力來校正基質位置，且在輸送階段可監測沿垂直 寬度方向的位置并且可校正夾持壓力。此外，在持續地輸送帶狀柔性基質的同時進行成膜 時，可根據需要校正夾持壓力，與此同時總是對沿垂直寬度方向的位置進行監測。(4)在本發明的上述第一至第三基本方面的以下實施例中，在成對夾持輥對設在 柔性基質的各個側緣處的情形下，不僅可控制垂直姿態，而且還可控制橫向姿態。(4. 1)因此，能以柔性基質處理設備來實施上述第一基本方面，該處理設備包括 輸送裝置，該輸送裝置用于輸送帶狀柔性基質；柔性基質處理單元，該處理單元沿柔性基質 的輸送路徑設置；以及位置控制裝置，該位置控制裝置對處理單元中的柔性基質的橫向位 置進行控制，其中，該位置控制裝置包括成對夾持輥子，該成對夾持輥子對柔性基質的側 邊緣部分進行夾持，且該成對夾持輥子的旋轉軸傾斜，從而該成對夾持輥子在夾持部分中 的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小偏角面向橫向邊緣，位于各側的支承機構， 該支承機構包括對該成對夾持輥子進行支承的可動支承部件和固定支承部件，從而該成對 夾持輥子可旋轉和彼此靠近或離開，位于各側的偏置部件，該偏置部件通過可動支承部件 使各對中的夾持輥子中的一個輥子沿對該夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠的方向偏置， 以及驅動裝置，該驅動裝置使至少一個所述偏置部件移位，從而對至少一對成對上部夾持 輥子的夾持壓力進行調整。(4. 2)因此，能以柔性基質處理設備來實施上述第二基本方面，該處理設備包括 輸送裝置，該輸送裝置用于輸送帶狀柔性基質；柔性基質處理單元，該處理單元沿柔性基質 的輸送路徑設置；以及位置控制裝置，該位置控制裝置對處理單元中的柔性基質的橫向位 置進行控制，其中，該位置控制裝置包括成對夾持輥子，該成對夾持輥子對柔性基質的側 邊緣部分進行夾持，且該成對夾持輥子的旋轉軸傾斜，從而該成對夾持輥子在夾持部分中 的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小偏角面向橫向邊緣，位于各側的支承機構， 該支承機構包括對該成對夾持輥子進行支承的可動支承部件和固定支承部件，從而該成對 夾持輥子中的每對輥子可旋轉和彼此靠近或離開，位于各側的偏置部件，該偏置部件通過 該可動支承部件使各對中的夾持輥子中的一個輥子沿對該夾持輥子中的另一個輥子進行 壓靠的方向偏置，位于各側的第二偏置部件，該第二偏置部件沿與偏置部件的偏置力相反 方向對可動支承部件施加調整力，以及驅動裝置，該驅動裝置使至少一個第二偏置部件移 位，從而對至少一對成對上部夾持輥子的夾持壓力進行調整。(4. 3)因此，能以柔性基質處理設備來實施上述第三基本方面，該處理設備包括 輸送裝置，該輸送裝置用于輸送帶狀柔性基質；柔性基質處理單元，該處理單元沿柔性基質 的輸送路徑設置；以及位置控制裝置，該位置控制裝置對處理單元中的柔性基質的橫向位置進行控制，其中，該位置控制裝置包括成對夾持輥子，該成對夾持輥子對柔性基質的側 邊緣部分進行夾持，且該成對夾持輥子的旋轉軸傾斜，從而該成對夾持輥子在夾持部分中 的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小偏角面向橫向邊緣，位于各側的支承機構， 該支承機構包括對該成對夾持輥子進行支承的可動支承部件和固定支承部件，從而該成對 夾持輥子中的每對輥子可旋轉并且彼此靠近或離開，位于各側的彈簧，該彈簧通過可動支 承部件使各對中的夾持輥子中的一個輥子對該夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠，位于各 側的傳遞機構，該傳遞機構將彈簧的偏置力作為相應的扭矩傳遞至可動支承部件，以及驅 動裝置，該驅動裝置使至少一個彈簧的支承點繞該彈簧與輸送傳遞機構連接的連接點移 位，從而對至少一對成對夾持輥子的夾持壓力進行調整。如上所述，采用本發明的柔性基質處理設備，能抑制柔性基質的下垂和褶皺的發 生，且柔性基質可保持恒定的橫向位置，藉此在輸送帶狀柔性基質的同時執行諸如成膜之 類的處理時，確保高質量處理。此外，根據上述第三基本方面，能以較小的驅動力執行高精 度控制，且能以低成本安裝用于夾持輥對的釋放機構，該釋放機構便于弓I入柔性基質。


圖1是示出根據本發明實施例的制造設備的整個構造的示意平面圖。圖2是示出根據本發明實施例的制造設備的一個成膜單元的示意平面圖。圖3是沿圖2的線A-A剖取的剖視圖。圖4是圖3所示構造的主要放大剖視圖，示出根據本發明的第一實施例的上部夾 持輥對及其控制機構。圖5是主要放大剖視圖，其中自輸送方向的上游側來觀察根據本發明的第一實施 例的上部夾持輥對及其控制機構。圖6與圖4相對應的主要放大剖視圖，示出根據本發明的第二實施例的上部夾持 輥對及其控制機構。圖7是主要放大剖視圖，其中自輸送方向的上游側來觀察根據本發明的第二實施 例的上部夾持輥對及其控制機構。圖8是沿圖7的線B-B剖取的剖視圖。圖9是示出與本發明的第一實施例相關聯的變型示例的示意圖。圖10是示出與本發明的第二實施例相關聯的變型示例的示意圖。圖11是示出與本發明的第二實施例相關聯的另一變型示例的示意圖。圖12是沿圖2的剖線A-A剖取的示意剖視圖，該視圖示出與本發明的第一實施例 相關聯的另一變型示例。圖13是沿圖2的剖線A-A剖取的剖視圖，該視圖示出根據本發明的第三實施例的 制造設備的一個成膜單元。圖14與圖3相對應的主要放大剖視圖，示出根據本發明的第三實施例的上部夾持 輥對及其控制機構。圖15是主要放大剖視圖，其中自輸送方向的上游側來觀察根據本發明的第三實 施例的上部夾持輥對及其控制機構。圖16是主要放大平面剖視圖，示出根據本發明的第三實施例的上部夾持輥對及其控制機構。圖17是示出驅動臂的旋轉角、彈簧的張力F、偏置方向分量Fy以及與偏置方向垂 直的分量&之間的關系的圖表。圖18是主要放大剖視圖，其中自輸送方向的上游側來觀察恒定接觸壓力類型的 上部夾持輥對。圖19是沿圖2的剖線A-A剖取的示意剖視圖，該視圖示出根據本發明的第三實施 例的變型示例。圖20是示意剖視圖，其中自輸送方向的上游側來觀察根據本發明的第四實施例 的上部夾持輥對及其控制機構。附圖標記的說明1 柔性基質5,5' ,8,8'，8“控制機構(接觸壓力調整單元)7角度調整裝置10退繞單元11退繞卷筒12退繞饋送輥子13a, 13b張力檢測輥子14導向輥子20成膜單元21，22上部夾持輥對23,23'下部夾持輥對24固定輥子25可動輥子26,28固定支承部件27,29可動支承部件128延伸臂129 支架30卷繞單元31卷繞卷筒32卷繞饋送輥子33a, 33b張力檢測輥子34導向輥子35側端位置控制輥子40腔室結構單元(真空腔室)41成膜單元42固定腔室43可動腔室46主體結構部件48 頂板0090]49，49'傳感器0091]50控制單元0092]51，51'彈簧(偏置部件)0093]53，53'操作臂0094]54,54'旋轉軸0095]55，55'桿0096]56，56'致動器0097]57，57'密封軸承0098]81，81'，81"彈簧(第一0099]82，82'，82"彈簧(第二0100]83，83'，83"操作臂0101]84，84'，84"旋轉軸0102]85，85'，85"桿0103]86致動器
偏置部件) 偏置部件)
0104]100制造設備
0105]105,105'控制機構(接觸壓力調整單元)
0106]121，122上部夾持輥對
0107]123,123'下部夾持輥對
0108]124 固定輥子
0109]125 可動輥子
0110]126 固定支承部件
0111]127可動支承部件
0112]150 控制單元
0113]151 第二臂
0114]154 旋轉軸
0115]153 第一臂
0116]153a連接銷(連接點)
0117]I56，I56'致動器(驅動裝置)
0118]157 密封軸承
0119]160 彈簧
0120]160a調整螺桿
0121]161 驅動臂
0122]161a支承銷(支承點)
0123]300 制造設備
0124]305控制機構(接觸壓力調整單元)
0125]307角度調整裝置
0126]321 夾持輥對
0127]324 固定輥子
0128]325 可動輥子
326固定支承部件
327可動支承部件
340腔室結構單元(真空腔室)
341成膜單元
342固定腔室
343可動腔室
346主體結構部件
348頂板
349傳感器
350控制單元
351彈簧(偏置部件)
354旋轉軸
356致動器
357密封軸承
α ,β微小偏角
具體實施例方式下文將參照附圖以本發明的一實施例來更詳細地解釋如下情形其中，本發明實 施成對薄膜層疊體進行制造的制造設備100，該薄膜層疊體構成用于太陽能電池的薄膜光 電變換元件。在下文的描述中，實施例中相同或相對應的部件將用相同或相對應的附圖標 記來指代，且在此將省略對它們的解釋。在圖1中，制造設備100包括構成用于帶狀柔性基質1(柔性膜)的輸送系統的退 繞單元10和卷繞單元30，且制造設備100構造成在將柔性基質1以預定間距間歇地從退 繞單元10輸送至卷繞單元30、以使柔性基質的橫向方向與垂直方向重合的同時，在沿退繞 單元和卷繞單元之間的輸送路徑設置的成膜部分20中，多個薄膜順序地層疊形成在柔性 基質1上。覆蓋退繞單元10、成膜單元20以及卷繞單元30的腔室結構彼此氣密地連結，且 整個設備容納在保持預定真空度的共同的真空腔室中。在借助附圖中的示例所示出的制造 設備100中，用于薄膜層疊體的兩個系統的生產線布置成平行，且對于每個系統都設有退 繞裝置10和卷繞裝置30，然而成膜部分20容納在兩個系統共同的腔室結構00、40…)內 部。退繞單元10主要由退繞裝置(11)、退繞饋送輥子12、張力檢測輥子13a和13b以 及導向輥子14構成，退繞裝置(11)自退繞卷筒11退繞和供給柔性基質1，退繞饋送輥子12 將退繞的柔性基質1饋送至成膜部分20，張力檢測輥子13a和1 檢測退繞側的膜張力，導 向輥子14將柔性基質1導向至成膜部分20上游的成膜部分20。設在成膜部分20上游的卷繞單元30主要由導向輥子34、邊緣位置控制(EPC)輥 子35、惰輥36、張力檢測輥子33a、33b、卷繞饋送輥子32以及卷繞裝置(31)構成，導向輥子 34在成膜部分20的下游對柔性基質1進行導向，邊緣位置控制(EPC)輥子35對柔性基質 1在導向輥子34中沿垂直寬度方向(輸送高度)的位置進行控制，張力檢測輥子33a、33b檢測卷繞側的膜張力，卷繞裝置(31)作為卷繞卷31將柔性基質1卷繞在芯部的周緣上。張 力檢測輥子3 還具有主動地控制膜張力的功能。構成退繞單元10和卷繞單元30的輥子定向成這些輥子的軸向方向與垂直方向 重合，從而在使柔性基質1的橫向方向與垂直方向重合的條件下輸送柔性基質1。邊緣位置 控制輥子35構造成其軸向方向可相對于垂直方向傾斜，邊緣位置控制輥子的旋轉軸線根 據柔性基質1在導向輥子34中沿垂直寬度方向的位置的檢測值來進行傾斜，且對柔性基質 1的饋出方向進行精確地上下調整，因此可對柔性基質1在導向輥子34中沿垂直寬度方向 的位置進行校正并且使該位置保持恒定位置。成膜部分20由多個成膜單元41構成，這些成膜單元以預定間距沿柔性基質1的 在退繞單元10和卷繞單元30之間的直線輸送路徑設置。成膜部分20的腔室結構由多個 腔室結構單元40組成，這些腔室結構單元使每個成膜單元41隔開。這些腔室結構單元40 彼此氣密連結，且構成前述共同的真空腔室的一部分。每個成膜單元41由真空氣相沉淀單 元所構成，該真空氣相沉淀單元用于執行諸如等離子化學氣相沉淀(CVD)之類的化學氣相 沉淀或者諸如濺射之類的物理氣相沉淀(PVD)。例如，薄膜太陽能電池的制造設備(100)包括多個成膜單元41 (a、Ir··)和多個 成膜單元41 (i、j)，其中光電變換元件層疊形成在柔性基質1上，且在多個成膜單元41 (a、 b···)中，通過等離子CVD而層疊形成銷結構的光電變換層，而在多個成膜單元41 (i、j)中， 通過在光電變換層的前面和柔性基質1的背面進行濺射而層疊形成相應的電極層。圖2示意地示出用于等離子CVD的一個成膜單元41。如圖所示，成膜單元41包 括固定腔室42和可動腔室43，在固定腔室42中互相相對的各面打開，可動腔室43可由諸 如液壓缸(在圖中未示出)之類的往復驅動裝置而與固定腔室42接觸和隔開，且包含加熱 器44a的接地電極44設置在固定腔室42內部。此外，在表面中具有大量噴氣孔的高頻電 極45設置在可動腔室43內部，且高頻電極45連接于位于真空腔室外部的高頻電源(在圖 中未示出)。在成膜單元41中，在柔性基質1的間歇輸送循環的停止階段，可動腔室43壓靠于 固定腔室42，且柔性基質4夾在可動腔室和固定腔室之間，成膜腔室(42、4；3)在此狀態下 閉合，然后使包括成膜組分的原材料氣體通過導氣管4 引入成膜腔室(42、4；3)中，與此同 時通過排氣管4 對成膜腔室02、43)的內部進行進一步排氣，通過對高頻電極45施加高 頻高壓來產生等離子，且可通過原材料氣體在加熱柔性基質1的表面上的化學反應來形成 膜。為了使多個光電變換層具有增強薄膜太陽能電池的發電效率的目標時，成膜單元 41的總體數量要等于或大于十，且采用具有等于或大于Im的寬度的大型柔性基質1，自退 繞導向輥子14至卷繞導向輥子34的輸送跨距可等于或大于10m。因此，制造設備100設 有基質位置控制裝置，該基質位置控制裝置使柔性基質1在成膜部分20中沿垂直寬度方向 (輸送高度)保持恒定位置。如圖2和圖3所示，基質位置控制裝置設在成膜部分20中的成膜單元41、41…之 間，且具有上部夾持輥對21、22和下部夾持輥對23、23，上部夾持輥對夾持柔性基質1的上 邊緣，而下部夾持輥對夾持柔性基質1的下邊緣，其中至少一個上部夾持輥對21構造成能 控制夾持壓力。基質位置控制裝置還包括傳感器49、控制單元50以及致動器56，傳感器49檢測柔性基質1沿垂直寬度方向的位置，控制單元根據傳感器49的檢測值來對至少一個上 部夾持輥對21的夾持壓力進行控制，且致動器用作驅動裝置。如上所述，成膜部分20由多個腔室結構單元40組成，這些腔室結構單元使每個成 膜單元41隔開，且每個腔室結構單元40由主體結構部件46、側壁47以及頂板48構成，主 體結構部件46設在腔室結構單元40的周緣上，側壁可相對于主體結構部件46打開和關 閉，且頂板固定于主體結構部件46的上部。包括高頻電極45的可動腔室43和可動腔室的 往復驅動裝置(圖中未示出)安裝在側壁47上。在腔室結構單元40的結合部中，用于使 柔性基質1通過的開口 460設置成通過每個主體結構部件46，且在開口 460的上方和下方， 上部夾持輥對21、22和下部夾持輥對23、23以下文描述的微小偏角α、β附連于主體結構 部件46，且下文描述的角度調整裝置7置于上部夾持輥對和下部夾持輥對之間。因此，上部夾持輥對21、22附連成它們在夾持部中的旋轉方向相對于柔性基質1 的輸送方向以微小偏角α斜向上，而下部夾持輥對23、23附連成它們在夾持部中的旋轉 方向相對于柔性基質1的輸送方向以微小偏角β斜向下。在上部夾持輥對21、22和下部夾持輥對23如此設有微小偏角α、β的情形下，輥 對相對于輸送方向相互擴開，不僅柔性基質1支承在輸送跨距內，而且在沿成膜單元41的 輸送過程中，在柔性基質1的上邊緣處產生提升力，而在下邊緣處產生下拉力。于是，柔性 基質1沿橫向方向展開，且上部夾持輥對21、22的提升力與通過將下部夾持輥對23的下拉 力與柔性基質1的重力相加得到的力相平衡，柔性基質1沿垂直寬度方向的位置固定，且通 過線變為水平。然而，在成膜單元41中的柔性基質1上順序地執行成膜處理，諸如柔性基 質1的表面密度和彈性系數之類的物理性能沿輸送方向并不總是均勻的，且難以獲得平衡 狀態。上部夾持輥對21、22的提升力和下部夾持輥對23的下拉力取決于微小偏角α、 β和夾持輥對的接觸壓力。微小偏角α、β可設定在0.1°至6°的范圍內，且還取決于 柔性基質1和夾持輥對的表面狀態和接觸壓力，然而在微小偏角α、β大于約6°的情形 中，動摩擦變為主導且提升力或下拉力并不增大。為確保使基質位置控制有效地起作用，較 佳的是微小偏角α、β為0.5°至2°。在上部微小偏角和下部微小偏角α、β恒定的情 形中，提升力和下拉力由接觸壓力所確定。然而，對于沿輸送方向設置在成膜單元41之間 的所有上部夾持輥對21、22和下部夾持輥對23的接觸壓力進行控制，這是不現實的。因此，使用如下構造其中，對于上部夾持輥對21、22中的一些上部夾持輥對21的 接觸壓力進行主動地控制，而對其它的上部夾持輥對22和下部夾持輥對23的接觸壓力采 用預設恒定值，且提升力和下拉力被動地進行作用，此種構造有利于以更簡便的方式來進 行高度有效的基質位置控制。在附圖所示示例的制造設備100中，沿輸送方向幾乎定位在 輸送跨距中心的成膜單元41 (f)的上游側的一個上部夾持輥對21構造成可控制接觸壓 力，從而對于柔性基質1沿垂直寬度方向的位置進行主動地控制。在較佳的實施例中，可控制的上部夾持輥對21通過如下方式構成將控制機構 (接觸壓力調整單元)添加于與其它的上部夾持輥對22和下部夾持輥對23共用的組件來 構成。角度調整裝置7為夾持輥對21、22和23所共用。根據將接觸壓力施加于輥對的系 統，上部夾持輥對21的控制機構可具有以下三種基本實施例直接系統(5)、平衡系統(8) 以及肘桿彈簧系統(105)。
第一實施例圖4和圖5示出本發明的第一實施例的上部夾持輥對21及其控制機構5。控制機 構5是直接系統，其中對偏置部件(51)的偏置力進行直接控制。下面，將參照附圖來解釋 本發明的第一實施例。在附圖中，上部夾持輥對21由成對夾持輥子M、25組成。如圖5所示，固定輥子 M通過軸承可旋轉地支承于設在固定支承部件沈的遠端(下端)上的支承軸^^上，并且 由金屬輥子本體2 和耐熱橡膠涂層2 構成，該耐熱橡膠涂層涂覆于輥子本體的周緣上。 可動輥子25也以類似的方式可旋轉地支承于可動支承部件27的遠端(下端)處，并且類 似地由金屬輥子本體2 和耐熱橡膠涂層2 構成，該耐熱橡膠涂層涂覆于輥子本體的周 緣上。如圖4所示，固定支承部件沈在其近端(上端)處固定于構成角度調整裝置7的 支架71。支架71具有支承部71a和基部71b，支承部垂直于固定輥子M的軸向方向，而基 部自支承部71a的一側相對于該支承部71a向上且垂直延伸。固定支承部分沈的近端部 分固定于支承部71a。此外，將墊片73引入支架71的基部71b和固定板70之間，且基部 71b利用螺栓72固定于主體結構部件46的垂直表面。于是，支架71的附連角(也就是支 承在固定支承部件沈上的固定輥子M的附連角)可根據墊片73的厚度和/或數量而改 變。如圖5所示，可動支承部件27在固定地附連于固定支承部件沈的支架^b的遠 端處、通過軸27a可擺動地支承在其中間位置，且在可動支承部件27繞作為中心的軸27a 擺動的情形中，可動輥子25與固定輥子M相接觸或離開固定輥子24。可動支承部件27具有臂部27b和保持桿51a，臂部自中間部分(27a)彎成曲柄狀 且向上延伸，用于支承彈簧51的保持桿51a由螺母51b固定于臂部27b的遠端。保持桿51a 沿與固定輥子M的軸向方向交叉的方向自臂部27b朝固定支承部件沈的近端延伸，并且 在彈簧51引入保持桿和下述操作臂53的遠端(53a)之間的狀態中，插入操作臂53的配合 孔53a中。此外，保持桿51a的遠端插在設于固定支承部件沈的近端中的細長孔^c中。彈簧51是壓簧。可動支承部件27的臂部27a通過彈簧51沿離開操作臂53的方 向進行偏置，且相對于作為中心的軸27a定位于與臂部27a —側相對的一側的可動輥子25 壓靠于固定輥子對。因此，操作臂53沿保持桿51a移位，且彈簧51的支承點移位，由此可 對彈簧51的偏置力進行控制并且對夾持輥子M、25的接觸壓力進行調整。操作臂53在其近端處固定于旋轉軸M的下端。旋轉軸M由軸承5 可旋轉地 支承，該軸承由支架Mb固定于主體結構部件46，且旋轉軸的上端通過密封軸承57穿過腔 室結構單元40的頂部分(48)，并且在真空腔室00)的外部，利用置于該旋轉軸的上端和致 動器56 (直線致動器)的輸出軸56a之間的桿55而連結于該輸出軸56a。如上所述，上部夾持輥對和下部夾持輥對21、22、23附連于定位于成膜單元41之 間的主體結構部件46，從而將角度調整裝置7置于這些輥對和主體結構部件之間。如圖3 和圖4所示，由于附連位置代表相鄰腔室結構單元40的結合部分，因而旋轉軸M和密封軸 承57設置在成膜單元41上方以越過主體結構部件46。因此，操作臂53在成膜單元41上 方進行曲柄狀彎曲，在主體結構部件46下方延伸并且與彈簧51的一端配合。 密封軸承57通過置于該密封軸承57和頂板48的開口 480之間的基板58或0形圈而氣密地附連于該開口 480，且軸承和磁密封設在該密封軸承57的殼體內部。因此，在如 下狀態中對該旋轉軸M進行旋轉地支承其中，在真空腔室的內部和外部保持壓力差，且 致動器56的驅動可通過旋轉軸M來傳遞到真空腔室00)中。未設置有密封軸承57和旋 轉軸M的開口 480具有安裝在其上的諸如耐熱玻璃之類的透明部件，并且用作對真空腔室 內部進行觀察的觀察窗口。由于致動器56設在腔室結構單元40 (真空腔室)的外部，因而可使用任何系統的 致動器。在附圖所示的示例中，使用如下直線致動器利用螺桿饋送機構之類將伺服電動機 的旋轉轉換為直線往復運動，但還可通過使用旋轉致動器直接或間接地使驅動軸M旋轉。 根據傳感器49的檢測值，由控制單元50輸出的控制信號直線地或旋轉地驅動致動器56。如圖3所示，傳感器49在成膜單元41之間的如下空間中，在恒定接觸壓力類型的 上部夾持輥對22附近附連于主體結構部件46 該空間相對于已設置有可控制上部輥對21 的成膜單元41之間的空間沿輸送方向向下游(或上游)偏移一個單元。可將諸如反射或 透射的光學傳感器之類的眾所周知的位置傳感器用作傳感器49，此種位置傳感器能以非接 觸的方式來對柔性基質1的上端部分(沿垂直寬度方向的位置)進行檢測。還可通過在彈簧51和上部夾持輥對21的固定支承部件沈之間，插入與保持桿 51a配合的間隔器(代替操作臂53)來構造恒定接觸壓力類型的上部夾持輥對22和下部夾 持輥對22。此外，由角度調整裝置7引起的夾持輥對21、22和23的附連角的變化能在操作 臂53和保持桿51a的配合孔53a之間被吸收。在下文將根據第一實施例而對柔性基質1的橫向位置控制進行解釋。參照圖1，將柔性基質1以預定的循環時間間歇地從退繞單元10輸送經過成膜部 分20直至卷繞單元30。因此，在柔性基質1的間歇輸送循環的輸送階段，成膜部分20中的 成膜單元41的可動腔室43離開固定腔室42，同步驅動退繞饋送輥子12和卷繞饋送輥子 32，柔性基質1在每個成膜單元41的可動腔室43和固定腔室42之間輸送一個單元，且柔 性基質由此自退繞輥子11退繞并且卷繞在卷繞卷筒31上。在此情形中，由張力檢測輥子1 和3 使成膜部分20的上游導向輥子和下游導 向輥子34之間的柔性基質1的膜張力保持恒定，由側端位置控制輥子35將柔性基質1在 下游導向輥子34中沿垂直寬度方向的位置控制為恒定值，且在成膜部分20的成膜單元41 之間，由構成基質位置控制裝置的夾持輥子21、22、23來對柔性基質1的上邊緣部分和下邊 緣部分進行夾持，藉此防止柔性基質1在重力作用下下垂并且抑制由于沿橫向伸張所引起 的褶皺的發生。然而，如上所述，由于導向輥子14、34之間的輸送跨距較大，且柔性基質1 沿輸送方向的物理性能并不均勻，因而柔性基質1沿垂直寬度方向的位置可沿垂直方向偏 移。設在基本位于中心的成膜單元41 (f)下游的傳感器49對于柔性基質1的上端位 置(沿垂直寬度方向的位置)進行檢測，這與如下過程同步進行完成使柔性基質1輸送一 個單元，關閉每個成膜單元41的成膜腔室03、42)，以及在輸送循環的停止階段執行成膜。 當自參考線向上或向下發生顯著偏移時，由控制單元50獲得與偏移方向或偏移量相對應 的檢測值，且控制單元50根據該檢測值來前后驅動致動器56并且對上部夾持輥子21的接 觸壓力(夾持壓力)進行調整。例如，如圖4和圖5所示，當傳感器49檢測到柔性基質1的上端已顯著地向下偏移時，致動器56的輸出軸56a對應于該偏移量向前運動。于是，桿55響應于輸出軸56a的 前進而旋轉，桿陽的旋轉通過旋轉軸M傳遞至操作臂53，彈簧51的支承點(53a)通過操 作臂53的旋轉而朝可動支承部件27的臂部27b偏移，且彈簧51的偏置力，也就是上部夾 持輥子21的接觸壓力(夾持壓力)增大。然后，成膜單元41中的成膜處理結束，成膜腔室(43、4幻打開，然后退繞饋送輥子 12和卷繞饋送輥子32同步旋轉，且柔性基質1在每個成膜單元41的可動腔室43和固定腔 室42之間輸送過一個單元。因此，在基本位于中心的成膜單元41(f)的上游，在執行輸送的同時對柔性基質1 的上邊緣和下邊緣進行夾持的情形下，且在上部夾持輥子21的接觸壓力(夾持壓力)相對 于具有恒定接觸壓力的下部夾持輥子23的接觸壓力已增大的狀態中，由上部夾持輥子21 所產生的提升力超過由下部夾持輥子23通過夾持所產生的下拉力，于是柔性基質1相應地 向上運動，并且對柔性基質1的向下偏移進行校正。在結束對柔性基質1的一個單元輸送的情形下，再次關閉每個成膜單元41的成膜 腔室03、42)，并且執行下一個成膜處理。在此種處理的同時，由傳感器49以與上述類似 的方式對柔性基質1的上端位置進行檢測，且對上部夾持輥子21的接觸壓力進行進一步調 整。當由傳感器49對柔性基質1的上端的向上偏移進行檢測時，在通過相對于上述操作的 逆向操作減小上部夾持輥子21的接觸壓力的情形下，柔性基質1向下運動，并且對柔性基 質1的向上偏移進行校正。由于對沿垂直寬度方向的位置的檢測和對接觸壓力的調整(與在輸送循環的停 止階段中的成膜處理同步執行)與在輸送階段中使用輸送力對橫向位置進行校正交替執 行，因而，柔性基質1沿垂直寬度方向的位置保持于恒定水平或者在預定公差范圍內。此 外，在輸送階段，可監測沿垂直寬度方向的位置，并且可校正夾持壓力。在本實施例中，描述如下情形在輸送停止階段由成膜單元41來執行成膜處理， 與此同時以逐步的方式間歇地輸送柔性基質1。然而，本發明并不局限于此種處理，而還可 在共用的真空腔室中持續地輸送柔性基質的同時執行成膜處理。在此情形中，通過執行對 夾持壓力的控制，可使柔性基質1沿垂直寬度方向的位置保持于恒定水平或保持在預定公 差范圍內，與此同時利用傳感器對柔性基質沿垂直寬度方向的位置不斷地進行監測。第二實施例圖6至圖8示出本發明的第二實施例的上部夾持輥對21及其控制機構8。控制 機構8是平衡系統，其中通過使第一偏置部件(81)的偏置力和第二偏置部件(8 的偏置 力(調整力)平衡來控制接觸壓力。由于上部夾持輥對21的基本結構與上述第一實施例 的上部夾持輥對的基本結構類似，因而賦予相同的部件以相同的附圖標記，并且在此省略 對這些部件的解釋。下文參照附圖而對第二實施例的解釋集中在兩個實施例的不同之處。第二實施例和第一實施例的類似之處在于上部夾持輥對21由成對夾持輥子24、 25組成，且可旋轉地支承固定輥子M的固定支承部件觀固定于構成角度調整裝置7的支 架，且還在于可旋轉地支承可動輥子25的可動支承部件四在支架28b的固定于固定支承 部件觀的遠端處，通過軸29a可擺動地支承在可動支承部件四的中間部分中。然而，在第 二實施例中，通過插在延伸臂29c和支架28b的擴張片部28c之間的彈簧81，可動支承部件 29的上端29b沿離開固定支承部件28的基部的方向偏置，并且可動輥子25壓靠于固定輥子對，其中延伸臂^c固定于可動支承部件四的上端^b，擴張片部^c固定地附連于固 定支承部件觀。彈簧81的支承點固定不變。延伸臂29c通過橫穿可動支承部件四的上端部分而橫向延伸，并且在該橫穿區域 由螺栓固定于上端部分，在固定部分的兩側處鉆有長孔^d J9d。如圖8所示，用于支承彈 簧81、81的保持桿81a、81a由螺母81b、81b固定在擴張片部^cJSc處，擴張片部在固定 支承部件28的兩側處突出。彈簧81、81是壓簧，且支承彈簧81、81的保持桿81a、81a的遠 端部分利用置于遠端部分和延伸臂^c的長孔^d、29d之間的相應墊圈而插在長孔^cU 29d中，且彈簧81、81的偏置力施加于延伸臂^c的側部。延伸臂^c的一個臂部延伸至成膜單元41 一側，彎曲以繞過主體結構部件46，向 上延伸且朝柔性基質1上方進一步彎曲。能與操作臂83的遠端配合的銷^e以垂直狀態 設在延伸臂的上端部分處。操作臂83在其近端處固定于旋轉軸84的下端。旋轉軸84通過由支架84b固定 于主體結構部件46的軸承8 旋轉地支承，且以與第一實施例的構造類似的方式，通過密 封軸承57而穿過腔室結構單元40的頂部分08)。桿85附連于旋轉軸84的定位在真空腔 室(40)外部的上端。在桿85的遠端部分中鉆有配合孔85a (長孔)。支承彈簧82的保持桿8 的遠端 部分插在配合孔85a中，且彈簧82的偏置力(調整力)作用在桿85的遠端部分上。保持 桿8 連結于致動器86 (直線致動器)的輸出軸86a，并且與輸出軸86a —起前后運動。在具有上述構造的上部夾持輥子21的控制機構8中，與上述第一實施例類似，根 據傳感器49的檢測值通過控制單元50輸出的控制信號來直線地驅動致動器86，且彈簧82 的與致動器的運動量相對應的偏置力施加于桿85的遠端部分。此種偏置力由桿85轉換成 扭矩，該扭矩由旋轉軸84傳遞至操作桿83，并且該偏置力用作調整力，該調整力通過銷29e 抵抗彈簧81、81的偏置力而將壓力施加于延伸臂^c。彈簧81、81的偏置力被此種調整力 抵消，且對上部夾持輥對21的接觸壓力(夾持壓力)進行調整。因此，在第二實施例的控制機構8中，彈簧81的偏置力通過延伸臂29c和可動支 承部件四每次都施加于上部夾持輥對21。具體地說，在上部夾持輥對21的接觸壓力(夾 持壓力)較小的區域中，也就是在沿垂直寬度方向的移位較小且橫向位置的控制集中的區 域中，彈簧81的偏置力和彈簧82的偏置力(調整力)增大，并可獲得優良的控制精確度和 穩定性。此外，可直接使用第二實施例的上部夾持輥對21，或者在去除包括銷^e的延伸 臂29c的一個臂部之后，作為具有恒定接觸壓力類型的其它的夾持輥對23、23來使用，從而 彈簧81的支承點構成與控制機構8獨立的夾持輥子組件。由角度調整裝置7引起的夾持 輥對21、22和23的附連角的變化能在銷29e和操作臂83之間被吸收。第一實施例和第二實施例的變型示例雖然上文描述本發明的兩個基本實施例，然而可考慮具有不同設置的彈簧51、81、 82的若干其它變型示例。在變型示例中，與上述實施例中的部件類似的部件將被賦予類似 的附圖標記且示意地進行解釋。圖9是說明第一實施例的變型示例的示意圖，其中直接類型的控制機構5"附加 地設在上部夾持輥子M、25中。在此種構造中，彈簧51'設在真空腔室外部，彈簧51'的支承點通過致動器56的往復驅動而直線地偏移，彈簧51 ‘的被控制的偏置力通過構成偏置力傳遞機構的桿陽‘、旋轉軸以及操作臂53'而傳遞至真空腔室內部的可動支承 部件27，且對上部夾持輥子M、25的接觸壓力(夾持壓力)進行調整。圖10是說明第二實施例的變型示例的示意圖，其中平衡類型的控制機構8'附加 地設在上部夾持輥子M、25中。在此種構造中，彈簧81和彈簧82'都設在真空腔室內部。 彈簧81以與上述類似的方式使可動支承部件27相對于固定點08)偏置，并且將接觸壓力 施加于可動輥子25。彈簧82'相對于操作臂83'沿與彈簧81的偏置力相反的方向使可 動支承部件27偏置。致動器86的往復驅動通過構成驅動傳遞機構的桿85'、旋轉軸84' 以及操作臂83'而傳遞至彈簧82'的支承點，響應于支承點的移位而對彈簧82'的偏置 力(調整力)進行控制，且使彈簧81的偏置力相應減小，藉此對上部夾持輥子M、25的接 觸壓力(夾持壓力)進行調整。圖11是說明第二實施例的另一變型示例的示意圖，其中平衡類型的控制機構8" 附加地設在上部夾持輥子M、25中。在此種構造中，彈簧81'和彈簧82都設在真空腔室外 部。彈簧81'使桿85"相對于固定點偏置，而彈簧82"沿與彈簧81'的偏置力相反的方 向使桿85"相對于致動器86的輸出軸偏置。響應于致動器86的往復驅動而對彈簧82' 的偏置力(調整力)進行控制，使彈簧81'的偏置力相應減小，且被控制的偏置力通過構成 偏置力傳遞機構的桿85'、旋轉軸84"以及操作臂83"而傳遞至可動支承部件27，藉此對 上部夾持輥子對、25的接觸壓力(夾持壓力)進行調整。在上述實施例中，描述如下情形其中，對上部夾持輥對21的接觸壓力進行主動 地控制，而相對的下部夾持輥對23的接觸壓力是預設恒定值。然而，如圖12所示，還可具 有如下構造其中，對相對于輸送方向位于相同位置的上部夾持輥對和下部夾持輥對21、 23'的接觸壓力進行主動地控制。在圖12所示的示例中，與上部夾持輥對21的控制機構類似的控制機構5'(接觸 壓力調整單元)沿垂直方向以反向附加地設在下部夾持輥對23'中，該下部夾持輥對23' 相對于輸送方向位于與第一實施例的上部夾持輥對21相同的位置，且還附加地設有對柔 性基質1的下邊緣部分的位置進行檢測的傳感器49'。上部傳感器和下部傳感器49、49' 的檢測值發送至共用的控制單元50，且控制單元50根據這些檢測值來驅動上部致動器和 下部致動器56、56'，并且對上部夾持輥對和下部夾持輥對21、23'的接觸壓力進行控制。因此，控制單元50可根據上部傳感器和下部傳感器49、49'的檢測值來獲得柔性 基質1沿垂直寬度方向的位置和柔性基質1的延伸度，并且根據所獲得的數據來對上部夾 持輥對和下部夾持輥對21、23'的接觸壓力進行控制，藉此可將沿垂直寬度方向的位置保 持于恒定水平或保持在預定公差范圍內，與此同時使柔性基質1的延伸度保持在預定范圍 內。當下部夾持輥對23的接觸壓力事先預定為恒定值時，則上部夾持輥對21的接觸 壓力被控制在比下部夾持輥對23的接觸壓力大的范圍值內，但如上所述，通過對上部夾持 輥對和下部夾持輥對21、23'的接觸壓力進行主動控制，可在較小接觸壓力的區域中將上 部夾持輥對和下部夾持輥對21、23'的接觸壓力控制在包含零的寬范圍內。上述構造還可 應用于第二實施例的下部夾持輥對。第三實施例
圖14至圖16示出本發明的第三實施例的上部夾持輥對121及其控制機構105(接 觸壓力調整單元)。上部夾持輥對121由成對夾持輥子124、125組成。如圖15所示，固定 輥子124由金屬輥子本體12 和耐熱橡膠涂層124b構成，該金屬輥子本體12 通過軸承 可旋轉地支承在設在固定支承部件126的遠端(下端)上的支承軸126a上，并且該耐熱橡 膠涂層涂覆在輥子本體的周緣表面上。可動輥子125也由金屬輥子本體12 和耐熱橡膠 涂層12 構成，金屬輥子本體12 以類似的方式可旋轉地支承于固定支承部件127的遠 端(下端)處，并且該耐熱橡膠涂層涂覆于輥子本體的周緣表面上。如圖14所示，固定支承部件1 在其近端部分(上端部分)處固定于構成角度調 整裝置7的支架71。支架71具有支承部71a和基部71b，支承部垂直于固定輥子124的軸 向方向，而基部自支承部71a的一側沿垂直于支承部71a的方向向上延伸。固定支承部分 126的近端部分固定于支承部71a。固定支承部分126的近端部分固定于支承部71a。此 外，將墊片73引入支架71的基部71b和固定板70之間，且近端71b利用螺栓72固定于主 體結構部件46的垂直表面。于是，支架71的附連角(也就是構成夾持輥對121的固定輥 子IM和可動輥子125的附連角)可根據墊片73的厚度和/或數量而改變。如圖14所示，延伸臂128的軸128a通過軸承可旋轉地支承在支架129的固定地 附連于支架71的支承部71a的成對支承部U9a、129a上，該軸128a在支承部U9a、129a 的中間區域中穿過近端部分(上端部分)的橫向孔127a，且利用止動螺桿對軸128a和橫向 孔127a的交叉部分進行固定。于是，如圖15所示，可動支承部件127與延伸臂1 支承成 一體，從而這兩個部件可繞作為中心的軸128a擺動，且可動輥子125可與固定輥子IM相 接觸或離開該固定輥子124。延伸臂128自軸128a的一個端部向上延伸，同時彎曲以繞過主體結構部件46，且 與第二臂151的遠端部分(151a)配合的輥子128b可旋轉地支承在支承軸上，該支承軸在 延伸臂的上端部分處設置成平行于軸128a突出的狀態。用作執行上述釋放操作的操作桿 的操作板128c固定地附連于延伸臂128的中間部分。第二臂151與下述旋轉軸巧4和第一臂153—起構成傳遞機構，并且該第二臂151 在其近端處固定于旋轉軸154的下端。如圖15所示，兩個配合部分151a、151b設在第二臂 151的遠端部分處，這兩個配合部分能沿擺動中的兩個方向與延伸臂1 的輥子128b配合。第一配合部分151a是加壓配合部分，用于使可動輥子125壓靠于固定輥子124。 在附圖所示的示例中，第二臂151和下述第一臂153沿柔性基質1的輸送方向進行定向，且 當配合部分151a鄰靠在輥子128a上時，可動輥子125、可動支承部件127以及延伸臂1 沿垂直方向進行定向，且可動輥子125鄰靠在固定輥子IM上。第二配合部分151b是釋放配合部分，用于使可動輥子125離開固定輥子124。第 二配合部分151b設置成與第一配合部分151a相對，這兩個配合部分之間的間隙在一定程 度上大于輥子128a的直徑，從而能與輥子128b —起傳遞角度移位，與此同時吸收第二臂 151和延伸臂1 之間的擺動軌跡差，第二臂151和延伸臂1 可擺動地支承在幾乎彼此垂 直的軸(154U28a)上。旋轉軸154由密封軸承157氣密地但可旋轉地進行支承，通過密封軸承157穿過 腔室結構單元40的頂板48并且向上延伸。第一臂153固定于旋轉軸154的定位在真空腔 室GO)外部的上端部分。密封軸承157利用置于該密封軸承57和頂板48的開口 480之間的基板158或0形圈而氣密地附連于該開口 480，且軸承和磁密封設在該密封軸承157的 殼體內部。因此，在如下狀態中旋轉地支承旋轉軸154 其中，在真空腔室的內部和外部保 持壓力差。未設置有密封軸承157和旋轉軸154的另一開口 480具有安裝在其上的諸如導 熱玻璃之類的透明部件，并且用作對真空腔室內部進行觀察的觀察窗口。如上所述，上部夾持輥對和下部夾持輥對121、122、123采用置于它們之間的角度 調整裝置7附連于設置在成膜單元41之間的主體結構部件46，且由于它們的附連位置是與 相鄰的腔室結構單元40連結的連結部分，因而如圖13和圖14所示，旋轉軸IM和密封軸 承157設在成膜單元41上方，以避開主體結構部件46。為此，第二臂151自旋轉軸154的 下端部分彎成曲柄狀，延伸至主體結構部件46的附近，并且在配合部分151a、151b中與延 伸臂128的輥子128b配合。在第一臂153的遠端部分處，連接銷153a設置成向上延伸。連接銷153a由軸承 支承在沿垂直方向穿過第一臂153的遠端部分的支承孔中，從而該銷能繞與旋轉軸IM平 行的軸線旋轉，且彈簧160的一端連接于連接銷153a(圖中未示出此種構造)。彈簧160是 拉簧，且其另一端由調整螺桿160a連接于驅動臂161的支承銷161a。彈簧160以預延伸狀態在第一臂153的連接銷153a和驅動臂161的支承銷161a 之間拉伸，且通過利用調整螺桿160a來對彈簧的延伸度進行調整，可對彈簧160的張力F 進行調整。如下文所述，根據張力F來確定對夾持輥子121施加接觸壓力的偏置力的最大 值。驅動臂161在其近端部分處固定于致動器156的驅動軸。在驅動臂161的遠端部 分處向下突出的支承銷161a以與連接銷153a相同的方式、由軸承支承在垂直穿過驅動臂 161的遠端部分的支承孔中，從而該支承銷能繞與驅動軸平行的軸線旋轉。扇形板161d共 軸地附連于驅動臂161的近端部分，且超程傳感器162設置在扇形板161d的外周緣附近。致動器156是諸如包含編碼器的伺服電動機之類的旋轉致動器，且該致動器156 的驅動軸安裝在通過支承框架(圖中未示出)固定于基板158上方的上板156b上，從而在 加壓位置(嚴格地說，是與可動輥子125在零接觸壓力下鄰靠在固定輥子IM上的情形相 對應的第一臂153旋轉起始點)面向第一臂153的連接銷153a并且使軸線中心匹配。如圖13所示，控制單元150輸出的控制信號根據傳感器49的檢測值來驅動致動 器156，如圖16所示，驅動臂161在最小加壓位置161x (旋轉起始點)和最大加壓位置161y 之間旋轉地移位至預定角度位置，且與驅動臂161的角度移位相對應的偏置力施加于第一 臂153，這將在下文進行描述。因此，參照圖16，當驅動臂161沿柔性基質1的輸送方向進行定向、對準在與位于 加壓位置的第一臂153相同的線上，并且位于角移位為零的最小加壓位置161x時，彈簧160 的張力F使第一臂153自該位置逆時針(如圖所示)旋轉的正交分量(Fy = F ·in θ )為 零，且第一臂153繞旋轉軸IM逆時針(如圖所示)旋轉的偏置力不起作用。在此最小加 壓位置161χ，彈簧160的張力F作為如下分量(Fx = F · cos θ )來起作用該分量使第一 臂153保持于加壓位置(旋轉起始點)。在驅動臂161自該狀態旋轉至由圖中的實線所示出的角度移位θ的情形下，彈簧 160的張力F的與該角度移位θ相對應的正交分量(Fy = F-Sine)作為使第一臂153逆 時針(如圖所示)旋轉的偏置力來起作用。偏置力Fy通過旋轉軸IM傳遞至第二臂151，輥子12 通過第一配合部分151a向上偏置(如圖所示)，且如圖15所示，延伸臂1 和可 動支承部件127繞軸128a逆時針偏置。于是，可動輥子125由加壓力壓靠于固定輥子124， 該加壓力通過使偏置力Fy倍增一個杠桿比來獲得。在驅動臂161然后旋轉至與位于加壓位置的第一臂153正交的最大加壓位置 161y (角度移位θ =90° )的情形下，彈簧160的整個張力F作為使第一臂153繞旋轉軸 IM逆時針(如圖所示)旋轉的偏置力來起作用，且可動輥子125由如下加壓力壓靠于固定 輥子124 該加壓力通過使彈簧160的張力F倍增一個杠桿比而獲得。圖17示出驅動臂161的角度移位θ、彈簧160的張力F、偏置分量Fy以及與偏置 方向正交的分量h之間的關系。如圖17所示，在驅動臂161自最小加壓位置161χ(旋轉 起始點)至最大加壓位置161y的旋轉范圍內，彈簧160的張力F恒定，且驅動力消耗在彈 簧160本身的彈性變形上。因此，并不需要大的驅動力來進行控制。此外，由于并不受伴隨 彈簧160彈性變形的摩擦所引起的影響，因而可執行高精度的控制。另一優點在于即使在 驅動臂161的角度移位θ較小且夾持輥對124、125的接觸壓力減小的區域中，由彈簧張力 F的與偏置方向正交的分量h來使第一臂153的位置穩定，且可獲得夾持輥對124、125的 穩定加壓狀態。由于致動器156設在腔室結構單元40 (真空腔室)的外部，因而可使用任何系統 的致動器。例如，還可使用如下構造其中，驅動臂161是具有相同布置的擺臂，直線致動器 直接或通過連桿連接于擺臂，且通過直線致動器的往復運動來使擺臂(161)角移位。如圖13所示，傳感器49在成膜單元41之間的如下空間中，在恒定接觸壓力類型 的上部夾持輥對122附近附連于主體結構部件46 該空間相對于已設置有可控制上部輥對 121的成膜單元41之間的空間沿輸送方向向上游偏移一個單元。例如，可將諸如反射或透 射的光學傳感器之類的眾所周知的位置傳感器用作傳感器49，此種位置傳感器能以非接觸 的方式來對柔性基質1的上端位置(沿垂直寬度方向的位置)進行檢測。如圖18所示，恒定接觸壓力類型的上部夾持輥對122具有的構造設計成可動支 承部件227固定地附連于臂部228的遠端，該臂部2 通過軸228a可旋轉地支承在固定支 承部件226的支架2 上，彈簧沈0以預延伸狀態插在設于臂部2 處的支承銷261和設 于支架2 處的支承銷262之間，且可動輥子125在彈簧沈0的偏置力作用下以預定壓力 壓靠于固定輥子。其中支承銷沈1、沈2中的一個支承銷通過與上述調整螺桿160a(圖中未 示出該部件)類似的張力調整裝置來連接于彈簧260的端部。在恒定接觸壓力類型的下部 夾持輥對123和上部夾持輥對122中，共用單元的設置沿垂直方向反向。圖中所示示例的上部夾持輥對122(和下部夾持輥對12 設定成在可動輥子 124壓靠于固定輥子IM且柔性基質1夾持在這兩個輥子之間的狀態下，在彈簧260兩側 上的支承銷261、262與臂部2 的軸228a基本定位在相同直線上，且在此狀態獲得支承銷 261、262之間的最短距離，也就是彈簧沈0的最短長度。采用此種構造，在柔性基質1由可 動輥子125和固定輥子IM夾持的區域中，使彈簧260保持幾乎恒定的張力，且作用在柔性 基質1上的夾持壓力穩定。因此，可產生與夾持輥對122、123的微小偏角α、β相對應的 穩定的提升力和下拉力，以作用在柔性基質1的上端部分和下邊緣部分上。在下文將根據第三實施例來對柔性基質1的橫向位置控制進行解釋。參照圖1，將柔性基質1以預定的循環時間間歇地從退繞單元10輸送經過成膜部分20直至卷繞單元30。因此，在柔性基質1的間歇輸送循環的輸送階段，成膜部分20中的 成膜單元41的可動腔室43離開固定腔室42，同步驅動退繞饋送輥子12和卷繞饋送輥子 32，柔性基質1在每個成膜單元41的可動腔室43和固定腔室42之間輸送一個單元，且柔 性基質由此自退繞輥子11退繞并且卷繞在卷繞卷筒31上。在此情形中，由張力檢測輥子1 和3 使成膜部分20的上游導向輥子和下游導 向輥子34之間的柔性基質1的膜張力保持恒定，由側端位置控制輥子35將柔性基質1在 下游導向輥子34中沿垂直寬度方向的位置控制為恒定值，且在成膜部分20的成膜單元41 之間，由構成基質位置控制裝置的夾持輥子121、122、123來對柔性基質1的上邊緣部分和 下邊緣部分進行夾持，藉此防止柔性基質1在重力作用下下垂并且抑制由于沿橫向伸張所 引起的褶皺的發生。然而，如上所述，由于導向輥子14、34之間的輸送跨距較大，且柔性基 質1沿輸送方向的物理性能并不均勻，因而柔性基質1沿垂直寬度方向的位置會沿垂直方 向偏移。設在基本位于中心的成膜單元41 (f)下游的傳感器49對于柔性基質1的上端位 置(沿垂直寬度方向的位置)進行檢測，這與如下過程同步進行完成使柔性基質1輸送一 個單元，關閉每個成膜單元41的成膜腔室43、42，以及在輸送循環的停止階段執行成膜。當 自參考線向上或向下發生顯著偏移時，由控制單元150獲得與偏移方向或偏移量相對應的 檢測值，且控制單元150根據該檢測值來驅動致動器156、對驅動臂161的角度移位進行控 制并且對上部夾持輥子121的接觸壓力(夾持壓力)進行調整。例如，在致動器156的驅動臂161具有由圖16中的實線所示的中間角度移位θ， 且與該角度移位相對應的接觸壓力施加于上部夾持輥子121的狀態中，當傳感器49檢測到 柔性基質1的上端顯著地向下偏移時，在如圖16所示的構造中，致動器156的驅動臂161 根據該偏移量而朝最大加壓位置161y進行角移位。于是，彈簧161的張力F的偏置分量Fy 增大，該偏置力Fy通過第一臂153、旋轉軸154、第二臂151以及延伸臂1 傳遞至可動支 承部件127，且上部夾持輥子121的接觸壓力(夾持壓力)增大。然后，成膜單元41中的成膜處理結束，成膜腔室43、42打開，退繞饋送輥子12和 卷繞饋送輥子32然后同步旋轉，且柔性基質1在每個成膜單元41的可動腔室43和固定腔 室42之間輸送過一個單元。因此，在基本位于中心的成膜單元41 (f)的上游，在執行輸送的同時對柔性基質1 的上邊緣和下邊緣進行夾持的情形下，且在上部夾持輥子121的接觸壓力(夾持壓力)相 對于具有恒定接觸壓力的下部夾持輥子123的接觸壓力已增大的狀態中，由上部夾持輥子 121所產生的提升力超過由下部夾持輥子1 通過夾持所產生的下拉力，于是柔性基質1相 應地向上運動，并且對柔性基質1的向下偏移進行校正。在結束對柔性基質1的一個單元輸送的情形下，再次關閉每個成膜單元41的成膜 腔室43、42，并且執行下一個成膜處理。在此種處理的同時，由傳感器49以與上述類似的方 式對柔性基質1的上端位置進行檢測，且對上部夾持輥子121的接觸壓力進行進一步調整。 當由傳感器49對柔性基質1的上端的向上偏移進行檢測時，在通過相對于上述操作的逆向 操作減小上部夾持輥子121的接觸壓力的情形下，柔性基質1在下一個輸送步驟中向下運 動，并且對柔性基質1的向上偏移進行校正。由于對沿垂直寬度方向的位置的檢測和對接觸壓力的調整(與在輸送循環的停止階段中的成膜處理同步執行)與在輸送階段中使用輸送力對橫向位置進行校正交替執 行，因而，柔性基質1沿垂直寬度方向的位置保持于恒定水平或者在預定公差范圍內。此 外，在輸送階段，可監測沿垂直寬度方向的位置，并且可校正夾持壓力。在第三實施例中，描述如下情形在輸送停止階段由成膜單元41執行成膜處理， 與此同時以逐步的方式間歇地輸送柔性基質1。然而，本發明并不局限于此種處理，且還可 在共用的真空腔室中持續地輸送柔性基質的同時執行成膜處理。在此情形中，通過執行對 夾持壓力的控制，可使柔性基質1沿垂直寬度方向的位置保持于恒定水平或保持在預定公 差范圍內，與此同時利用傳感器對柔性基質沿垂直寬度方向的位置不斷地進行監測。在第三實施例的柔性基質引導過程中所執行的操作下文將參照附圖對在第三實施例的制造設備100中引導柔性基質1時所執行的操 作進行解釋。當在卷繞輥子31已卸載且在對柔性基質1進行引導之前、使夾持輥對1M、125的 壓力接觸狀態釋放時，通過對釋放開關(圖中未示出)之類進行操作，釋放信號自控制單元 150輸出至致動器156，且如圖16中的雙點虛線所示，驅動臂161越過最大加壓位置161y 角移位至肘節位置161'。在肘節位置161 ‘，彈簧160的支承點(161a)相對于第一臂153的連接點(153a) 位于加壓側，且在彈簧張力F的偏置分量Fy的作用下，上部夾持輥對121保持于壓力接觸 狀態，并且相對于肘節機構在連結支承點(161a)和旋轉軸巧4的線上的死點留下約15°的 備用角。參照圖1，未處理的退繞卷筒11安裝在退繞裝置上，且自退繞輥子11拉出的柔性 基質1卷繞在張力檢測輥子13a、13b、退繞饋送輥子12以及導向輥子14上，并且引入成膜 部分20的成膜單元41中。在當柔性基質1引入成膜部分20中時，圖2和13所示的腔室 結構單元40的側壁47打開的情形下，附連于側壁47高頻電壓45和可動腔室43運動至腔 室結構單元40外部，包含接地電極44的固定腔室42暴露在開口 470內部，且可通達附連 于在腔室結構單元40的連結部分中的開口 460上方和下方的上部夾持輥對121、122···和下 部夾持輥對123、123···。在此狀態中，在操作者(開口 470 —側)克服彈簧160的偏置力(Fy)人工地拉動 上部夾持輥對121的操作板128c (圖14)，且使與操作板128c成一體的延伸臂1 旋轉至 由圖15中雙點劃線示出的位置128'的情形下，可動支承部件127'結合延伸臂128' —起 擺動，且可動輥子125離開固定輥子124，在圖中由125'示出。與此同時，延伸臂128'的旋轉通過輥子128b推動第二臂151的第一配合部分 151a,由第二臂151來與旋轉軸154 —體連接的第一臂153順時針旋轉(如圖16所示)， 第二臂和第一臂示作151'和153'，且第一臂153的連接銷153a越過死點運動至153'。 于是，彈簧160'相對于第一臂153'的偏置方向反向。因此，第一臂153'由彈簧160'的 反向偏置力保持于反向位置，且如圖14所示，延伸臂128'和可動支承部件127'由通過旋 轉軸巧4連接于第一臂153'的配合部分151b'、通過輥子12 限制于擺動位置，且可動 輥子125'保持于離開位置。在已于保持離開狀態的可動輥子125'和固定輥子1 之間引導柔性基質1之后， 在操作者推動操作板128c并使延伸臂1 和可動支承部件127返回至初始位置的情形下，通過輥子128b和配合部分151b與延伸臂1 配合的第一臂151和由旋轉軸巧4 一體連接 于該第一臂151的第一臂153旋轉至初始位置。于是，彈簧的偏置方向反向至加壓側，可動 輥子125在彈簧160的偏置力作用下馬上壓靠于固定輥子124，且對被引導的柔性基質1進 行夾持。由于用于控制接觸壓力的控制機構并未引入其它的上部夾持輥對122或下部夾 持輥對123，因而能以相對容易的方式人工地使可動輥子125離開，且可執行引導柔性基質 1的操作。然而，與上部夾持輥對121類似，使可動輥子125保持于離開位置的肘節機構還 可通過使用加壓彈簧(沈0)來進行構造。在上述實施例中，描述如下情形其中，對上部夾持輥對121的接觸壓力進行主動 地控制，而相對應的下部夾持輥對123的接觸壓力是預設恒定值。然而，如圖19所示，還可 對相對于輸送方向位于相同位置的上部夾持輥對和下部夾持輥對121、123'的接觸壓力進 行主動地控制。在圖19所示的示例中，與上部夾持輥對121的控制機構類似的控制機構 105'(接觸壓力調整單元)以沿垂直方向反向的位置附加地設在下部夾持輥對123'處， 該下部夾持輥對123'相對于輸送方向位于上部夾持輥對121相同的位置，且還附加地設 有對柔性基質1的下邊緣部分的位置進行檢測的傳感器49'。上部傳感器和下部傳感器 49,49'的檢測值發送至共用的控制單元150，且控制單元150根據這些檢測值來驅動上部 致動器和下部致動器156、156'，并且對上部夾持輥對和下部夾持輥對121、123'的接觸 壓力進行控制。因此，控制單元150可根據上部傳感器和下部傳感器49、49'的檢測值來獲得柔 性基質1沿垂直寬度方向的位置和柔性基質1的延伸度，并且根據所獲得的數據來對上部 夾持輥對和下部夾持輥對121、123'的接觸壓力進行控制，藉此可將沿垂直寬度方向的位 置保持于恒定水平或保持在預定公差范圍內，與此同時使柔性基質1的延伸度保持在預定 范圍內。當下部夾持輥對123的接觸壓力預先設定為恒定值時，則上部夾持輥對121的接 觸壓力被控制在比下部夾持輥對123的接觸壓力大的范圍值內，但如上所述，通過對上部 夾持輥對和下部夾持輥對121、123'的接觸壓力進行主動控制，可在較小接觸壓力的區域 中將上部夾持輥對和下部夾持輥對121、123'的接觸壓力控制在包含零的寬范圍內。上述 已提及的是，采用根據第三實施例的夾持輥對121、123'，可在具有較小接觸壓力的區域中 保持穩定的加壓狀態。因此，此種具有如下構造的實施例是有利的其中，對上部夾持輥對 和下部夾持輥對121、123'的接觸壓力進行主動地控制。第四實施例第一實施例至第三實施例涉及如下制造設備100 該制造設備用于制造其中進行 成膜的薄膜層疊體，與此同時以垂直姿態橫向輸送帶狀柔性基質。然而，本發明的位置控制 裝置還可在如下制造設備300中執行如圖20所示的第四實施例，該制造設備用于制造其 中進行成膜的薄膜層疊體，與此同時以橫向姿態水平輸送帶狀柔性基質。參照圖20，在本發明的第四實施例的制造設備300中，在保持在預定真空度下的 腔室結構單元40 (真空腔室)內部設有成膜單元341，該成膜單元由電極345(對陰極)和 接地電極344組成，電極345對柔性基質1進行夾持并且設置成在柔性基質1上方和下方彼此相對。構成輸送裝置的導向輥子(惰輥)、饋送輥子以及張力輥子沿輸送方向設在成膜 單元341的上游和下游，且柔性基質1的退繞輥子和卷繞輥子沿輸送方向設在前述輥子的 上游和下游。此種構造類似于上述實施例的構造。明顯的不同之處在于所有輥子的旋轉 軸水平定向。制造設備300在沿柔性基質1的輸送路徑的橫向兩側處，設有夾持輥對321、321 和控制機構305、305(接觸壓力調整單元)，夾持輥對321、321對沿柔性基質1的橫向邊緣 部分進行夾持。夾持輥對321、321由成對夾持輥子324、325構成，夾持輥子324、325的旋轉軸線 傾斜，從而它們在夾持部分中的旋轉方向相對于柔性基質1的輸送方向以微小偏角(α、 β)沿橫向面朝外。固定輥子3Μ可旋轉地固定在固定支承部件326的遠端處，而可動輥子325可旋 轉地固定在可動支承部件327的遠端處。夾持輥對321及其控制機構305具有與第一實 施例的變型示例(圖9)的直接類型控制機構5"的構造基本類似的構造，除了固定輥子 324(固定支承部件326)設置成橫向以位于下側、且可動支承部件327在擺臂附近彎曲以 外。將接觸壓力施加于夾持輥對321、321的彈簧351、351設在真空腔室(340)外部， 彈簧351、351的支承點通過致動器356、356的往復驅動而直線地移位，相應的被控制的偏 置力通過構成偏置力傳遞機構的桿355、旋轉軸邪4以及操作臂353而傳遞至位于真空腔室 內部的可動支承部件327、327，且各自對夾持輥對321、321的接觸壓力(夾持壓力)進行調 離
iF. ο由于在如下狀態中輸送柔性基質1 其中，柔性基質1的橫向側緣由這些夾持輥對 321、321所夾持，因而沿橫向向外作用的拉伸方響應于夾持輥對321、321的接觸壓力(夾持 壓力)而施加于柔性基質1的兩側緣，且柔性基質1沿橫向被拉伸。對柔性基質1的側緣 位置進行檢測的傳感器349、349設在沿柔性基質1的輸送方向的橫向兩側，且致動器356、 356各自由控制單元350根據傳感器349、349的檢測來往復驅動，藉此對夾持輥對321、321 的接觸壓力(夾持壓力)進行控制，且響應于此對柔性基質1的橫向位置進行控制。在制造設備300中，接地電極344設在柔性基質1的下表面側處，由柔性基質1的 自重所產生的影響較小，且對于各側上的夾持輥對321、321的影響相同。因此，各側上的 彈簧351、351初始移位和各個致動器356、356的控制量設定為基本相同。由控制單元350 各自根據傳感器349的檢測來協調地執行由致動器356對接觸壓力(夾持壓力)所進行的 控制，從而對柔性基質1的橫向移位和曲折進行校正，與此同時使柔性基質1沿橫向進行拉 伸。自圖20中清楚地示出，夾持輥對321及其控制機構305與第一實施例的變型示例 的直接類型控制機構5"(圖9)類似。因此，還可使用第三實施例的肘節彈簧類型的控制 機構105(圖13至16)，該第三實施例是第一實施例的發展。此外，上述構造還能以與上述 第一實施例至第三實施例類似的方式來應用于階段成膜系統和連續成膜系統。雖然上文對本發明的若干實施例進行描述，然而本發明并不局限于這些實施例， 且可根據本發明的技術概念來對本發明進行各種變化和變型。例如，在上述實施例中，描述線圈彈簧用作偏置部件(彈簧51、51'、81、81'、81"、82、82'、82" ,160,260)的構造，然而可使用諸如螺旋彈簧或扭桿之類的其它類型的 彈簧。此外，在第一和第二實施例中，描述壓簧用作偏置部件的構造，然而還可通過使用拉 簧來對該設備進行構造。在上述實施例中，描述如下構造其中，上部夾持輥對21、22··· (121、122…)和下 部夾持輥對23…(123…)設在大量成膜單元中的相鄰單元之間，這些成膜單元沿柔性基質 1的輸送路徑并排設置，且可對幾乎位于中央的一個上部輥對21 (121)的接觸壓力進行控 制，還可對多個上部夾持輥對21 (121)的接觸壓力進行控制。此外，當成膜單元41沿輸送方 向的長度相對較短時，可對每個單元或每兩個單元設置夾持輥對，且當成膜單元41的數量 較少(例如，兩個單元)并且輸送跨距相對較短時，還可由可控制的上部夾持輥對21 (121) 和設置在上部夾持輥對下方的具有恒定接觸壓力的下部夾持輥對23(12 來構成基質位 置控制裝置，或者僅僅由可控制的上部夾持輥對21 (121)來構成基質位置控制裝置。在上 述情形中，可通過使作用在柔性基質1上的重力與上部夾持輥對21的提升力平衡來保持柔 性基質1沿垂直寬度方向的位置。此外，在上述實施例中描述如下情形其中，作為對用于太陽能電池的薄膜層疊體 進行制造的制造設備來實施本發明，然而無需贅述，本發明的柔性基質處理設備還可應用 于對諸如有機EL之類的半導體薄膜進行制造的制造設備，以及除了成膜處理以外需要對 柔性基質進行位置控制或拉伸的各種處理設備，例如用于涂覆、清洗、干燥、熱處理以及表 面加工的設備。此外，還可在以垂直姿態(或傾斜姿態)沿橫向方向(包括傾斜方向)輸 送柔性基質時，和在以橫向姿態沿水平、垂直或傾斜方向輸送柔性基質時實施本發明。
權利要求
1.一種柔性基質處理設備，包括輸送裝置，所述輸送裝置沿橫向方向以垂直姿態輸送帶狀柔性基質； 柔性基質處理單元，所述處理單元沿所述柔性基質的輸送路徑設置；以及 位置控制裝置，所述位置控制裝置對所述處理單元中的所述柔性基質的橫向位置進行 控制，其中所述位置控制裝置包括成對上部夾持輥子，所述成對上部夾持輥子對所述柔性基質的上邊緣部分進行夾持， 且所述成對上部夾持輥子的旋轉軸傾斜，使得所述成對上部夾持輥子在夾持部分中的旋轉 方向相對于所述柔性基質的輸送方向以微小偏角朝上傾斜，上部支承機構，所述上部支承機構包括對所述成對上部夾持輥子進行支承的可動支承 部件和固定支承部件，從而所述成對上部夾持輥子可旋轉和彼此靠近或離開，偏置部件，所述偏置部件通過所述可動支承部件使所述成對上部夾持輥子中的一個輥 子沿對所述成對上部夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠的方向偏置，以及驅動裝置，所述驅動裝置使所述偏置部件移位，從而對所述成對上部夾持輥子的夾持 壓力進行調整。
2.一種柔性基質處理設備，包括輸送裝置，所述輸送裝置沿橫向方向以所述輸送裝置的垂直姿態輸送帶狀柔性基質； 柔性基質處理單元，所述處理單元沿所述柔性基質的輸送路徑設置；以及 位置控制裝置，所述位置控制裝置對所述處理單元中的所述柔性基質的橫向位置進行 控制，其中所述位置控制裝置包括成對上部夾持輥子，所述成對上部夾持輥子對所述柔性基質的上邊緣部分進行夾持， 且所述成對上部夾持輥子的旋轉軸傾斜，使得所述成對上部夾持輥子在夾持部分中的旋轉 方向相對于所述柔性基質的輸送方向以微小偏角朝上傾斜，上部支承機構，所述上部支承機構包括對所述成對上部夾持輥子進行支承的可動支承 部件和固定支承部件，從而所述成對上部夾持輥子可旋轉和彼此靠近或離開，偏置部件，所述偏置部件通過所述可動支承部件使所述成對上部夾持輥子中的一個輥 子沿對所述成對上部夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠的方向偏置，第二偏置部件，所述第二偏置部件沿著與所述偏置部件的偏置方向相反方向對所述可 動支承部件施加調整力，以及驅動裝置，所述驅動裝置使所述第二偏置部件移位，從而對所述成對上部夾持輥子的 夾持壓力進行調整。
3.如權利要求1所述的柔性基質處理設備，其特征在于， 所述處理單元包括至少一個設在真空腔室內部的成膜單元，所述成對上部夾持輥子、所述上部支承機構以及所述偏置部件設在所述真空腔室內 部，以及所述驅動裝置包括致動器和驅動傳遞機構，所述致動器設在所述真空腔室外部，所述 驅動傳遞機構通過密封裝置將所述致動器的驅動傳遞至所述真空腔室內部的所述偏置部 件。
4.如權利要求1所述的柔性基質處理設備，其特征在于， 所述處理單元包括至少一個設在真空腔室內部的成膜單元，所述成對上部夾持輥子和所述上部支承機構設在所述真空腔室內部，而所述偏置部件 設在所述真空腔室外部，以及所述驅動裝置包括致動器且還包括偏置力傳遞機構，所述致動器設在所述真空腔室外 部，所述偏置力傳遞機構通過密封裝置將所述偏置部件的偏置力傳遞至所述真空腔室內部 的所述可動支承部件。
5.如權利要求2所述的柔性基質處理設備，其特征在于， 所述處理單元包括至少一個設在真空腔室內部的成膜單元，所述成對上部夾持輥子、所述上部支承機構以及所述偏置部件設在所述真空腔室內 部，而所述第二偏置部件設在所述真空腔室外部，以及所述驅動裝置包括致動器且還包括調整力傳遞機構，所述致動器設在所述真空腔室外 部，所述調整力傳遞機構通過密封裝置將所述第二偏置部件的調整力傳遞至所述真空腔室 內部的所述可動支承部件。
6.如權利要求1或2所述的柔性基質處理設備，其特征在于， 所述位置控制裝置還包括成對下部夾持輥子，所述成對下部夾持輥子對所述柔性基質的下邊緣部分進行夾持， 且所述成對下部夾持輥子的旋轉軸傾斜，使得所述成對下部夾持輥子在夾持部分中的旋轉 方向相對于所述柔性基質的輸送方向以微小偏角朝下傾斜，下部支承機構，所述下部支承機構包括對所述成對下部夾持輥子進行支承的可動支承 部件和固定支承部件，從而所述成對下部夾持輥子可旋轉和彼此靠近或離開，以及下部偏置部件，所述下部偏置部件通過所述可動支承部件使所述成對下部夾持輥子中 的一個輥子沿對所述成對下部夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠的方向偏置。
7.—種柔性基質處理設備，包括輸送裝置，所述輸送裝置沿橫向方向以所述輸送裝置的垂直姿態輸送帶狀柔性基質； 柔性基質處理單元，所述處理單元沿所述柔性基質的輸送路徑設置；以及 位置控制裝置，所述位置控制裝置對所述處理單元中的所述柔性基質的橫向位置進行 控制，其中所述位置控制裝置包括成對上部夾持輥子，所述成對上部夾持輥子對所述柔性基質的上邊緣部分進行夾持， 且所述成對上部夾持輥子的旋轉軸傾斜，使得所述成對上部夾持輥子在夾持部分中的旋轉 方向相對于所述柔性基質的輸送方向以微小偏角朝上傾斜，支承機構，所述支承機構包括對所述成對上部夾持輥子進行支承的可動支承部件和固 定支承部件，從而所述成對上部夾持輥子可旋轉并且彼此靠近或離開，彈簧，所述彈簧產生偏置力，所述偏置力通過所述可動支承部件使所述成對上部夾持 輥子中的一個輥子對所述成對上部夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠，傳遞機構，所述傳遞機構將所述彈簧的偏置力作為扭矩傳遞至所述可動支承部件，以及驅動裝置，所述驅動裝置使所述彈簧的支承點繞所述彈簧與所述傳遞機構連接的連接點進行角移位，從而對所述成對上部夾持輥子的夾持壓力進行調整。
8.如權利要求7所述的柔性基質處理設備，其特征在于，所述驅動裝置包括驅動部件， 所述驅動部件使所述彈簧的所述支承點繞通過所述彈簧與所述傳遞機構的連接的連接點 并且與所述傳遞機構的旋轉軸平行的軸線進行角移位，與此同時使所述彈簧保持恒定的彈 性移位。
9.如權利要求7或8所述的柔性基質處理設備，其特征在于，由所述驅動裝置所引起的所述支承點的角移位是肘節角度位置，且包括肘節角度位 置，使得所述傳遞機構能通過支承在所述肘節角度位置的所述彈簧的偏置力保持在如下兩 個位置所述成對夾持輥子中的一個輥子對所述成對夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠的 位置；所述成對夾持輥子中的一個輥子離開所述成對夾持輥子中的另一個輥子的位置。
10.如權利要求7所述的柔性基質處理設備，其特征在于， 所述位置控制裝置還包括成對下部夾持輥子，所述成對下部夾持輥子對所述柔性基質的下邊緣部分進行夾持， 且所述成對下部夾持輥子的旋轉軸傾斜，從而所述成對下部夾持輥子在夾持部分中的旋轉 方向相對于所述柔性基質的輸送方向以微小偏角朝下傾斜，下部支承機構，所述下部支承機構包括對所述成對下部夾持輥子進行支承的可動支承 部件和固定支承部件，從而所述成對下部夾持輥子可旋轉并且彼此靠近或離開，以及下部彈簧，所述下部彈簧產生偏置力，所述偏置力通過所述可動支承部件使所述成對 下部夾持輥子中的一個輥子對所述成對下部夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠。
11.如權利要求1、2或7所述的柔性基質處理設備，所述處理設備還包括用于對所述柔 性基質的沿垂直寬度方向的位置進行檢測的檢測裝置，其特征在于，所述位置控制裝置還包括控制單元，所述控制單元用于根據所述檢測裝置的檢測值來 對所述驅動裝置進行控制。
12.一種柔性基質處理設備，包括輸送裝置，所述輸送裝置用于輸送帶狀柔性基質； 柔性基質處理單元，所述處理單元沿所述柔性基質的輸送路徑設置；以及 位置控制裝置，所述位置控制裝置對所述處理單元中的所述柔性基質的橫向位置進行 控制，其中所述位置控制裝置包括成對夾持輥子，所述成對夾持輥子對所述柔性基質的側邊緣部分進行夾持，且所述成 對夾持輥子的旋轉軸傾斜，使得所述成對夾持輥子在夾持部分中的旋轉方向相對于所述柔 性基質的輸送方向以微小偏角面向橫向邊緣，位于各側的支承機構，所述支承機構包括對所述成對夾持輥子進行支承的可動支承部 件和固定支承部件，從而所述成對夾持輥子中的每對輥子可旋轉和彼此靠近或離開，位于各側的偏置部件，所述偏置部件通過所述可動支承部件使各對所述夾持輥子中的 一個輥子沿對同對夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠的方向偏置，以及驅動裝置，所述驅動裝置使至少一個所述偏置部件移位，從而對至少一對成對夾持輥 子的夾持壓力進行調整。
13.—種柔性基質處理設備，包括輸送裝置，所述輸送裝置用于輸送帶狀柔性基質； 柔性基質處理單元，所述處理單元沿所述柔性基質的輸送路徑設置；以及 位置控制裝置，所述位置控制裝置對所述處理單元中的所述柔性基質的橫向位置進行 控制，其中所述位置控制裝置包括成對夾持輥子，所述成對夾持輥子對所述柔性基質的側邊緣部分進行夾持，且所述成 對夾持輥子的旋轉軸傾斜，使得所述成對夾持輥子在夾持部分中的旋轉方向相對于所述柔 性基質的輸送方向以微小偏角面向橫向邊緣，位于各側的支承機構，所述支承機構包括對所述成對夾持輥子進行支承的可動支承部 件和固定支承部件，從而所述成對夾持輥子中的每對輥子可旋轉并且彼此靠近或離開，位于各側的偏置部件，所述偏置部件通過所述可動支承部件使各對所述夾持輥子中的 一個輥子沿對同對夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠的方向偏置，位于各側的第二偏置部件，所述第二偏置部件沿與所述偏置部件的偏置方向相反方向 對所述可動支承部件施加調整力，以及驅動裝置，所述驅動裝置使至少一個所述第二偏置部件移位，從而對至少一對成對夾 持輥子的夾持壓力進行調整。
14. 一種柔性基質處理設備，包括 輸送裝置，所述輸送裝置用于輸送帶狀柔性基質； 柔性基質處理單元，所述處理單元沿所述柔性基質的輸送路徑設置；以及 位置控制裝置，所述位置控制裝置對所述處理單元中的所述柔性基質的橫向位置進行 控制，其中所述位置控制裝置包括成對夾持輥子，所述成對夾持輥子對所述柔性基質的側邊緣部分進行夾持，且所述成 對夾持輥子的旋轉軸傾斜，使得所述成對夾持輥子在夾持部分中的旋轉方向相對于所述柔 性基質的輸送方向以微小偏角面向橫向邊緣，位于各側的支承機構，所述支承機構包括對所述成對夾持輥子進行支承的可動支承部 件和固定支承部件，從而所述成對夾持輥子中的每對輥子可旋轉并且彼此靠近或離開，位于各側的彈簧，所述彈簧產生偏置力，所述偏置力通過所述可動支承部件使各對所 述夾持輥子中的一個輥子沿對同對夾持輥子中的另一個輥子進行壓靠，位于各側的傳遞機構，所述傳遞機構將所述彈簧的偏置力作為相應的扭矩傳遞至所述 可動支承部件，以及驅動裝置，所述驅動裝置使至少一個所述彈簧的支承點繞所述彈簧與所述傳遞機構連 接的連接點角移位，從而對至少一對成對夾持輥子的夾持壓力進行調整。
全文摘要
對柔性基質(1)的橫向位置進行控制的位置控制裝置(21、5)包括成對上部夾持輥子(21、24、25)，該成對上部夾持輥子對柔性基質的上邊緣部分進行夾持，且成對上部夾持輥子的旋轉軸傾斜，從而成對上部夾持輥子在夾持部分中的旋轉方向相對于柔性基質的輸送方向以微小偏角(α)朝上傾斜；上部支承機構，該上部支承機構包括對成對上部夾持輥子進行支承的可動支承部件(26)和固定支承部件(27)，從而成對上部夾持輥子可旋轉和彼此靠近或離開；彈簧(51)，該彈簧通過可動支承部件使成對上部夾持輥子中的一個上部夾持輥子(25)沿對該成對上部夾持輥子中的另一個上部夾持輥子進行壓靠的方向偏置；以及驅動裝置(56)，該驅動裝置使偏置部件移位，從而對該成對上部夾持輥子的夾持壓力進行調整。即使當在長距離范圍內輸送帶狀柔性基質時，可抑制柔性基質的下垂和褶皺的發生，且可使柔性基質保持恒定的橫向位置，藉此確保高質量的處理。
文檔編號H01L31/04GK102149621SQ200980135959
公開日2011年8月10日 申請日期2009年12月17日 優先權日2008年12月24日
發明者塚原祐二, 山田隆典, 布野秀和, 橫山勝治 申請人:富士電機控股株式會社