技術總結
本發明公開了一種PERC太陽能電池結構及其制備工藝。它包括電池片本體，所述電池片本體的正面依次沉積/生長有SiO2層、減反層和AlOx層，所述電池片本體的背面依次沉積有AlOx層和SiNx層；在PERC電池常規制備工藝的基礎上，增加了表面氧化摻雜工藝；同時，對PERC電池工藝的調整；還采用了獨特的表面鈍化層沉積工藝。本發明的有益效果是：通過氧化過程中的有效摻雜，提高電池表面的雜質濃度，改善電池的FF，彌補由于背面局部接觸導致的FF惡化；同時，通過對PERC電池工藝的調整，解決摻雜工藝導致的邊緣漏電問題，從而簡化工藝過程；不僅提高了電池的轉換效率，而且為PERC電池后續的光致恢復工藝提供了更好的氫化效果，從而實現抗LID。
技術研發人員：陳健生;董方
受保護的技術使用者：橫店集團東磁股份有限公司
文檔號碼：201611018372
技術研發日：2016.11.18
技術公布日：2017.05.10