一種板式pecvd設備中的u型槽的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種板式PECVD設備中的U型槽。
【背景技術】
[0002]板式PECVD設備是石英管在兩端通微波源，表面抽真空的條件下將氨氣和硅烷分解成高能離子狀態，經過一系列化學反應，在硅片表面沉積氮化硅固態薄膜，同時分解出來的氫離子，將硅片表面原有缺陷鈍化的設備。U型槽隔絕PECVD設備中反應腔體中磁鐵、抽真空管路、特氣管路與反應沉積區域，對反應腔體中重要部件進行防護。但是為了保證反應特氣的正常通入，必須在U型槽頂部兩端與特氣管的特氣通入孔相對應的位置開大于特氣通入孔的進氣孔。由于氮化硅的沉積需要定期清理或更換U型槽，在清理或更換U型槽時，由于設備沒有U型槽的固定裝置，在再次安裝U型槽時位置很容易發生偏移，甚至是U型槽頂部翹起變形，導致特氣管的特氣通入孔與U型槽頂部兩端的進氣孔發生偏移，甚至U型槽遮擋特氣管的特氣通入孔，造成進氣量變少，嚴重的甚至沒有進氣量，進而影響特氣實際參加反應的量，導致鍍膜工藝的不穩定。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的就是解決現有技術中存在的上述問題，提供一種板式PECVD設備中的U型槽，該U型槽兩端固定，防止由于U型槽頂部翹起導致的開孔的位置偏移。
[0004]為實現上述目的，本實用新型的技術解決方案是:一種板式PECVD設備中的U型槽，包括U型槽、U型槽下方的加固鋼板和3組以上的緊固連接裝置；在U型槽頂部的兩端邊緣向上彎曲形成溝槽A，在加固鋼板的背面邊部與U型槽頂部的溝槽A相對應的位置開有溝槽B;每組緊固連接裝置是由兩個一端帶緊固鉤、另一端有內螺紋或外螺紋的長條管和有外螺紋或內螺紋的長螺母組成，兩個長條管螺紋固定在長螺母上；每組緊固連接裝置的兩個緊固鉤分別鉤掛在溝槽A和溝槽B內，由長螺母鎖緊緊固。
[0005]上述所述的溝槽B開在加固鋼板的背面距離邊緣1.5cm的地方，其直徑為0.5mm。這個位置這樣的溝槽B能使緊固連接裝置的鉤槽鉤掛可靠。
[0006]上述所述的緊固連接裝置的緊固鉤直徑為0.8毫米。很容易鉤掛，鉤掛可靠，又是最合適的最小的鉤，節省材料。
[0007]本實用新型的緊固連接裝置通過緊固鉤連接U型槽頂部的溝槽A和固定鋼板的溝槽B，將U型槽固定，防止了由于U型槽頂部翹起導致的進氣孔的位置偏移，避免因此造成的特氣管的特氣通入孔與U型槽頂部兩端的進氣孔發生偏移，甚至U型槽遮擋特氣管的特氣通入孔，造成進氣量變少甚至沒有進氣量的現象的發生，保證了特氣實際參加反應的量的穩定性，使鍍膜工藝的更加穩定。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0009]如圖1所示，本實施例包括U型槽1、U型槽下方的加固鋼板6和3組(這是既牢固又數量最少的選擇，如果U型槽過大，也可是根據需要的3個以上的任意個數)緊固連接裝置7。在U型槽I頂部的兩端邊緣向上彎曲形成溝槽A 2，在加固鋼板6的背面邊部與U型槽頂部的溝槽A 2相對應的位置開有溝槽B 5;優選地，溝槽B 5開在加固鋼板6的背面距離邊緣1.5cm的地方，其直徑為0.5_。每組緊固連接裝置7是由兩個一端帶緊固鉤3、另一端有外螺紋的長條管8和有內螺紋的長螺母4組成，兩個長條管8螺紋固定在長螺母4上。每組緊固連接裝置7的兩個緊固鉤3分別鉤掛在溝槽A 2和溝槽B 5內，由長螺母4鎖緊緊固。優選地，緊固鉤3直徑為0.8毫米。6為U型槽上開有的特氣的進氣孔。
[0010]當然，本實用新型還有其它多種實施例，在不違背本實用新型精神和實質的情況下，熟悉本領域的技術人員可根據本實用新型做出相應的改變和變形，如緊固連接裝置的設計和使用數量、U型槽的設計、固定鋼板的設計等，但這些相應的改變和變形都應屬于本實用新型權利要求的保護范圍。
【主權項】
1.一種板式PECVD設備中的U型槽，其特征在于:包括U型槽、U型槽下方的加固鋼板和3組以上的緊固連接裝置；在U型槽頂部的兩端邊緣向上彎曲形成溝槽A，在加固鋼板的背面邊部與U型槽頂部的溝槽A相對應的位置開有溝槽B ;每組緊固連接裝置是由兩個一端帶緊固鉤、另一端有內螺紋或外螺紋的長條管和有外螺紋或內螺紋的長螺母組成，兩個長條管螺紋固定在長螺母上；每組緊固連接裝置的兩個緊固鉤分別鉤掛在溝槽A和溝槽B內，由長螺母鎖緊緊固。2.根據權利要求1所述的板式PECVD設備中的U型槽，其特征在于:所述的溝槽B開在加固鋼板的背面距離邊緣1.5cm的地方，其直徑為0.5_。3.根據權利要求1或2所述的板式PECVD設備中的U型槽，其特征在于:所述的緊固連接裝置的緊固鉤直徑為0.8毫米。
【專利摘要】本實用新型公開了一種板式PECVD設備中的U型槽，包括U型槽、加固鋼板和3組以上的緊固連接裝置；在U型槽頂部的兩端邊緣向上彎曲形成溝槽A，在加固鋼板的背面邊部開有溝槽B；每組緊固連接裝置是由兩個一端帶緊固鉤、另一端有內螺紋或外螺紋的長條管和有外螺紋或內螺紋的長螺母組成，兩個長條管螺紋固定在長螺母上；每組緊固連接裝置的兩個緊固鉤分別鉤掛在溝槽A和溝槽B內，由長螺母鎖緊緊固。本實用新型防止了由于U型槽頂部翹起導致的進氣孔的位置偏移，避免因此造成的特氣管的特氣通入孔與U型槽頂部兩端的進氣孔發生偏移，保證了特氣實際參加反應的量的穩定性，使鍍膜工藝的更加穩定。
【IPC分類】C23C16/455
【公開號】CN204918760
【申請號】CN201520543839
【發明人】李靜, 殷國安, 張大雨, 田娜, 馬立元
【申請人】巨力新能源股份有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年7月26日