本實用新型涉及一種圖形化藍寶石襯底加工用的承載臺裝置。
背景技術：
藍寶石晶體是目前半導體照明產業發展過程中使用最為廣泛的襯底材料，藍寶石具有高強度、高熔點、物理化學性能穩定等特性，在軍事、航天航空、光學、生物、分析、半導體基片以及在高速信息處理、電子光子裝置的微型化、智能化方面得到廣泛的應用。藍寶石襯底對于制作LED芯片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題。通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優點：首先，藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好；其次，藍寶石的穩定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最后，藍寶石的機械強度高，易于處理和清洗，因此大多數工藝一般都以藍寶石作為襯底。而現有的用于圖形化藍寶石襯底加工的承載臺多是采用平面接觸，且加工過程中產生的雜質易落于承載臺上，影響圖形化藍寶石襯底加工，需時時清理，其加大了工作人員的勞動力，且大大的影響圖形化藍寶石襯底的加工效率。
技術實現要素：
本實用新型的目的是克服上述缺陷，提供的一種圖形化藍寶石襯底加工用的承載臺裝置。
為實現上述目的，本實用新型采用如下方式進行。
一種圖形化藍寶石襯底加工用的承載臺裝置，包括承載臺板，其特征在于所述的承載臺板呈為圓形；所述的承載臺板工作面上設有圖形化藍寶石襯底支撐密封圈；所述的承載臺板工作面上還設有圖形化藍寶石襯底支撐塊，支撐塊位于支撐密封圈內，支撐塊端面與支撐密封圈端面平齊；所述的承載臺板上還設有真空吸孔與輔助吸孔，真空吸孔位于承載臺板中心位置，輔助吸孔位于支撐塊的間隙處。
優選的，所述的承載臺板設有若干個支撐塊，支撐塊均布于承載臺板上的支撐密封圈內。
優選的，所述的輔助吸孔以環形陣列式分布于承載臺板上。
本實用新型的有益效果是：
提供一種圖形化藍寶石襯底加工用的承載臺裝置，承載臺與圖形化藍寶石襯底采用點與線的接觸方式，使圖形化藍寶石襯底加工時產生的雜質落于支撐塊的間隙處，加工時的圖形化藍寶石襯底與雜質零接觸，以達到加長承載臺板的使用時間及清理周期，提高生產效率，節省勞動力的目的。
附圖說明
圖1為本實用新型提出的一種圖形化藍寶石襯底加工用的承載臺裝置的結構示意圖。
圖中：1承載臺板、2支撐密封圈、3輔助吸孔、4支撐塊、5真空吸孔。
具體實施方式
下面結合附圖和具體實施例對本實用新型的一種圖形化藍寶石襯底加工用的承載臺裝置作進一步的描述。
如圖所示，一種圖形化藍寶石襯底加工用的承載臺裝置，包括承載臺板1，其特征在于所述的承載臺板1呈為圓形；所述的承載臺板1工作面上設有圖形化藍寶石襯底支撐密封圈2；所述的承載臺板1工作面上還設有圖形化藍寶石襯底支撐塊4，支撐塊4位于支撐密封圈2內，支撐塊4端面與支撐密封圈（2）端面平齊；所述的承載臺板1上還設有真空吸孔5與輔助吸孔3，真空吸孔5位于承載臺板1中心位置，輔助吸孔3位于支撐塊4的間隙處。
工作原理：圖形化藍寶石襯底加工時，將圖形化藍寶石襯底放置承載臺上，與承載臺板1上的支撐密封圈2與支撐塊4形成點線接觸，再利用真空吸孔5與輔助吸孔3將圖形化藍寶石襯底吸于承載臺板1上，對其進行加工，加工時產生的雜質落于支撐塊4的間隙處，使圖形化藍寶石襯底與雜質零接觸，以達到加長承載臺板1的使用時間及清理周期，提高生產效率，節省勞動力的目的。
以上所述的實施例，只是本實用新型較典型的具體實施方式的一種，本領域的技術人員在本實用新型技術方案范圍內進行的通常變化和替換都應包含在本實用新型的操作范圍內。