技術總結
本發明提供一種外延片中P型層的生長方法,該外延片包括:緩沖層、非摻雜氮化鎵層、N型層、量子阱層、以及P型層,P型層生長過程包括多個生長階段,方法包括:獲取P型層當前生長階段的生長厚度;在生長厚度達到預設厚度時,按照預設降溫速率,將生長溫度降至預設溫度,并將生長溫度在預設溫度維持預設時間段。本發明提供的外延片中P型層的生長方法,能夠提高外延片中P型層的空穴的遷移率,進而能夠提高外延片的發光效率,從而能夠提高發光二極管的發光效率。
技術研發人員:霍麗艷;黃小輝;周德保;康建;梁旭東
受保護的技術使用者:圓融光電科技股份有限公司
文檔號碼:201610788923
技術研發日:2016.08.30
技術公布日:2016.12.21