一種圖形化藍寶石襯底檢驗用的除靜電裝置的制作方法

本實用新型涉及藍寶石晶體技術領域，尤其涉及一種圖形化藍寶石襯底檢驗用的除靜電裝置。

背景技術：

藍寶石晶體是目前半導體照明產業發展過程中使用最為廣泛的襯底材料，藍寶石具有高強度、高熔點、物理化學性能穩定等特性，在軍事、航天航空、光學、生物、分析、半導體基片以及在高速信息處理、電子光子裝置的微型化、智能化方面得到廣泛的應用。藍寶石襯底對于制作LED芯片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題。通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優點：首先，藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好；其次，藍寶石的穩定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最后，藍寶石的機械強度高，易于處理和清洗，因此大多數工藝一般都以藍寶石作為襯底。而在圖形化藍寶石襯底檢驗時，藍寶石襯底表面附帶的靜電影響檢測的結果，因此需要設置除靜電機構消除靜電。

技術實現要素：

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種圖形化藍寶石襯底檢驗用的除靜電裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案。

一種圖形化藍寶石襯底檢驗用的除靜電裝置，包括固定座，所述固定座的一側開設有進料口，所述固定座的另一側開設有出料口，所述固定座的頂端設有開口，所述固定座上還設有放置腔，且放置腔、進料口、開口和出料口相連通，所述放置腔內設有支撐架，所述支撐架上設有傳送機構，其中傳送機構包括傳送帶、轉軸和轉動電機，轉軸轉動連接于支撐架的內壁之間，傳送帶套設于轉軸上，且轉軸與轉動電機的輸出軸連接，所述固定座的底端兩側均設有支撐柱，所述固定座的頂端一側設有豎直設置的固定板，所述固定板靠近固定座的一側設有水平設置的支撐板，所述支撐板的頂端安裝有高壓發生器，所述支撐板的底端分別安裝有紅外線傳感器和防護套，所述防護套內套設有靜電棒，所述靜電棒與高壓發生器的接地線相通接大地地線。

優選的，所述放置腔內還設有控制裝置，其中控制裝置為80C51式通用型單片機，且控制裝置的輸入端與紅外線傳感器連接，控制裝置的輸出端與轉動電機連接。

優選的，所述進料口和出料口的頂端所處水平高度大于傳送帶的頂端所處水平高度。

優選的，所述固定座的底端兩側均設有通孔，所述支撐架的四個支腳分別通過通孔延伸至固定座的下方，且支撐架的四個支腳與通孔的內壁滑動連接。

優選的，所述支撐柱的底端所處高度與支撐架的底端所處高度相同。

優選的，所述靜電棒與傳送帶頂端之間的距離為2cm-5cm。

本實用新型的有益效果是：通過傳送機構自動化傳送藍寶石襯底，方便進行藍寶石襯底的批量檢測，提高檢測效率；通過紅外線傳感器實時監測圖形化藍寶石襯底的傳送位置，方便在檢測到靜電棒下方有藍寶石襯底時，利用靜電棒將高壓感應到放電針上形成強大的電場電離空氣，產生大量的負離子中和藍寶石襯底表面的靜電，有效提高檢測結果。本實用新型設計布局合理，智能化程度高，方便消除藍寶石襯底表面的靜電，同時提高檢測結果和檢測效率。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種圖形化藍寶石襯底檢驗用的除靜電裝置的主視結構示意圖。

圖2為本實用新型提出的一種圖形化藍寶石襯底檢驗用的除靜電裝置的側視結構示意圖。

圖中：1固定座、2進料口、3支撐柱、4固定板、5高壓發生器、6紅外線傳感器、7支撐板、8防護套、9靜電棒、10開口、11支撐架、12傳送機構、13出料口、14通孔。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

參照圖1-2，一種圖形化藍寶石襯底檢驗用的除靜電裝置，包括固定座1，固定座1的一側開設有進料口2，固定座1的另一側開設有出料口13，固定座1的頂端設有開口10，固定座1上還設有放置腔，且放置腔、進料口2、開口10和出料口13相連通，放置腔內設有支撐架11，支撐架11上設有傳送機構12，其中傳送機構12包括傳送帶、轉軸和轉動電機，轉軸轉動連接于支撐架11的內壁之間，傳送帶套設于轉軸上，且轉軸與轉動電機的輸出軸連接，固定座1的底端兩側均設有支撐柱3，固定座1的頂端一側設有豎直設置的固定板4，固定板4靠近固定座1的一側設有水平設置的支撐板7，支撐板7的頂端安裝有高壓發生器5，支撐板7的底端分別安裝有紅外線傳感器6和防護套8，防護套8內套設有靜電棒9，靜電棒9與高壓發生器5的接地線相通接大地地線。

放置腔內還設有控制裝置，其中控制裝置為80C51式通用型單片機，且控制裝置的輸入端與紅外線傳感器6連接，控制裝置的輸出端與轉動電機連接，進料口2和出料口13的頂端所處水平高度大于傳送帶的頂端所處水平高度，固定座1的底端兩側均設有通孔14，支撐架11的四個支腳分別通過通孔14延伸至固定座1的下方，且支撐架11的四個支腳與通孔14的內壁滑動連接，支撐柱3的底端所處高度與支撐架11的底端所處高度相同，靜電棒9與傳送帶頂端之間的距離為2cm-5cm。

工作原理：工作時，通過傳送機構12上的轉動電機驅動傳送帶轉動，進而自動化傳送藍寶石襯底，方便進行藍寶石襯底的批量檢測，提高檢測效率；通過紅外線傳感器6實時監測圖形化藍寶石襯底的傳送位置，一旦檢測到有藍寶石襯底時，紅外線傳感器6將信號傳輸至控制裝置，控制裝置控制轉動電機停止輸出，同時利用靜電棒9將高壓感應到放電針上形成強大的電場電離空氣，產生大量的負離子中和藍寶石襯底表面的靜電，有效提高檢測結果。

以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的操作范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，根據本實用新型的技術方案及其實用新型構思加以等同替換或改變，都應涵蓋在本實用新型的操作范圍之內。