一種全自動槽式化學鍍設備的制作方法

一種全自動槽式化學鍍設備的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種應用于晶硅光伏電池生產的全自動槽式化學鍍設備，屬于晶硅光伏電池生產的化學鍍設備【技術領域】。設備采用了化學鍍方法及槽式的設計方案。設備的工藝槽體配備了循環系統、加熱系統、過濾系統；加熱系統設置在獨立于工藝槽體之外的儲液箱內；工藝槽采用了多管式并行進液及多孔式勻流板；設備配置了全自動的藥液供給系統；設備出口端設置慢提拉干燥裝置；與工藝藥液接觸的部件全部采用工程塑料制造；自動上料、自動下料；中間轉運采用全自動機械手；本實用新型具備了全自動、槽體式、易維護、藥液循環流量均勻、工藝溫度均勻、藥液性質穩定、晶硅電池干進干出等特點。
【專利說明】一種全自動槽式化學鍍設備
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種全自動槽式化學鍍設備，屬于晶硅光伏電池生產的化學鍍設備【技術領域】。
【背景技術】
[0002]太陽能是人類取之不盡，用之不竭的可再生能源，它不產生任何環境污染，是完全清潔的能源。太陽光輻射能轉化電能是近年來發展最快，最具活力的研究之一，人們研制和開發了不同類型的太陽能電池亦稱光伏電池。光伏電池其獨特優勢，超過風能、水能、地熱能、核能等資源，有望成為未來電力供應主要支柱。
[0003]光伏電池簡單的講就是低電壓高電流的發電器件。現已工業化大規模生產的晶體硅光伏電池，常規制造工藝采用絲網印刷并燒結銀導體作為正面電極。這種情況下銀的使用量非常大，其成本占到總制造成本的15%左右，是除硅片之外的第二大成本消耗。當前研發的新型鎳硅合金技術，即是取消傳統的絲網印刷，使金屬鎳替代現有的銀，以期大幅降低光伏電池制造成本和生產損耗。
[0004]由此必須研發新型的、取代絲網印刷的化學鍍設備，該工藝的核心技術是使用化學方法將離子態的金屬還原并定向鍍在晶硅電池所需的位置上，從而形成金屬電極并實現金屬與硅之間的有效附著力。通過價格相對銀更低的鎳、銅等金屬的使用，降低光伏電池的制造成本。通過此項新型電極形成的方案，促進光伏電池光電轉化效率的提高。
[0005]針 對這種新型晶硅電極形成的方案，國外基本上都是采用鏈式設備，并采用電鍍或光誘導的方案。而采用化學鍍、槽式方案的設備沒有任何參考，必須立足于自主研發。
[0006]此新型電池制造工藝一旦實現技術突破，其將帶來整個晶硅光伏電池制造行業的巨大進步，引領晶硅光伏電池發展的新方向。而全自動槽式化學鍍設備作為核心設備之一，其研發成為必然選擇。

【發明內容】

[0007]為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種全自動槽式化學鍍設備。
[0008]一種全自動槽式化學鍍設備，PP工藝槽體安裝于設備內部，與設備外部的PP儲液箱、稱量槽、藥液原液桶通過管道相連；工藝藥液溫度傳感器安裝于PP工藝槽內；pp儲液箱內安裝加熱器，儲液箱溫度監控傳感器、PH值監控傳感器安裝于PP儲液箱內部；循環泵抽取PP儲液箱內的工藝藥液，藥液依次通過第三十九手動閥門、循環泵、過濾器、第六流量計、第四十一手動閥門進入工藝槽；泵回水第四十手動閥門的輸入端連接循環泵，第四十手動閥門的輸出端通入PP儲液箱；pp工藝槽體內液體排液時，通過第四十九手動閥門回流至PP儲液箱內；pp儲液箱底部設置排液第三十八手動閥門，PP儲液箱側面的溢流管道與第三十八手動閥門輸入口相連，第三十八手動閥門輸出口與廠務端連接；PP儲液箱的第七液位傳感器、第八液位傳感器、第九液位傳感器安裝于PP儲液箱側面；
[0009]氣動泵AP0101抽取原A液桶藥液，原A液桶藥液內腔連接第十一液位傳感器LE0101，通過混合藥液和補充藥液兩條不同功能的通路進入到PP儲液箱內；混合藥液通路中，藥液依次通過的是第一手動閥門、第六手動閥門、第一流量計、第四氣動閥門、第十三手動閥門、PP儲液箱；補充藥液通路中，藥液依次通過的是第一手動閥門、第六手動閥門、第一流量計、第一氣動閥門、PP稱量槽A、第十七手動閥門、第四流量計、第六氣動閥門、第十九手動閥門、PP儲液箱；第四液位傳感器、第五液位傳感器、第六液位傳感器安裝于A-PP稱量槽外側；
[0010]氣動泵抽取原B液桶藥液，原B液桶藥液內腔連接第十液位傳感器，通過混合藥液和補充藥液兩條不同功能的通路進入到PP儲液箱內；混合藥液通路中，藥液依次通過的是第二手動閥門、第七手動閥門、第二流量計、第三氣動閥門、第十一手動閥門、PP儲液箱；補充藥液通路中，藥液依次通過的是第二手動閥門、第七手動閥門、第二流量計、第二氣動閥門、B-PP稱量槽、第十四手動閥門、第三流量計、第五氣動閥門、第十六手動閥門、PP儲液箱；第一液位傳感器、第二液位傳感器、第三液位傳感器安裝于B-PP稱量槽外側；
[0011 ] 外部供給的DIW通過純水管道進入PP儲液箱，DIW依次通過的是第A手動閥門、第二十手動閥門、第五流量計、第七氣動閥門、第二十二手動閥門；水壓力變送器安裝在DIW進水管道入口處；
[0012]A補液系統通過第二手動閥門連接B補液系統，第十二手動閥門、第十五手動閥門、第十八手動閥門、 第二十一手動閥門均為取樣閥門與各個管路連接。
[0013]一種應用于晶硅光伏電池生產的全自動化學鍍方法，含有以下步驟；
[0014]為了提高金屬與晶體硅電池之間的附著力，設備采用了化學鍍方案，即金屬沉積完全是化學反應，無需像電鍍一樣的通入電流或使用光誘導；
[0015]為了降低晶硅電池在生產過程中的碎片率，設備采用槽式方案，硅片在轉運及工藝反應過程中都固定在相應的夾具中；
[0016]基本的工藝槽體排列順序如下:酸洗步驟；水洗步驟；激活步驟；鍍鎳步驟；干燥步驟；金屬化步驟；酸洗步驟；水洗步驟；鍍鎳步驟；水洗步驟；鍍銅步驟；干燥步驟；鍍鎳(或鍍銀)步驟；干燥，其中激活、鎳、銅、銀等金屬鍍槽，統稱化學鍍槽；
[0017]為了提高化學鍍金屬沉積的速率，相應的工藝槽體配備了循環系統，以提高化學藥液的流動速率；
[0018]為了提高化學鍍金屬沉積的速率，也配置了加熱系統，可以對藥液溫度進行控制；
[0019]為了提高溫度的均勻性，將加熱系統設置在獨立于工藝槽體之外的儲液箱內，泵將加熱后的液體通過循環系統打入工藝槽體內；
[0020]為了減少化學鍍瑕疵，循環系統中配備了過濾器，可將工藝藥液中的微小析出金屬阻攔在過濾器內；
[0021]為了確保工藝槽體內各向液體流速的均勻性，工藝槽采用了多管式并行進液及多孔式勻流板；
[0022]為了確保工藝流程的持續穩定性，設備配置了全自動的藥液供給系統，通過流量計對各種藥液的添加進行精密計量；
[0023]為了方便每段工藝完成之后的轉運工作，設備出口端設置慢提拉干燥裝置，使進入的晶硅硅片做到“干進干出”；[0024]為了減少工藝藥液在生產或停產過程中的失效效應，防止不必要的金屬析出，與工藝藥液接觸的過濾器、加熱器、傳感器、泵、管道、閥門、槽體全部采用工程塑料制造；
[0025]設備自動上料、自動下料，中間轉運采用全自動機械手；
[0026]設備采用觸摸面板+工控機+PLC的控制架構，使用組態軟件操作系統；
[0027]設備可通過觸摸面板的操作界面對各個流量計、溫度控制器、泵、閥、電機等進行監控；
[0028]操作系統可提供多配方操作方式，系統可存儲設備使用狀態數據。
[0029]本實用新型的優點是具備了全自動、化學藥液循環、循環流量均勻、藥液溫度均勻、化學藥液自動補給、晶硅電池干進干出、化學藥液穩定、設備造價低、維護方便等諸多特點的槽式化學鍍設備，是當前晶硅光伏電池生產行業內應用于硅鎳合金電極形成方案的唯一槽式化學鍍設備。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]當結合附圖考慮時，通過參照下面的詳細描述，能夠更完整更好地理解本實用新型以及容易得知其中許多伴隨的優點，但此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本實用新型的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定，如圖其中:
[0031]圖1是本實用新型化學鍍槽體主視圖。
[0032]圖2是本實用新型化學鍍槽體俯視圖。
[0033]圖3是本實用新型化學鍍藥液循環及藥液供給原理圖。
[0034]圖4是本實用新型設備典型整體設計方案圖。
[0035]圖中各個編號說明:
[0036]自動槽蓋I ;花籃筐2 ;排液口 3 ;進液口 4，標準花籃5，勻流板6 ;氣缸7，上料工位8，槽體9，排氣管道10，全自動機械手11，慢提拉干燥裝置12，下料工位13 ；
[0037]自動槽蓋I連接旋轉氣缸7;上料工位8與下料工位13分別位于設備的兩端；按工藝需求數量的槽體9安裝于設備內部；設備操控全自動機械手11從上料工位8拾取花籃筐2，并將其逐次放入設備內部的工藝槽體內；設備內部最后一個槽體位置為慢提拉干燥裝置12 ;通過設備工藝流程后，花籃筐最終到達下料工位13 ;設備頂部設置排氣管道10。
[0038]下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
【具體實施方式】
[0039]顯然，本領域技術人員基于本實用新型的宗旨所做的許多修改和變化屬于本實用新型的保護范圍。
[0040]實施例1:如圖1、圖2、圖3、圖4所示，為了適應新型晶硅光伏電池制造工藝的變革，實現新型的鎳、銅電極，本實用新型提供了一種應用于晶硅光伏電池生產的全自動槽式化學鍍設備，具備全自動、化學藥液循環、循環流量均勻、藥液溫度均勻、化學藥液自動補給、晶硅電池干進干出、化學藥液穩定、設備造價低、維護方便等諸多特點。
[0041]一種應用于晶硅光伏電池生產的化學鍍設備，配備全自動機械手并采用槽式設計；[0042]設備內部具備化學鍍、酸洗、水洗、激活、干燥等多種功能槽體；其所使用的化學鍍工藝槽體頂部連接自動槽蓋I ;旋轉氣缸7連接自動槽蓋轉軸，控制槽蓋開閉；工藝槽體底部設置三個進液口 4 ;進液口 4上部設置勻流板6 ;工藝槽體側后面底部設置二個排液口 3。
[0043]設備工作時，二個標準花籃5放置于花籃筐2內；設備操控全自動機械手11從上料工位拾取花籃筐2，逐次放入設備內部的工藝槽體內；設備內部最后一個槽體位置為慢提拉干燥裝置12 ;通過設備工藝流程后，花籃筐最終到達下料工位13 ;設備頂部設置排氣管道10，排出設備內部的化學反應及蒸發氣體.[0044]一種應用于晶硅光伏電池生產的化學鍍設備，配備全自動機械手并采用槽式設計；
[0045]基本的工藝槽體排列順序如下:酸洗步驟；水洗步驟；激活步驟；鍍鎳步驟；干燥步驟；金屬化步驟；酸洗步驟；水洗步驟；鍍鎳步驟；水洗步驟；鍍銅步驟；干燥步驟；鍍鎳(或鍍銀)步驟；干燥；
[0046]晶娃光伏電池放在標準花籃5內，而為了提聞設備廣能，設備提供了花籃管2,每個花籃筐可以盛放2或4個標準花籃。
[0047]全自動機械手11從上料工位8取花籃筐2，按控制程序要求放入相應的槽體9內，逐個完成各個槽體的工藝后，機械手將花籃筐放入下料工位13 ；
[0048]為了防止各個工藝槽不同類型藥液發生串液的情況，設備配備多自動臺機械手，在不同類型的藥液槽之間交替轉運花籃筐；
[0049]為了降低人為添加藥液的危險性以及提高添加精度，設備配備了全自動的藥液補給系統；
[0050]泵抽取供液中心的藥液A、藥液B，將藥液打入設備稱量槽或儲液箱，通過每個藥液管道中的流量計FM0101、流量計FM0102進行計量；
[0051]當設備使用過程中，藥液會發生微量消耗，此時改過稱量槽向儲液箱進行補液，通過流量計FMO106、流量計FMO107進行計量；
[0052]為了提高化學鍍的速度以及化學鍍的均勻性，設備工藝槽配備了藥液循環系統，泵EP010從儲液箱中抽出工藝液體，通過進液口 4打入工藝槽內槽，藥液從工藝槽內槽溢流到工藝槽外槽，之后從排液口 3通過重力回流到儲液箱；
[0053]為了確保化學藥液流量的穩定性，在循環泵主管道設置了流量計，流量計反饋電信號給控制系統，控制系統給控制泵的變頻器發出指令，以保持循環流量的穩定性；
[0054]為了提高化學藥液在工藝槽內各個方向流量的均勻性，槽體采用三個進液口4同時進液的設計，并在進液管道上部設置了勻流板6 ;
[0055]為了提高藥液溫度的均勻性，設備配置了儲液箱，將加熱器安裝于儲液箱內；
[0056]為了保持工藝槽內的溫度，減少工藝液體揮發，工藝槽配備了自動槽蓋1，槽蓋通過使用旋轉氣缸7自動開閉。
[0057]為了保持化學藥液的穩定性，防止不必要的金屬析出，與工藝藥液接觸的過濾器、加熱器、傳感器、泵、管道、閥門、槽體全部采用工程塑料制造；
[0058]為了減少化學鍍瑕疵，循環系統中配備了過濾器FL0101，可將工藝藥液中的微小析出金屬阻攔在過濾器內；
[0059]為了方便晶硅電池的轉運，在化學鍍工藝完成后，設置慢提拉干燥裝置12，確保電池能夠干進干出；
[0060]為了減少揮發的藥液氣體對各個機械及電器機構造成的腐蝕，設備配備排氣管道10，能夠與廠務管道連接；
[0061]設備采用觸摸面板+工控機+PLC的控制架構，使用組態軟件操作系統；
[0062]設備可通過觸摸面板的操作界面對各個流量計、溫度控制器、泵、閥、電機等進行監控；
[0063]操作系統可提供多配方操作方式，系統可存儲設備使用狀態數據。
[0064]實施例2:如圖1、圖2、圖3、圖4所示，
[0065]一種應用于晶硅光伏電池生產的化學鍍設備，配備全自動機械手并采用槽式設計；
[0066]基本的工藝槽體排列順序如下:堿洗步驟；水洗步驟；激活步驟；鍍鎳步驟；水洗步驟；鍍鎳步驟；水洗步驟；鍍銅步驟；干燥步驟；鍍鎳(或鍍銀)步驟；干燥；
[0067]晶娃光伏電池放在標準花籃5內，而為了提聞設備廣能，設備提供了花籃管2,每個花籃筐可以盛放4個標準花籃。
[0068]全自動機械手11從上料工位8取花籃筐2，按控制程序要求放入相應的槽體9內，逐個完成各個槽體的工藝后，機械手將花籃筐放入下料工位13 ；
[0069]為了防止各個工藝槽不同類型藥液發生串液的情況，設備配備多自動臺機械手，在不同類型的藥液槽之間交替轉運花籃筐；
[0070]為了降低人為添加藥液的危險性以及提高添加精度，設備配備了全自動的藥液補給系統；
[0071]泵抽取供液中心的藥液A、藥液B、藥液C、藥液D，將藥液打入設備稱量槽或儲液箱，通過每個藥液管道中的流量計FMO101、流量計FMO102、流量計FMO103、流量計FMO104進行計量；
[0072]當設備使用過程中，藥液會發生微量消耗，此時改過稱量槽向儲液箱進行補液，通過流量計FMO106、流量計FMO107進行計量；
[0073]為了提高化學鍍的速度以及化學鍍的均勻性，設備工藝槽配備了藥液循環系統，泵EP010從儲液箱中抽出工藝液體，通過三個進液口 4打入工藝槽內槽，藥液從工藝槽排液口 3通過重力回流到儲液箱；
[0074]為了確保化學藥液流量的穩定性，在循環泵主管道設置了壓力計，壓力計反饋電信號給控制系統，控制系統給控制泵的變頻器發出指令，以保持循環流量的穩定性；
[0075]為了提高化學藥液在工藝槽內各個方向流量的均勻性，槽體采用多管道4同時進液的設計；
[0076]為了提高藥液溫度的均勻性，設備配置了儲液箱，將加熱器安裝于儲液箱內；
[0077]為了保持化學藥液的穩定性，防止不必要的金屬析出，與工藝藥液接觸的過濾器、加熱器、傳感器、泵、管道、閥門、槽體全部采用工程塑料制造；
[0078]為了方便晶硅電池的轉運，在化學鍍工藝完成后，設置IPA干燥裝置，確保電池能夠干進干出；
[0079]為了減少揮發的藥液氣體對各個機械及電器機構造成的腐蝕，設備配備排氣管道10，能夠與廠務管道連接；[0080]設備采用觸摸面板+PLC的控制架構；
[0081]設備可通過觸摸面板的操作界面對各個流量計、溫度控制器、泵、閥、電機等進行監控；
[0082]操作系統可提供多配方操作方式，系統可存儲設備使用狀態數據。
[0083]實施例3:如圖1、圖2、圖3、圖4所示，
[0084]一種應用于晶硅光伏電池生產的化學鍍設備，配備全自動機械手并采用槽式設計；
[0085]基本的工藝槽體排列順序如下:激活步驟；鍍鎳步驟；水洗步驟；酸洗步驟；水洗步驟；鍍鎳步驟；水洗步驟；鍍銅步驟；干燥步驟；鍍鎳(或鍍銀)步驟；干燥；
[0086]晶娃光伏電池放在標準花籃5內，而為了提聞設備廣能，設備提供了花籃管2,每個花籃筐可以盛放4個標準花籃。
[0087]全自動機械手11從上料工位8取花籃筐2，按控制程序要求放入相應的槽體9內，逐個完成各個槽體的工藝后，機械手將花籃筐放入下料工位13 ；
[0088]為了防止各個工藝槽不同類型藥液發生串液的情況，設備配備多自動臺機械手，在不同類型的藥液槽之間交替轉運花籃筐；
[0089]為了提高化學鍍的速度以及化學鍍的均勻性，設備工藝槽配備了藥液循環系統，泵EP010從儲液箱中抽出工藝液體，通過進液口 4打入工藝槽內槽，藥液從工藝槽內槽溢流到工藝槽外槽，之后從排液口 3通過重力回流到儲液箱；
[0090]為了確保化學藥液流量的穩定性，在循環泵主管道設置了流量計，流量計反饋電信號給控制系統，控制系統給控制泵的變頻器發出指令，以保持循環流量的穩定性；
[0091 ]為了提高化學藥液在工藝槽內各個方向流量的均勻性，槽體進液管道上部設置了勻流板6 ；
[0092]為了提高藥液溫度的均勻性，設備配置了儲液箱，將加熱器安裝于儲液箱內；
[0093]為了保持工藝槽內的溫度，減少工藝液體揮發，工藝槽配備了自動槽蓋1，槽蓋通過使用氣缸7自動開閉。
[0094]為了保持化學藥液的穩定性，防止不必要的金屬析出，與工藝藥液接觸的過濾器、加熱器、傳感器、泵、管道、閥門、槽體全部采用工程塑料制造；
[0095]為了減少化學鍍瑕疵，循環系統中配備了過濾器FL0101，可將工藝藥液中的微小析出金屬阻攔在過濾器內；
[0096]為了方便晶硅電池的轉運，在化學鍍工藝完成后，設置慢提拉干燥裝置12，確保電池能夠干進干出；
[0097]為了減少揮發的藥液氣體對各個機械及電器機構造成的腐蝕，設備配備排氣管道10，能夠與廠務管道連接；
[0098]設備采用工控機+PLC的控制架構，使用組態軟件操作系統；
[0099]設備可通過觸摸面板的操作界面對各個流量計、溫度控制器、泵、閥、電機等進行監控；
[0100]操作系統可提供多配方操作方式，系統可存儲設備使用狀態數據。
[0101]實施例4:如圖3的化學鍍藥液循環及藥液供給原理圖所示，
[0102]一種應用于晶硅光伏電池生產的化學鍍設備，PP工藝槽體3安裝于設備內部，與設備外部的PP儲液箱1、稱量槽、藥液原液桶通過管道相連。工藝藥液溫度傳感器tempOlOl安裝于PP工藝槽3內。PP儲液箱I內安裝加熱器2，儲液箱溫度監控傳感器temp0102、PH值監控傳感器PHOlOl安裝于PP儲液箱I內部。循環泵EP0101抽取PP儲液箱I內的工藝藥液，藥液依次通過第三十九手動閥門MV0139、循環泵EP0101、過濾器FL0101、第六流量計FM0113、第四十一手動閥門MV0141進入工藝槽。泵回水第四十手動閥門MV0140的輸入端連接循環泵EP0101，第四十手動閥門MV0140的輸出端通入PP儲液箱I。PP工藝槽體3內液體排液時，通過第四十九手動閥門MV0149回流至PP儲液箱I內。PP儲液箱I底部設置排液第三十八手動閥門MV0138，PP儲液箱I側面的溢流管道與第三十八手動閥門MV0138輸入口相連，第三十八手動閥門MV0138輸出口與廠務端連接。PP儲液箱I的第七液位傳感器LE0121、第八液位傳感器LE0122、第九液位傳感器LE0123安裝于PP儲液箱I側面。
[0103]氣動泵AP0101抽取原A液桶藥液5，原A液桶藥液5內腔連接第十一液位傳感器LE0101，通過混合藥液和補充藥液兩條不同功能的通路進入到PP儲液箱I內。混合藥液通路中，藥液依次通過的是第一手動閥門MVO101、第六手動閥門MVO106、第一流量計FMO101、第四氣動閥門AV0104、第十三手動閥門MV0113、PP儲液箱。補充藥液通路中，藥液依次通過的是第一手動閥門MVO101、第六手動閥門MVO106、第一流量計FMO101、第一氣動閥門AVO101、PP稱量槽A、第十七手動閥門MVO117、第四流量計FMO107、第六氣動閥門AVO112、第十九手動閥門MV0119、PP儲液箱I。第四液位傳感器LE0109、第五液位傳感器LE0110、第六液位傳感器LEOlll安裝于A-PP稱量槽7外側。
[0104]氣動泵AP0102抽取原B液桶藥液6，原B液桶藥液6內腔連接第十液位傳感器LE0102，通過混合藥液和補充藥液兩條不同功能的通路進入到PP儲液箱I內。混合藥液通路中，藥液依次通過的是第二手動閥門MV0102、第七手動閥門MV0107、第二流量計FM0102、第三氣動閥門AV0103、第 十一手動閥門MV0111、PP儲液箱I。補充藥液通路中，藥液依次通過的是第二手動閥門MV0102、第七手動閥門MV0107、第二流量計FM0102、第二氣動閥門AVO102、B-PP稱量槽8、第十四手動閥門MVO114、第三流量計FMO106、第五氣動閥門AVO111、第十六手動閥門MV0116、PP儲液箱I。第一液位傳感器LE0106、第二液位傳感器LE0107、第三液位傳感器LEO108安裝于B-PP稱量槽8外側。
[0105]外部供給的DIW通過純水管道進入PP儲液箱1，DIff依次通過的是第A手動閥門MV0001、第二十手動閥門MV0120、第五流量計FM0108、第七氣動閥門AVOl 13、第二十二手動閥門MVO122。水壓力變送器安裝在DIW進水管道入口處。
[0106]A補液系統10通過第二手動閥門MVO102連接B補液系統9，
[0107]第十二手動閥門MV0112、第十五手動閥門MV0115、第十八手動閥門MV0118、第二十一手動閥門MV0121均為取樣閥門，與各個管路連接。
[0108]如上所述，對本實用新型的實施例進行了詳細地說明，但是只要實質上沒有脫離本實用新型的發明點及效果可以有很多的變形，這對本領域的技術人員來說是顯而易見的。因此，這樣的變形例也全部包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種應用于晶硅光伏電池生產的全自動槽式化學鍍設備，其特征在于PP工藝槽體安裝于設備內部，與設備外部的PP儲液箱、稱量槽、藥液原液桶通過管道相連；工藝藥液溫度傳感器安裝于PP工藝槽內；pp儲液箱內安裝加熱器，儲液箱溫度監控傳感器、PH值監控傳感器安裝于PP儲液箱內部；循環泵抽取PP儲液箱內的工藝藥液，藥液依次通過第三十九手動閥門、循環泵、過濾器、第六流量計、第四十一手動閥門進入工藝槽；泵回水第四十手動閥門的輸入端連接循環泵，第四十手動閥門的輸出端通入PP儲液箱；PP工藝槽體內液體排液時，通過第四十九手動閥門回流至PP儲液箱內；PP儲液箱底部設置排液第三十八手動閥門，PP儲液箱側面的溢流管道與第三十八手動閥門輸入口相連，第三十八手動閥門輸出口與廠務端連接；pp儲液箱的第七液位傳感器、第八液位傳感器、第九液位傳感器安裝于PP儲液箱側面； 氣動泵APOlOl抽取原A液桶藥液，原A液桶藥液內腔連接第十一液位傳感器LE0101，通過混合藥液和補充藥液兩條不同功能的通路進入到PP儲液箱內；混合藥液通路中，藥液依次通過的是第一手動閥門、第六手動閥門、第一流量計、第四氣動閥門、第十三手動閥門、PP儲液箱；補充藥液通路中，藥液依次通過的是第一手動閥門、第六手動閥門、第一流量計、第一氣動閥門、PP稱量槽A、第十七手動閥門、第四流量計、第六氣動閥門、第十九手動閥門、PP儲液箱；第四液位傳感器、第五液位傳感器、第六液位傳感器安裝于A-PP稱量槽外側； 氣動泵抽取原B液桶藥液，原B液桶藥液內腔連接第十液位傳感器，通過混合藥液和補充藥液兩條不同功能的通路進入到PP儲液箱內；混合藥液通路中，藥液依次通過的是第二手動閥門、第七手動閥門、第二流量計、第三氣動閥門、第十一手動閥門、PP儲液箱；補充藥液通路中，藥液依次通過的是第二手動閥門、第七手動閥門、第二流量計、第二氣動閥門、B-PP稱量槽、第十四手動閥門、第三流量計、第五氣動閥門、第十六手動閥門、PP儲液箱；第一液位傳感器、第二液位傳感器、第三液位傳感器安裝于B-PP稱量槽外側； 外部供給的DIW通過純水管道進入PP儲液箱，DIW依次通過的是第A手動閥門、第二十手動閥門、第五流量計、第七氣動閥門、第二十二手動閥門；水壓力變送器安裝在DIW進水管道入口處； A補液系統通過第二手動閥門連接B補液系統，第十二手動閥門、第十五手動閥門、第十八手動閥門、第二十一手動閥門均為取樣閥門與各個管路連接。
【文檔編號】H01L31/18GK203487235SQ201320645301
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年10月18日 優先權日:2013年10月18日
【發明者】孫良欣, 岳樹民 申請人:北京吉陽技術股份有限公司