彈性波裝置的制作方法

本發明涉及彈性波裝置。

背景技術：

1、以往，彈性波裝置被廣泛用于便攜式電話機的濾波器等。近年來，提出了像在下述的專利文獻1記載的那樣的使用了厚度剪切模式的體波的彈性波裝置。在該彈性波裝置中，在支承體上設置有壓電層。在壓電層上設置有成對的電極。成對的電極在壓電層上相互對置，并且與彼此不同的電位連接。通過在上述電極間施加交流電壓，從而激勵厚度剪切模式的體波。

2、在先技術文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：美國專利第10491192號說明書

技術實現思路

1、發明要解決的問題

2、所謂彈性波裝置，例如為彈性波諧振器，例如用于梯型濾波器。為了在梯型濾波器中得到良好的特性，需要在多個彈性波諧振器間增大靜電電容比。在該情況下，需要增大梯型濾波器中的一部分的彈性波諧振器的靜電電容。

3、為了增大彈性波諧振器的靜電電容，例如，需要使彈性波諧振器變得大型。因而，在將該彈性波諧振器用于梯型濾波器的情況下，梯型濾波器往往會變得大型。特別是，具有靜電電容小的、利用厚度剪切模式的體波的彈性波諧振器的梯型濾波器會大型化。

4、本發明的發明人們發現了如下內容，即，通過將彈性波裝置的結構設為以下的結構，從而在將彈性波裝置用于濾波器裝置的情況下，可在不使其大型化的情況下得到合適的濾波器波形。所謂該結構，是如下的結構，即，在連接于輸入電位的電極與連接于輸出電位的電極之間，配置連接于基準電位等與輸入電位以及輸出電位不同的電位的電極。

5、除此以外，本發明的發明人們還發現了如下內容，即，只是采用上述結構，也有可能無法充分地減小插入損耗。

6、本發明的目的在于，提供一種能夠推進濾波器裝置的小型化并且能夠減小插入損耗的彈性波裝置。

7、用于解決問題的技術方案

8、在本發明涉及的彈性波裝置的某個寬泛的方面中，具備：壓電膜，包含包括鈮酸鋰的壓電層；第1梳形電極，設置在所述壓電層上，并具有第1匯流條和一端分別與所述第1匯流條連接的多個第1電極指；第2梳形電極，設置在所述壓電層上，并具有第2匯流條和一端分別與所述第2匯流條連接并且與所述多個第1電極指相互交錯對插的多個第2電極指；以及第3電極，具有多個第3電極指和將相鄰的所述第3電極指彼此連接的連接電極，并連接于與所述第1梳形電極以及所述第2梳形電極不同的電位，其中，所述多個第3電極指分別設置在所述壓電層上，使得在俯視時與所述第1電極指以及所述第2電極指排列在所述第1電極指和所述第2電極指排列的方向上，所述第1梳形電極以及所述第2梳形電極中的一者與輸入電位連接，所述第1梳形電極以及所述第2梳形電極中的另一者與輸出電位連接，關于所述第1電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指排列的順序，在從所述第1電極指開始的情況下，是將所述第1電極指、所述第3電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指作為一個周期的順序，所述連接電極將相鄰的所述第3電極指的至少所述第1匯流條側的前端彼此連接，所述連接電極至少位于所述第1匯流條與所述多個第2電極指的前端之間，將所述第1電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指延伸的方向設為電極指延伸方向，將與所述電極指延伸方向正交的方向設為電極指正交方向，在俯視時，在所述電極指延伸方向上位于所述多個第2電極指的前端與所述連接電極之間并在所述電極指正交方向上延伸的區域為第1間隙區域，位于該連接電極與所述第1匯流條之間并在所述電極指正交方向上延伸的區域為第2間隙區域，在俯視時，在所述電極指延伸方向上位于所述多個第1電極指的前端與所述第2匯流條之間且不包含所述連接電極并且在所述電極指正交方向上延伸的區域、所述第1間隙區域以及所述第2間隙區域中的至少任一者的至少一部分設置有質量附加膜。

9、在本發明涉及的彈性波裝置的另一個寬泛的方面中，具備：壓電膜，包含包括鈮酸鋰的壓電層；第1梳形電極，設置在所述壓電層上，并具有第1匯流條和一端分別與所述第1匯流條連接的多個第1電極指；第2梳形電極，設置在所述壓電層上，并具有第2匯流條和一端分別與所述第2匯流條連接并且與所述多個第1電極指相互交錯對插的多個第2電極指；以及第3電極，具有多個第3電極指和將相鄰的所述第3電極指彼此連接的連接電極，并連接于與所述第1梳形電極以及所述第2梳形電極不同的電位，其中，所述多個第3電極指分別設置在所述壓電層上，使得在俯視時與所述第1電極指以及所述第2電極指排列在所述第1電極指和所述第2電極指排列的方向上，所述第1梳形電極以及所述第2梳形電極中的一者與輸入電位連接，所述第1梳形電極以及所述第2梳形電極中的另一者與輸出電位連接，關于所述第1電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指排列的順序，在從所述第1電極指開始的情況下，是將所述第1電極指、所述第3電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指作為一個周期的順序，所述連接電極將相鄰的所述第3電極指的至少所述第1匯流條側的前端彼此連接，所述連接電極至少位于所述第1匯流條與所述多個第2電極指的前端之間，將所述第1電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指延伸的方向設為電極指延伸方向，將與所述電極指延伸方向正交的方向設為電極指正交方向，在俯視時，在所述電極指延伸方向上位于所述多個第2電極指的前端與所述連接電極之間并在所述電極指正交方向上延伸的區域為第1間隙區域，位于該連接電極與所述第1匯流條之間并在所述電極指正交方向上延伸的區域為第2間隙區域，在俯視時，在所述電極指延伸方向上位于所述多個第1電極指的前端與所述第2匯流條之間且不包含所述連接電極并且在所述電極指正交方向上延伸的區域、所述第1間隙區域以及所述第2間隙區域中的至少任一者中，在所述壓電膜設置有貫通孔，在俯視時，在設置有所述貫通孔的區域中，所述貫通孔位于未設置所述第1電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指的所有部分。

10、發明效果

11、根據本發明，能夠提供一種能夠推進濾波器裝置的小型化并且能夠減小插入損耗的彈性波裝置。

技術特征：

1.一種彈性波裝置，具備：

2.根據權利要求1所述的彈性波裝置，其中，

3.根據權利要求2所述的彈性波裝置，其中，

4.根據權利要求3所述的彈性波裝置，其中，

5.根據權利要求1所述的彈性波裝置，其中，

6.根據權利要求5所述的彈性波裝置，其中，

7.根據權利要求6所述的彈性波裝置，其中，

8.根據權利要求3、4、6或7中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

9.根據權利要求1～8中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

10.根據權利要求1～8中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

11.根據權利要求1～10中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

12.一種彈性波裝置，具備：

13.根據權利要求12所述的彈性波裝置，其中，

14.根據權利要求13所述的彈性波裝置，其中，

15.根據權利要求14所述的彈性波裝置，其中，

16.根據權利要求12所述的彈性波裝置，其中，

17.根據權利要求16所述的彈性波裝置，其中，

18.根據權利要求17所述的彈性波裝置，其中，

19.根據權利要求1～18中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

20.根據權利要求1～18中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

21.根據權利要求20所述的彈性波裝置，其中，

22.根據權利要求20或21所述的彈性波裝置，其中，

23.根據權利要求20或21所述的彈性波裝置，其中，

24.根據權利要求20～23中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

25.根據權利要求1～24中的任一項所述的彈性波裝置，其中，

技術總結
本發明提供一種能夠推進濾波器裝置的小型化并且能夠減小插入損耗的彈性波裝置。本發明涉及的彈性波裝置具備：壓電膜，包含包括鈮酸鋰的壓電層；第1梳形電極，設置在壓電層上，具有第1匯流條和多個第1電極指；第2梳形電極，具有第2匯流條和與多個第1電極指相互交錯對插的多個第2電極指；以及第3電極，具有多個第3電極指和將相鄰的第3電極指彼此連接的連接電極，并連接于與第1梳形電極以及第2梳形電極不同的電位，多個第3電極指分別設置在壓電層上，使得在俯視時與第1電極指以及第2電極指排列在第1電極指和第2電極指排列的方向上。關于第1電極指、第2電極指以及第3電極指排列的順序，在從第1電極指開始的情況下，是將第1電極指、第3電極指、第2電極指以及第3電極指作為一個周期的順序。在俯視時，在電極指延伸方向上位于多個第1電極指的前端與第2匯流條之間且不包含連接電極并且在電極指正交方向上延伸的區域、第1間隙區域（G1）以及第2間隙區域（G2）中的至少任一者的至少一部分設置有質量附加膜。

技術研發人員：大門克也,永友翔
受保護的技術使用者：株式會社村田制作所
技術研發日：
技術公布日：2025/3/13