一種藍寶石襯底清洗籃裝置的制作方法

本發明涉及一種藍寶石襯底清洗籃裝置。

背景技術：

藍寶石（Sapphire）晶體具有優良的光學性能、物理性能和穩定的化學性能。廣泛應用于高亮度LED襯底材料、各種光學元器件、掃描儀窗口材料。

目前藍寶石作為襯底時，需要藍寶石清洗籃對其進行清洗。現有技術中，需要對藍寶石襯底進行酸洗和堿洗，傳統的藍寶石清洗籃分為兩種，分別為酸洗用和堿洗用，一方面由于酸堿洗的清洗籃在制作材料上不能通用，另一方面在工藝要求上，清洗籃邊角容易殘留洗液，混用會產生交叉污染，影響清洗效果，因此并不能混用。

目前市場上的藍寶石襯底晶舟盒尺寸繁多，一般有2寸、4寸、6寸的規格，對于不同尺寸的藍寶石襯底晶舟盒，一般采用的清洗籃尺寸也不一致，在清洗時需要不同規格大小的清洗籃，多種類的清洗籃占加工成本較高。不能實現通用，加工效率低下。

技術實現要素：

為克服現有技術的缺陷，本發明的目的在于提供一種藍寶石襯底清洗籃裝置，使得晶棒檢驗時方便簡單。

本發明解決技術問題采用如下技術方案：

一種藍寶石襯底清洗籃裝置，其特征在于，包括底部橫欄、側板以及端板，所述底部橫欄數量為六個，所述側板數量為兩個，所述端板數量為兩個；所述兩個側板呈相對設置，所述側板位于所述底部橫欄兩側，所述六個底部橫欄呈均勻分布；兩個所述端板分別對稱設置于所述側板兩端位置，所述端板與側板相互連接；

所述底部橫欄上表面呈斜面倒角結構，所述底部橫欄上設有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽數量為兩個，其截面為方形結構，設置于所述底部橫欄兩端，所述第二凹槽數量為兩個，其截面為方形結構，對稱設置于所述底部橫欄中間位置，所述第一凹槽與第二凹槽的底面均呈斜面倒角結構，所述第一凹槽與第二凹槽呈相鄰設置；

所述側板呈長方形板體結構，所述側板頂部設有側板倒角；所述側板上設有第一流動孔和第二流動孔，所述第一流動孔數量為3個，呈橫向均勻分布在側板上部位置，所述第一流動孔呈方形，其四周邊角呈弧形倒角結構；所述第二流動孔數量為一個，呈橫向設置于側板下部位置，所述第二流動孔位于所述三個第一流動孔下方位置，所述第二流動孔呈長方形，所述第二流動孔底部呈傾斜倒角結構；

所述端板呈方形結構，所述端板頂部設置有U型槽，所述U型槽四周呈弧形倒角結構；所述端板頂部設置端板倒角；每個所述端板上設置有兩個掛鉤，所述掛鉤呈圓柱形，其中一個掛鉤上設置有感應器。

上述一種藍寶石襯底清洗籃裝置，其特征在于，所述感應器為無線位移傳感器。

上述一種藍寶石襯底清洗籃裝置，其特征在于，所述底部橫欄頂部倒角角度與所述底部橫欄的第一凹槽與第二凹槽的底面斜面倒角角度一致。

上述一種藍寶石襯底清洗籃裝置，其特征在于，所述底部橫欄、側板以及端板均由聚四氟乙烯PVF材料構成。

上述一種藍寶石襯底清洗籃裝置，其特征在于，所述底部橫欄、側板以及端板之間通過PVF無縫焊接相互連接。

與已有技術相比，本發明的有益效果體現在：

采用六根橫欄設計，一方面用于固定清洗籃的兩邊，使得在長時間使用后，而不會產生變形；另一方面在橫欄上開設多個多種的凹槽，多個凹槽相互組合適用于擺放不同尺寸的藍寶石襯底晶舟盒，不同尺寸的藍寶石襯底晶舟盒可以正好卡合在凹槽內，清洗時不會出現抖動的情況。

底部橫欄以及側板、端板上采用傾斜倒角以及弧形倒角設計，當清洗結束，提籃后附著在橫欄、側板、端板上的清洗液能夠隨斜面或弧形斜面自動滑落，降低清洗籃上的清洗液殘留，避免清洗過程中造成不同槽體間的交叉污染，影響清洗效果。

在側板上獨特設計多種流通孔，并在端板上設置U型槽，一方面保證在清洗過程中清洗液的流動性；另方面保證在超聲清洗中，不會阻擋超聲波，使得清洗能力的最大化。

在接縫處的焊接同樣采用PVF材質進行無縫焊接，一方面保證清洗籃的穩定性，在長時間作業過程中而不會變形；而不采用金屬材質是避免被清洗液腐蝕。特殊的PVF材質無臭，無毒，具有高點絕緣性能，高堅韌性，抗老化，耐腐蝕，能夠耐-73～+121度，做到耐酸耐堿，首先做到了能夠實現酸堿通用的性能。

附圖說明

圖1為本專利立體圖。

圖2為本專利俯視圖。

圖3為本專利主視圖。

圖4為本專利端板主視圖。

圖5為本專利側板立體圖。

圖6為本專利側板側視圖。

圖7為本專利底部橫欄立體圖。

圖8為本專利底部橫欄主視圖。

圖9為本專利底部橫欄A-A向截面圖。

圖10為本專利端板左視圖。

附圖標記：

底部橫欄1、第一凹槽11、第二凹槽12、2寸藍寶石襯底晶舟盒卡槽13、4寸藍寶石襯底晶舟盒卡槽14、6寸藍寶石襯底晶舟盒卡槽15、底部橫欄上表面斜面倒角16、底部橫欄第一凹槽及第二凹槽的底面倒角17、

側板2、側板倒角21、第一流動孔22、第一流動孔弧形倒角25、第二流動孔23、第二流動孔底部倒角24、

端板3、U型槽31、端板倒角32、掛鉤33、感應器34、U型槽弧形倒角35。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步說明。

實施例

一種藍寶石襯底清洗籃裝置，其特征在于，包括底部橫欄、側板以及端板，所述底部橫欄數量為六個，所述側板數量為兩個，所述端板數量為兩個；所述兩個側板呈相對設置，所述側板位于所述底部橫欄兩側，所述六個底部橫欄呈均勻分布；兩個所述端板分別對稱設置于所述側板兩端位置，所述端板與側板相互連接；

所述底部橫欄上表面呈斜面倒角結構，所述底部橫欄上設有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽數量為兩個，其截面為方形結構，設置于所述底部橫欄兩端，所述第二凹槽數量為兩個，其截面為方形結構，對稱設置于所述底部橫欄中間位置，所述第一凹槽與第二凹槽的底面均呈斜面倒角結構，所述第一凹槽與第二凹槽呈相鄰設置；所述底部橫欄上表面斜面倒角角度為30±5度，所述底部橫欄第一、第二凹槽的底面倒角角度為30±5度；

所述一個第一凹槽與其相鄰的一個第二凹槽相組合，作為2寸藍寶石襯底晶舟盒卡槽，該卡槽寬度為60±2mm。

所述兩個第二凹槽相互組合，作為4寸藍寶石襯底晶舟盒卡槽，該卡槽寬度為110±2mm。

所述底部橫欄兩端的兩個第一凹槽相互組合，作為6寸藍寶石襯底晶舟盒卡槽，該卡槽寬度為155±2mm。

所述側板呈長方形板體結構，所述側板頂部設有側板倒角，所述側板倒角角度為30±5度；所述側板上設有第一流動孔和第二流動孔，所述第一流動孔數量為3個，呈橫向均勻分布在側板上部位置，所述第一流動孔呈方形，其四周邊角呈弧形倒角結構；所述第二流動孔數量為一個，呈橫向設置于側板下部位置，所述第二流動孔位于所述三個第一流動孔下方位置，所述第二流動孔呈長方形，所述第二流動孔底部呈傾斜倒角結構，所述第二流動孔底部倒角角度為30±5度；

所述端板呈方形結構，所述端板頂部設置有U型槽，所述U型槽四周均呈弧形倒角結構；所述端板頂部設置端板倒角，所述端板倒角角度為30±5度；每個所述端板上設置有兩個掛鉤，所述掛鉤呈圓柱形，其中一個掛鉤上設置有感應器。

所述感應器為無線位移傳感器。所述底部橫欄頂部倒角角度與所述底部橫欄的第一凹槽與第二凹槽的底面斜面倒角角度一致。所述底部橫欄、側板以及端板均由聚四氟乙烯PVF材料構成。所述底部橫欄、側板以及端板之間通過PVF無縫焊接相互連接。

與已有技術相比，本發明的有益效果體現在：

采用六根橫欄設計，一方面用于固定清洗籃的兩邊，使得在長時間使用后，而不會產生變形；另一方面在橫欄上開設多個多種的凹槽，多個凹槽相互組合適用于擺放不同尺寸的藍寶石襯底晶舟盒，不同尺寸的藍寶石襯底晶舟盒可以正好卡合在凹槽內，清洗時不會出現抖動的情況。

底部橫欄以及側板、端板上采用傾斜倒角以及弧形倒角設計，當清洗結束，提籃后附著在橫欄、側板、端板上的清洗液能夠隨斜面或弧形斜面自動滑落，降低清洗籃上的清洗液殘留，避免清洗過程中造成不同槽體間的交叉污染，影響清洗效果。

在側板上獨特設計多種流通孔，并在端板上設置U型槽，一方面保證在清洗過程中清洗液的流動性；另方面保證在超聲清洗中，不會阻擋超聲波，使得清洗能力的最大化。

在接縫處的焊接同樣采用PVF材質進行無縫焊接，一方面保證清洗籃的穩定性，在長時間作業過程中而不會變形；而不采用金屬材質是避免被清洗液腐蝕。特殊的PVF材質無臭，無毒，具有高點絕緣性能，高堅韌性，抗老化，耐腐蝕，能夠耐-73～+121度，做到耐酸耐堿，首先做到了能夠實現酸堿通用的性能。

以上所述，僅為本發明較佳的具體實施方式，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發明揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本發明的保護范圍內。因此，本發明的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。