一種新型芯片清洗裝置的制作方法

本實用新型主要涉及微電子技術領域，具體是一種新型芯片清洗裝置。

背景技術：

在微電子科學與工程技術領域中，芯片是制作微電子器件的基本元件，而在半導體芯片制作過程中，芯片清洗的好壞直接決定芯片的質量。在對芯片進行清洗時，首先需要將芯片浸泡在化學試劑中一定時間，使用化學試劑對芯片表面進行浸泡清洗，然后再將經化學試劑清洗過的芯片使用高純水進行清洗，以置換掉殘留化學試劑和雜質離子等。現有技術中在對芯片進行化學試劑清洗后拿出芯片時，需要借助其他工具一個一個的拿出芯片在放入水槽內進行清洗，浪費時間而且很不方便，操作時容易碰觸到清洗液，對人體造成傷害，存在一定的危險。

技術實現要素：

為了解決現有技術中的不足，本實用新型提供一種新型芯片清洗裝置，通過推動裝置可以將移動置物板由第一升降置物架直接移動至第二升降置物架上，無需直接接觸芯片和清洗液，提高操作安全性，同時芯片是放置在移動置物板上的，無需一個一個的取出芯片進行水洗，便于若干個芯片的整體移動清洗，簡單方便，提高工作效率。

本實用新型為實現上述目的，通過以下技術方案實現：

一種新型芯片清洗裝置，包括作業柜，所述作業柜內部設置酸槽和水槽，所述酸槽內設置第一升降置物裝置，所述第一升降置物裝置包括第一升降置物架、第一滑軌和第一絲杠，所述第一滑軌豎直設置于靠近水槽一側的酸槽內壁上，所述第一絲杠與第一滑軌平行，且位于酸槽內遠離水槽的一側，所述第一絲杠與酸槽轉動連接，所述酸槽上設置帶動第一絲杠轉動的第一電機，所述第一升降置物架的兩側分別設有與第一滑軌相適應的第一滑塊和與第一絲杠相適應的第一絲母，所述酸槽的底部設置排酸閥；所述水槽內設置第二升降置物裝置，所述第二升降置物裝置包括第二升降置物架、第二滑軌和第二絲杠，所述第二滑軌豎直設置于靠近酸槽一側的水槽內壁上，所述第二絲杠與第二滑軌平行，且位于水槽內遠離酸槽的一側，所述第二絲杠與水槽轉動連接，所述水槽上設置帶動第二絲杠轉動的第二電機，所述第二升降置物架的兩側分別設有與第二滑軌相適應的第二滑塊和與第二絲杠相適應的第二絲母，所述水槽的底部設置排水閥；還包括移動置物板和設置在酸槽上的推動裝置，所述移動置物板的底部設有漏液孔，當第一升降置物架、第二升降置物架分別上升至酸槽、水槽頂端時，通過推動裝置的推動，移動置物板可以由第一升降置物架移動至第二升降置物架上。

所述推動裝置包括設置在酸槽上的液壓桿。

所述推動裝置包括設置在酸槽上的滑動桿，所述滑動桿與酸槽滑動連接。

所述第一升降置物架、第二升降置物架均包括框架，所述框架的頂部設有導向凸塊，所述移動置物板的底部設有與導向凸塊相適應的導向凹槽。

所述框架為圓環形框架或者橢圓環形框架或者長方環形框架。

所述第一升降置物架與第一滑塊、第一絲母可拆卸連接，所述第二升降置物架與第二滑塊、第二絲母可拆卸連接。

所述作業柜上設置進水管，所述進水管位于水槽的上側，所述進水管上設置噴頭。

對比現有技術，本實用新型有益效果在于：

1、本實用新型通過推動裝置可以將移動置物板由第一升降置物架直接移動至第二升降置物架上，無需直接接觸芯片和清洗液，提高操作安全性，同時芯片是放置在移動置物板上的，無需一個一個的取出芯片進行水洗，便于若干個芯片的整體移動清洗，簡單方便，提高工作效率。

2、推動裝置包括設置在酸槽上的液壓桿，可以通過液壓桿直接控制移動置物板的移動，簡單方便。

3、推動裝置包括設置在酸槽上的滑動桿，滑動桿與酸槽滑動連接，通過手動推動滑動桿，即可實現移動置物板的移動，簡單方便。

4、第一升降置物架、第二升降置物架均包括框架，框架的頂部設有導向凸塊，移動置物板的底部設有與導向凸塊相適應的導向凹槽，通過導向凸塊和導向凹槽的配合，使移動置物板在移動過程中不會發生偏移，便于移動置物板的移動。

5、述第一升降置物架與第一滑塊、第一絲母可拆卸連接，第二升降置物架與第二滑塊、第二絲母可拆卸連接，便于第一升降置物架、第二升降置物架的更換。

6、作業柜上進水管的設置，方便高純水的直接使用，簡單方便；進水管上噴頭的設置，可以先對經過化學試劑處理的芯片進行噴水清洗，然后在使用高純水浸泡，可以節約水資源，降低成本，還可以提高工作效率。

附圖說明

附圖1是本實用新型的結構示意圖。

附圖2是框架的結構示意圖。

附圖3是附圖1中I的局部放大圖。

附圖4是移動置物板的結構示意圖。

附圖中所示標號：1、作業柜；11、進水管；12、噴頭；2、酸槽；21、第一升降置物架；22、第一滑軌；23、第一絲杠；24、第一電機；25、第一滑塊；26、第一絲母；27、排酸閥；28、框架；29、導向凸塊；3、水槽；31、第二升降置物架；32、第二滑軌；33、第二絲杠；34、第二電機；35、第二滑塊；36、第二絲母；37、排水閥；4、移動置物板；41、漏液孔；42、導向凹槽；43、凸緣擋板；5、滑動桿；51、滑槽。

具體實施方式

結合附圖和具體實施例，對本實用新型作進一步說明。應理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型講授的內容之后，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所限定的范圍內。

一種新型芯片清洗裝置，包括作業柜1，所述作業柜1上設置酸槽2和水槽3。所述酸槽2內設置第一升降置物裝置，所述第一升降置物裝置包括第一升降置物架21、第一滑軌22和第一絲杠23，所述第一滑軌22豎直設置于靠近水槽3一側的酸槽2內壁上，所述第一絲杠23與第一滑軌22平行，且位于酸槽2內遠離水槽3的一側，所述第一絲杠23與酸槽2轉動連接，所述酸槽2上設置帶動第一絲杠23轉動的第一電機24，具體的，可以在酸槽2的底部設置下安裝座，在酸槽的頂部設置上安裝座，第一絲杠23設置在下安裝座和上安裝座之間，且第一絲杠與下安裝座、上安裝座轉動連接，第一電機24設置在上安裝座上，同時第一電機24與第一絲杠23傳動連接。所述第一升降置物架21的兩側分別設有與第一滑軌22相適應的第一滑塊25和與第一絲杠23相適應的第一絲母26，通過第一電機24的運行帶動第一絲杠23轉動，從而實現第一絲母26在第一絲杠23上的上下移動，最終帶動第一升降置物架21上下移動。所述酸槽2的底部設置排酸閥27，用于排出廢液。所述水槽3內設置第二升降置物裝置，所述第二升降置物裝置包括第二升降置物架31、第二滑軌32和第二絲杠33，所述第二滑軌32豎直設置于靠近酸槽2一側的水槽3內壁上，所述第二絲杠33與第二滑軌32平行，且位于水槽3內遠離酸槽2的一側，所述第二絲杠33與水槽3轉動連接，所述水槽3上設置帶動第二絲杠33轉動的第二電機34，具體的，可以在水槽3的底部設置下安裝座，在水槽的頂部設置上安裝座，第二絲杠33設置在下安裝座和上安裝座之間，且第二絲杠33與下安裝座、上安裝座轉動連接，第二電機34設置在上安裝座上，同時第二電機34與第二絲杠33傳動連接。所述第二升降置物架31的兩側分別設有與第二滑軌32相適應的第二滑塊35和與第二絲杠33相適應的第二絲母36，通過第二電機34的運行帶動第二絲杠33轉動，從而實現第二絲母36在第二絲杠33上的上下移動，最終帶動第二升降置物架31上下移動。所述水槽3的底部設置排水閥37，用于排出廢液。還包括移動置物板4和設置在酸槽2上的推動裝置，所述移動置物板4的底部設有漏液孔41，移動置物板4上放置帶清洗的芯片。可以在移動置物板4的邊緣設置凸緣擋板43，避免芯片從移動置物板4周圍掉落。當第一升降置物架21、第二升降置物架31分別上升至酸槽2、水槽3頂端時，通過推動裝置的推動，移動置物板4可以由第一升降置物架21移動至第二升降置物架31上。

在使用本實用新型時，第一步，先將帶清洗的芯片放置在移動置物板4上；第二步，首先運行第一電機24，使第一升降置物架21上升至酸槽2上側，將盛放了芯片的移動置物板4放置在第一升降置物架21上，這樣可以避免放置時與清洗芯片的化學試劑接觸，提高操作安全性，然后，控制第一電機24運行，使第一升降置物架21下降至酸槽2下側，即可將芯片浸泡在化學試劑中，實現對芯片的初步清洗；第三步，當在化學試劑中浸泡一定時間后，通過控制第一電機24的運行，使第一升降置物架21上升至酸槽2頂端，通過控制第二電機34的運行，使第二升降置物架31上升至水槽3頂端，使用推動裝置推動移動置物板4，將移動置物板4由第一升降置物架21推動至第二升降置物架31上，避免了手與將移動置物板4和化學試劑的直接接觸，提高操作安全性，且移動置物板4內的芯片可以全部移動至水槽3內進行下一的清洗，簡單方便，提高工作效率；第四步，通過控制第二電機34的運行，使第二升降置物架31下降至水槽3內，使用高純水進行芯片的清洗。

所述推動裝置包括設置在酸槽2上的液壓桿，可以將液壓桿安裝在酸槽2上設置的上安裝座上，通過液壓桿直接控制移動置物板4的移動，簡單方便。

所述推動裝置包括設置在酸槽2上的滑動桿5，所述滑動桿5與酸槽2滑動連接，可以在酸槽2上設置的上安裝座上設置滑槽51，將滑動桿5安裝在滑槽51內，通過手動推動滑動桿5，即可實現移動置物板4的移動，簡單方便。

進一步的，所述第一升降置物架21、第二升降置物架31均包括框架28，所述框架28的頂部設有導向凸塊29，所述移動置物板4的底部設有與導向凸塊29相適應的導向凹槽42，通過導向凸塊29和導向凹槽42的配合，使移動置物板4在移動過程中不會發生偏移，便于移動置物板4的移動。

進一步的，所述框架28為圓環形框架28或者橢圓環形框架28或者長方環形框架28。

進一步的，所述第一升降置物架21與第一滑塊25、第一絲母26可拆卸連接，所述第二升降置物架31與第二滑塊35、第二絲母36可拆卸連接，便于第一升降置物架21、第二升降置物架31的更換。

進一步的，所述作業柜1上設置進水管11，所述進水管11位于水槽3的上側，進水管11的設置方便高純水的直接使用，簡單方便。所述進水管11上設置噴頭12。通過噴頭12的設置，可以先對經過化學試劑處理的芯片進行噴水清洗，然后在使用高純水浸泡，可以節約水資源，降低成本，還可以提高工作效率。

實施例

一種新型芯片清洗裝置，包括作業柜1，所述作業柜1內部設置酸槽2和水槽3。所述酸槽2內設置第一升降置物裝置，所述第一升降置物裝置包括第一升降置物架21、第一滑軌22和第一絲杠23，所述第一滑軌22豎直設置于靠近水槽3一側的酸槽2內壁上，所述第一絲杠23與第一滑軌22平行，且位于酸槽2內遠離水槽3的一側，所述第一絲杠23與酸槽2轉動連接，所述酸槽2上設置帶動第一絲杠23轉動的第一電機24，所述第一升降置物架21的兩側分別設有與第一滑軌22相適應的第一滑塊25和與第一絲杠23相適應的第一絲母26，所述酸槽2的底部設置排酸閥27。所述第一升降置物架21與第一滑塊25、第一絲母26可拆卸連接。所述水槽3內設置第二升降置物裝置，所述第二升降置物裝置包括第二升降置物架31、第二滑軌32和第二絲杠33，所述第二滑軌32豎直設置于靠近酸槽2一側的水槽3內壁上，所述第二絲杠33與第二滑軌32平行，且位于水槽3內遠離酸槽2的一側，所述第二絲杠33與水槽3轉動連接，所述水槽3上設置帶動第二絲杠33轉動的第二電機34，所述第二升降置物架31的兩側分別設有與第二滑軌32相適應的第二滑塊35和與第二絲杠33相適應的第二絲母36，所述水槽3的底部設置排水閥37。所述第二升降置物架31與第二滑塊35、第二絲母36可拆卸連接。還包括移動置物板4和設置在酸槽2上的推動裝置，所述移動置物板4的底部設有漏液孔41，當第一升降置物架21、第二升降置物架31分別上升至酸槽2、水槽3頂端時，通過推動裝置的推動，移動置物板4可以由第一升降置物架21移動至第二升降置物架31上。所述推動裝置包括設置在酸槽2上的滑動桿5，所述滑動桿5與酸槽2滑動連接。所述第一升降置物架21、第二升降置物架31均包括框架28，所述框架28的頂部設有導向凸塊29，所述移動置物板4的底部設有與導向凸塊29相適應的導向凹槽42。所述框架28為圓環形框架28或者橢圓環形框架28或者長方環形框架28。所述作業柜1上設置進水管11，所述進水管11位于水槽3的上側，所述進水管11上設置噴頭12。本實施例的有益效果在于：通過推動裝置可以將移動置物板4由第一升降置物架21直接移動至第二升降置物架31上，無需直接接觸芯片和清洗液，提高操作安全性，同時芯片是放置在移動置物板4上的，無需一個一個的取出芯片進行水洗，簡單方便，提高工作效率。