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外延片中P型層的生長方法與流程

文檔序號:12474306閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種外延片中P型層的生長方法,所述外延片包括:緩沖層、非摻雜氮化鎵層、N型層、量子阱層、以及P型層,其特征在于,所述P型層生長過程包括多個生長階段,所述方法包括:

獲取所述P型層當前生長階段的生長厚度;

在所述生長厚度達到預設厚度時,按照預設降溫速率,將生長溫度降至預設溫度,并將所述生長溫度在所述預設溫度維持預設時間段。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,在所述當前生長階段非最后生長階段時,所述方法還包括:

按照預設升溫速率,將所述生長溫度從所述預設溫度提高至預設生長溫度;

在所述預設生長溫度下,開始所述P型層的下一生長階段。

3.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,所述預設降溫速率大于所述預設升溫速率。

4.根據權利要求1-3任一項所述的方法,其特征在于,所述預設厚度包括下述任一項:15納米、20納米、25納米。

5.根據權利要求1-3任一項所述的方法,其特征在于,所述預設溫度的范圍大于或等于600攝氏度、且小于或等于900攝氏度。

6.根據權利要求1-3任一項所述的方法,其特征在于,所述預設降溫速率的范圍大于或等于50攝氏度/分鐘、且小于或等于125攝氏度/分鐘。

7.根據權利要求2或3所述的方法,其特征在于,所述預設生長溫度的范圍大于或等于950攝氏度、且小于或等于1000攝氏度。

8.根據權利要求2或3所述的方法,其特征在于,所述預設升溫速率的范圍大于或等于50攝氏度/分鐘、且小于或等于100攝氏度/分鐘。

9.根據權利要求1-3任一項所述的方法,其特征在于,所述在所述生長厚度達到預設厚度時,按照預設降溫速率,將生長溫度降至預設溫度,包括:

在所述生長厚度達到預設厚度時,按照預設降溫速率,采用氮氣將生長溫度降至預設溫度。

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