彈性波裝置以及濾波器裝置的制作方法

本發明涉及彈性波裝置以及濾波器裝置。

背景技術：

1、以往，彈性波裝置被廣泛用于便攜式電話機的濾波器等。在下述的專利文獻1中公開了彈性波裝置的一例。在該彈性波裝置中，在壓電基板上設置有idt（interdigitaltransducer，叉指換能器）電極。idt電極的多個電極指的形狀包括曲線的形狀。更具體而言，各電極指從idt電極交叉的區域的中央到公共電極為止沿著曲線延伸。

2、在先技術文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：國際公開第2011/108229號

技術實現思路

1、發明要解決的問題

2、在專利文獻1所記載的彈性波裝置的idt電極中，多個電極指延伸的方向上的中央的部分的電極指間距比該方向上的端部的電極指間距窄。因此，可得到在一定程度上抑制無用波的響應的效果。但是，由于諧振頻率按idt電極的每個部分而不同，因此諧振特性有可能劣化。并且，不能充分抑制無用波。

3、本發明的目的在于提供能夠充分抑制通帶外的無用波以及橫模式并且能夠抑制諧振特性的劣化的彈性波裝置以及濾波器裝置。

4、用于解決問題的技術方案

5、在本發明涉及的彈性波裝置的某個廣泛方面中，具備：壓電性基板，包括壓電體層；和idt電極，設置在所述壓電體層上，所述idt電極具有相互對置的第1匯流條以及第2匯流條、一端與所述第1匯流條連接的多個第1電極指、和一端與所述第2匯流條連接的多個第2電極指，所述多個第1電極指以及所述多個第2電極指彼此相互交錯對插，將通過連結所述多個第2電極指的頂端而形成的假想線設為第1包絡線，將通過連結所述多個第1電極指的頂端而形成的假想線設為第2包絡線，所述idt電極中的、所述第1包絡線以及所述第2包絡線之間的區域是交叉區域，俯視下的所述多個第1電極指以及所述多個第2電極指的形狀分別在所述交叉區域中包括所述第1電極指以及所述第2電極指彎曲的方向不同的至少兩個曲線狀的部分，在所述交叉區域中，越是靠近所述第1包絡線或者所述第2包絡線的部分，占空比、電極指間距和所述多個第1電極指以及所述多個第2電極指的厚度之中至少任一者的值越向變大的方向以及變小的方向之中的一者變化。

6、在本發明涉及的彈性波裝置的其他廣泛方面中，具備：壓電性基板，包括壓電體層；和idt電極，設置在所述壓電體層上，所述idt電極具有相互對置的第1匯流條以及第2匯流條、一端與所述第1匯流條連接的多個第1電極指、和一端與所述第2匯流條連接的多個第2電極指，所述多個第1電極指以及所述多個第2電極指彼此相互交錯對插，將通過連結所述多個第2電極指的頂端而形成的假想線設為第1包絡線，將通過連結所述多個第1電極指的頂端而形成的假想線設為第2包絡線，所述idt電極中的、所述第1包絡線以及所述第2包絡線之間的區域是交叉區域，俯視下的所述多個第1電極指以及所述多個第2電極指的形狀分別包括至少兩個圓弧或者橢圓弧的形狀，并且具有至少一個拐點，所述交叉區域包括俯視下的所述多個第1電極指以及所述多個第2電極指的形狀分別為單一的圓弧或者橢圓弧的形狀的至少兩個曲線區域，所述交叉區域具有包括所述第1包絡線的第1邊緣區域、包括所述第2包絡線的第2邊緣區域、和由所述第1邊緣區域以及所述第2邊緣區域夾著的中央區域，在所述第1邊緣區域以及所述第2邊緣區域之中的至少一者，構成了聲速比所述中央區域中的聲速低的低聲速區域，在將各個所述曲線區域中包括所述第1電極指以及所述第2電極指的形狀中的所述圓弧的圓的中心或者包括所述橢圓弧的橢圓的兩個焦點的中點設為定點、并且將各個所述曲線區域的位于所述中央區域的區域中的穿過所述定點的任意直線上的部分設為激勵部時，越是靠近所述第1包絡線或者所述第2包絡線的所述激勵部，占空比、電極指間距和所述多個第1電極指以及所述多個第2電極指的厚度之中至少任一者的值越向變大的方向以及變小的方向之中的一者變化。

7、本發明涉及的濾波器裝置具備多個彈性波諧振器，至少一個所述彈性波諧振器是按照本發明而構成的彈性波裝置。

8、發明效果

9、根據本發明涉及的彈性波裝置以及濾波器裝置，能夠充分抑制通帶外的無用波以及橫模式，并且能夠抑制諧振特性的劣化。

技術特征：

1.一種彈性波裝置，具備：

2.根據權利要求1所述的彈性波裝置，其中，

3.根據權利要求2所述的彈性波裝置，其中，

4.一種彈性波裝置，具備：

5.根據權利要求4所述的彈性波裝置，其中，

6.根據權利要求4或5所述的彈性波裝置，其中，

7.根據權利要求4至6中任一項所述的彈性波裝置，其中，

8.根據權利要求3至7中任一項所述的彈性波裝置，其中，

9.根據權利要求3至7中任一項所述的彈性波裝置，其中，

10.根據權利要求8或9所述的彈性波裝置，其中，

11.根據權利要求8至10中任一項所述的彈性波裝置，其中，

12.根據權利要求8至10中任一項所述的彈性波裝置，其中，

13.根據權利要求8至12中任一項所述的彈性波裝置，其中，

14.根據權利要求8至12中任一項所述的彈性波裝置，其中，

15.根據權利要求8至14中任一項所述的彈性波裝置，其中，

16.根據權利要求8至14中任一項所述的彈性波裝置，其中，

17.根據權利要求8至16中任一項所述的彈性波裝置，其中，

18.根據權利要求8至16中任一項所述的彈性波裝置，其中，

19.根據權利要求17所述的彈性波裝置，其中，

20.根據權利要求18所述的彈性波裝置，其中，

21.根據權利要求3至18中任一項所述的彈性波裝置，其中，

22.根據權利要求3至18中任一項所述的彈性波裝置，其中，

23.根據權利要求3至22中任一項所述的彈性波裝置，其中，

24.根據權利要求3至22中任一項所述的彈性波裝置，其中，

25.根據權利要求3至22中任一項所述的彈性波裝置，其中，

26.根據權利要求1至25中任一項所述的彈性波裝置，其中，

27.根據權利要求1至26中任一項所述的彈性波裝置，其中，

28.根據權利要求27所述的彈性波裝置，其中，

29.根據權利要求1至26中任一項所述的彈性波裝置，其中，

30.一種濾波器裝置，具備多個彈性波諧振器，

技術總結
提供一種彈性波裝置，能夠充分抑制通帶外的無用波以及橫模式，并且能夠抑制諧振特性的劣化。本發明的彈性波裝置具備包括壓電體層的壓電性基板和設置在壓電體層上的IDT電極（8）。IDT電極（8）具有相互對置的第1匯流條（14）以及第2匯流條（15）、一端與第1匯流條（14）連接的多個第1電極指（16）、和一端與第2匯流條（15）連接的多個第2電極指（17）。多個第1電極指（16）以及多個第2電極指（17）彼此相互交錯對插。將通過連結多個第2電極指（17）的頂端而形成的假想線設為第1包絡線（E1），將通過連結多個第1電極指（16）的頂端而形成的假想線設為第2包絡線（E2），IDT電極（8）中的、第1包絡線（E1）以及第2包絡線（E2）之間的區域是交叉區域（D）。俯視下的多個第1電極指（16）以及多個第2電極指（17）的形狀分別在交叉區域（D）中包括第1電極指（16）以及第2電極指（17）彎曲的方向不同的至少兩個曲線狀的部分。在交叉區域（D）中，越是靠近第1包絡線（E1）或者第2包絡線（E2）的部分，占空比、電極指間距和多個第1電極指（16）以及多個第2電極指（17）的厚度之中至少任一者的值越向變大的方向以及變小的方向之中的一者變化。

技術研發人員：中村健太郎,藪拓也,中川亮,大門克也
受保護的技術使用者：株式會社村田制作所
技術研發日：
技術公布日：2025/3/13