專利名稱：一種脫膠設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種脫膠設備，尤其涉及一種硅片加工過程中的脫膠設備。
背景技術：
在太陽能硅片加工過程中，金屬托板的脫膠工作是其中必不可少的一道工序。在切片工序中，有一個硅塊粘接工序，將硅塊通過某種膠水粘接到多線切割機的金屬托板上，并在硅塊與托板之間粘接一層磨砂玻璃以便保證托板在切割完成之后可以循環使用。為了使金屬托板進入下一輪使用，目前在大多數的硅片生產企業中，均是采用高溫烘烤爐對金屬托板和磨砂玻璃之間的膠層進行脫膠，其溫度達到300 400°C。使用該方法進行脫膠，存在下述幾個問題(I)高溫烘烤會產生大量有毒氣體，污染環境，對操作人員的身體健康產生危害；(2)烘烤溫度高，耗能大，脫膠時間長，生產效率較低；(3)膠層不易除干凈，托板在高溫下用水冷卻易導致金屬變形而無法繼續使用；(4)烘箱的加熱管使用壽命低，設備使用和保養的成本高。因此，開發出一種新型環保的脫膠工藝及設備就顯得尤為重要。
實用新型內容本實用新型實施例所要解決的技術問題在于，提供一種脫膠設備，用于硅片加工過程中的金屬托板的脫膠，該設備能有效改善脫膠的工作環境，提高脫膠效率，降低金屬托板脫膠的生產成本。為了解決上述技術問題，本實用新型實施例提供了一種脫膠設備，包括加熱槽、力口熱器、托板放置框，所述加熱器設于加熱槽內，所述托板放置框置于加熱槽內，托板放置框設置有多個托板收容腔。所述加熱器安裝在所述加熱槽的側壁內側。所述加熱槽內設置有加熱器保護網，所述加熱器位于所述加熱槽及所述加熱器保護網之間。所述加熱器保護網圍成一個收容空間，所述托板放置框置于此收容空間內。所述加熱器保護網用螺絲固定在所述加熱槽內，其側面與所述加熱槽槽壁之間均留有間隙。所述加熱器為一個或多個。所述脫膠設備包括托板籃，所述托板籃包括一個把手及收容籃，所述收容籃用于收容一個托板，所述托板籃側壁上設置有多個網孔。所述托板收容腔與所述托板籃相配合，所述托板籃置于所述托板收容腔內。所述加熱槽槽體上方設置有蓋板。所述脫膠設備選用不銹鋼、陶瓷、聚四氟乙烯、聚丙烯或聚苯乙烯材料制成。 實施本實用新型實施例，具有如下有益效果(I)脫膠溫度低，不會產生有毒氣體，可改善工作環境，安全環保；[0017](2)脫膠溫度在100°C以下，加熱時間短，脫膠效率高，可降低能耗；(3)脫膠溫度低，托板變形的概率大大降低，延長了其使用壽命，同時也降低了設備的保養成本和配件的使用成本；(4)脫膠設備的結構簡單，成本低，使用方便。
為了更清楚地說明本 實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖I是本實用新型脫膠設備的整體示意圖；圖2是本實用新型托板籃及待脫膠處理的托板的結構示意圖；圖3是待脫膠處理的托板分離示意圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。參閱圖1，為本實用新型提供的一種脫膠設備，包括加熱槽I、加熱器2、加熱器保護網3、托板放置框4及托板籃5，加熱槽I為矩形體容器，在加熱槽I的不同側壁內側上安裝有兩個具有獨立控制開關的加熱器2。加熱器保護網3設置在加熱槽I內，通過螺絲固定。托板放置框4放置在加熱槽I內，置于加熱器保護網3圍成的收容空間內，托板放置框4設置有多個與托板籃5相配合的托板收容腔，托板籃5置于此托板收容腔內。加熱器2安裝在加熱槽I的側壁內側上，位于所述加熱槽I及所述加熱器保護網3之間，每個加熱器2都獨立安裝開關。在其他實施例中，加熱器2也可安裝在加熱槽I底部，可設置3個或4個，所有加熱器2也可通過I個多檔位控制的總開關控制，以便于在加熱過程中依據槽內液體溫度的變化以及脫膠工藝所需溫度靈活控制加熱強度。加熱器保護網3具有與加熱槽I槽壁平行的四個面，所述四個面圍成一個矩形體收容空間，加熱器保護網3各側面與加熱槽I槽壁之間均留有間隙，以防止待脫膠處理的托板及玻璃板對加熱器2可能產生的撞擊，保護加熱器2。托板放置框4置于加熱器保護網3圍成的矩形體收容空間內，并設置有多個與托板籃5相配合的托板收容腔，其作用是為了方便托板籃5的獨立放取，并防止各個托板籃5在加熱槽I內相互碰撞。如圖2所示，托板籃5包括一個把手51及收容籃52，所述收容籃52用于收容一個待脫膠處理的托板6，托板籃5設置把手51，方便于人工操作，使得托板籃5取放更方便。托板籃5側壁上設置有多個網孔53，其作用是在保證液體對流情況下，防止玻璃碎片及可能產生的膠條從托板籃5進入到加熱槽I中，并且在取出托板籃5時，其內液體可以從側部網孔53處排出。除了上述主要部件外，在加熱槽I槽體上方還設置有容器蓋板，能夠減少在脫膠過程中熱量的損失，降低能耗。所述脫膠設備選用耐高溫抗腐蝕性強的材料制成，如不銹鋼、陶瓷、聚四氟乙烯、聚丙烯或聚苯乙烯材料。當然，除以上所述實施例外，也可以通過改變各部件的形狀和規格，而得到本實用新型的其他實施例，均屬于本實用新型保護的范圍。對于本實施例提供的脫膠設備，其具體操作如下(I)向加熱槽I內注入脫膠介質溶液至一定的液位，打開加熱器2加熱。其中根據粘接工序中使用膠水的不同，選用不同的脫膠介質，可為水或者各種高沸點的有機醇。當采用水為脫膠介質時，溫度設置為60 80°C，若為有機醇溶液，溫度則設置為80 100°C。(2)將待脫膠處理的托板6放置于托板籃5中，并整體放入加熱槽I內對應的托板放置框4里，蓋上容器蓋板。(3)待加熱槽I內脫膠介質液體溫度升至設定溫度時，保留一個加熱器2對加熱槽I內脫膠介質進行保溫，關閉其它加熱器。(4)保溫20 30分鐘后，將托板籃5從加熱槽I中取出，去除玻璃板62及膠條，用水清洗金屬托板61后備用。待脫膠處理的托板6如圖3所示實現分離。(5)重新裝入需脫膠的托板，重復步驟(I) (4)所述脫膠過程。(6)整個工序完成后，關閉所有加熱器2電源，清掃脫膠房。
權利要求1.一種脫膠設備，其特征在于，包括加熱槽、加熱器、托板放置框，所述加熱器設于加熱槽內，所述托板放置框置于所述加熱槽內，所述托板放置框設置有多個托板收容腔。
2.如權利要求I所述的一種脫膠設備，其特征在于，所述加熱器安裝在所述加熱槽的側壁內側。
3.如權利要求I所述的一種脫膠設備，其特征在于，所述加熱槽內設置有加熱器保護網，所述加熱器位于所述加熱槽及所述加熱器保護網之間。
4.如權利要求3所述的一種脫膠設備，其特征在于，所述加熱器保護網圍成一個收容空間，所述托板放置框置于此收容空間內。
5.如權利要求3所述的一種脫膠設備，其特征在于，所述加熱器保護網用螺絲固定在所述加熱槽內，其側面與所述加熱槽槽壁之間均留有間隙。
6.如權利要求I 5任一項所述的一種脫膠設備,其特征在于,所述加熱器為一個或多個。
7.如權利要求6所述的一種脫膠設備，其特征在于，所述脫膠設備包括托板籃，所述托板籃包括一個把手及收容籃，所述收容籃用于收容一個托板，所述托板籃側壁上設置有多個網孔。
8.如權利要求7所述的一種脫膠設備，其特征在于，所述托板收容腔與所述托板籃相配合，所述托板籃置于所述托板收容腔內。
9.如權利要求8所述的一種脫膠設備，其特征在于，所述加熱槽槽體上方設置有蓋板。
10.如權利要求9所述的一種脫膠設備，其特征在于，所述脫膠設備選用不銹鋼、陶瓷、聚四氟乙烯、聚丙烯或聚苯乙烯材料制成。
專利摘要本實用新型公開了一種脫膠設備，包括加熱槽、加熱器、托板放置框，所述加熱器設于加熱槽內，所述托板放置框置于加熱槽內，所述托板放置框設置有多個托板收容腔。在加熱槽中加入脫膠介質，加熱，將待脫膠托板置于加熱槽內的托板收容腔，便可實現托板脫膠。采用本實用新型提供的脫膠設備對硅片加工過程中的金屬托板進行脫膠，安全環保，脫膠效率高，生產成本低。
文檔編號H01L31/18GK202373618SQ20112054951
公開日2012年8月8日 申請日期2011年12月26日 優先權日2011年12月26日
發明者丁劍, 夏軍 申請人:江西賽維Ldk太陽能高科技有限公司