在因多孔質支撐體97的撓曲而噴射點膠設備122和多孔質支撐體97表面之間的距離發生變化的情況下，所形成的層的厚度也不受到直接影響。因此，即使在多孔質支撐體97存在有制造誤差的情況下，也能夠將層形成為正確的厚度。
[0077]此外，在第I覆蓋層形成工序中，調整了點成膜裝置110的進給，以形成覆蓋層104的中央部變高的凸狀。即，在各覆蓋層104的形成開始時，通過加大點成膜裝置110的噴射點膠設備122的軸線方向的進給量，來減小所形成的點的軸線方向的重疊量，從而減薄所形成的覆蓋層104。其后，通過逐漸減小噴射點膠設備122的進給量，來增大所形成的點的重疊量，從而增厚覆蓋層104。在I個覆蓋層104的形成完成時，通過逐漸增大噴射點膠設備122的軸線方向的進給量來減小點的軸線方向的重疊量從而減薄覆蓋層104。如此，通過形成覆蓋層104的中央部高的凸狀，在下面的燃料極層形成工序中接觸的漿料從覆蓋層104之上迅速地流落到覆蓋層104之外。由此，能夠抑制很多的漿料在覆蓋層104上堆積，導致在不需要部分上形成燃料極層。
[0078]接下來，在步驟S4中，作為燃料極層形成工序，在步驟S3中形成有覆蓋層104的多孔質支撐體97上，對發電元件16a的功能層其中之一的燃料極層98進行成膜。具體而言，在第I面成膜工序即燃料極層形成工序中，用于形成燃料極的漿料從覆蓋層104之上與多孔質支撐體97接觸，從而燃料極層98被面成膜在沒有覆蓋層104的部分上。S卩，將在步驟S3中形成有覆蓋層104的多孔質支撐體97固定于面成膜裝置130的固定夾具132，一邊使多孔質支撐體97旋轉一邊由覆蓋層104之上對從下方的面成膜噴嘴136吐出的漿料進行涂布。因而，在燃料極層形成工序中，面成膜裝置130作為燃料極層形成裝置而發揮作用。
[0079]該燃料極層形成工序為在最下側進行面成膜的下層面成膜工序，且為對在I根多孔質支撐體97上形成的全部的發電元件16a的各燃料極層98同時進行面成膜的面成膜工序。如此，由于在燃料極層形成工序中，通過面成膜而形成燃料極層98，因此能夠平滑地形成燃料極層98的表面，而不會殘留點成膜的點痕。
[0080]在本實施方式中，在燃料極層形成工序中所使用的漿料為在醇系溶劑中懸濁有N1粉末及10YSZ粉末的混合物的液體，另一方面，形成覆蓋層104的覆蓋形成劑為疏油性。因此，雖然漿料從覆蓋層104之上與多孔質支撐體97整體接觸，但覆蓋層104上的漿料因覆蓋形成劑而被排斥(彈回)，從而在覆蓋層104之上不堆積。其結果，如圖10(b)所示，燃料極層的膜僅形成在無覆蓋層104的部分上。而且，如圖4所示，由于在多孔質支撐體97上堆積的漿料因疏油性的覆蓋形成劑而被排斥，從而不附著在覆蓋層104上，因此邊緣部因漿料的表面張力而以變圓的方式堆積。此外，雖然在本實施方式中作為覆蓋形成劑而使用了疏油性的材料，但根據使用的漿料，也可以使用疏水性的覆蓋形成劑。
[0081]而且，在燃料極層形成工序中，在燃料極層的膜被形成在多孔質支撐體97上后，實施有使堆積的漿料干燥的干燥工序(未圖示)。在本實施方式中，在干燥工序中，使漿料在約100°C下干燥約5分鐘。此外，在多孔質支撐體97上形成的覆蓋層104在干燥工序后也維持原狀。
[0082]接下來，在步驟S5中實施有煅燒工序。在煅燒工序中，利用加熱爐(未圖示)加熱在步驟S4中形成了燃料極層的膜的多孔質支撐體97，并進行煅燒。如圖10(c)所示，通過煅燒工序，在多孔質支撐體97上形成的覆蓋層104蒸發并消失，從而覆蓋層104之下的多孔質支撐體97被露出。在本實施方式中，燃料極層98通過加熱爐在約1000°C下被加熱約2小時，并被固化。該煅燒的N1/YSZ制的燃料極層98的顏色為大致淡綠色。
[0083]接下來，在步驟S6中作為第I互連器形成工序，在步驟S5中被煅燒的燃料極層98之上通過點成膜裝置110形成互連層。具體而言，在第I互連器形成工序中，互連層102的一部分即第I互連層102a通過點成膜而被形成。S卩，第I互連器形成工序為點成膜工序，通過將用于形成第I互連層102a的漿料形成為液滴狀并連續噴射于應形成第I互連層102a的區域，而在燃料極層98上的規定的區域中形成漿料的點，通過該點的聚集來形成第I互連層102a。因而，在第I互連器形成工序中，點成膜裝置110作為互連器形成裝置而發揮作用。此外，在本實施方式中，作為用于形成第I互連層102a的漿料，可以使用在醇系溶劑中懸濁有LSTNF的粉末的液體。
[0084]如圖10 (d)所示，第I互連層102a被形成在各燃料極層98上的一側的端部上。形成該第I互連層102a的部位的定位是基于圖像解析而執行的。S卩，用照相機126對被固定于點成膜裝置110的固定夾具116的多孔質支撐體97進行拍攝，并通過圖像解析來特定多孔質支撐體97上的形成有燃料極層98的部分和未形成部分的邊界線。基于該特定的邊界線的位置，第I互連層102a被點成膜在燃料極層98上的規定的區域內。該邊界線的特定是對每個在多孔質支撐體97上形成的各燃料極層98而執行的。
[0085]雖然在圖9的步驟S3的第I覆蓋形成工序中，以固定夾具116為基準而進行定位，但在第I互連器形成工序中，作為第I定位工序，使用圖像解析并基于各燃料極層98的位置而進行定位。因此，無論因煅燒而產生的多孔質支撐體97的收縮或多孔質支撐體97的安裝位置的變化，都能夠將第I互連層102a正確地與各燃料極層98對齊。此外，用于形成燃料極層98的覆蓋層104被形成為與多孔質支撐體97的旋轉中心線A正交。因此，燃料極層98的邊緣被形成為與旋轉中心線A正交，即使在任意的旋轉位置上拍攝多孔質支撐體97，燃料極層98和多孔質支撐體97的邊界線的位置也都固定，從而能夠將第I互連層102a的形成位置定位成單值。此外，在本實施方式中，由于多孔質支撐體97為大致白色，燃料極層98為淡綠色，因此亮度的對比度高，即使通過黑白的拍攝圖像也能夠正確地進行圖像解析。此外，通過基于黑白圖像而進行的圖像解析，能夠縮短圖像解析所需的處理時間。
[0086]而且，在第I互連器形成工序中，在第I互連層102a的膜被形成后，實施有使堆積的漿料干燥的干燥工序(未圖示)。在本實施方式中，在干燥工序中，在約100°C下使漿料干燥約10分鐘。
[0087]接下來，在步驟S7中實施有煅燒工序。在煅燒工序中，在步驟S6中形成有第I互連層102a的膜的多孔質支撐體97通過加熱爐(未圖示)被加熱，并被煅燒。通過該煅燒工序，在各燃料極層98上形成的第I互連層102a的膜被固化。在本實施方式中，第I互連層102a通過加熱爐在約1000°C下被加熱約2小時。該煅燒后的LSTNF制的第I互連層102a的顏色為大致茶色。
[0088]接下來，在步驟S8中作為第2覆蓋形成工序，在步驟S7中煅燒后的第I互連層102a上通過點成膜裝置110涂布覆蓋形成劑，形成覆蓋層106。S卩，第2覆蓋形成工序為點成膜工序，通過將覆蓋形成劑形成為液滴狀并連續噴射到應形成覆蓋層106的區域內，而在第I互連層102a上形成覆蓋形成劑的點，通過該點的聚集來形成覆蓋層106。
[0089]如圖10 (e)所示，在第I互連層102a上，覆蓋層106被形成為覆蓋第I互連層102a，但殘留其兩側的端部。作為第2定位工序，形成該覆蓋層106的位置的定位是使用點成膜裝置110的照相機126，通過圖像解析而執行的。由于第I互連層102a為茶色，多孔質支撐體97為大致白色，燃料極層98為淡綠色，因此亮度的對比度高，能夠根據拍攝圖像來正確地進行定位。該點成膜后的覆蓋層106在覆蓋形成劑涂布后被自然干燥。在第2覆蓋形成工序中使用的覆蓋形成劑與在第I覆蓋形成工序中使用的覆蓋形成劑相同。
[0090]接下來，在步驟S9中，作為電解質層形成工序，發電元件16a的功能層其中之一的電解質層100被成膜在步驟S8中形成有覆蓋層106的多孔質支撐體97上。具體而言，在第2面成膜工序即電解質層形成工序中，通過面成膜裝置130，用于形成電解質層的漿料從覆蓋層106之上與多孔質支撐體97接觸，進而電解質層100被面成膜在無覆蓋層106的部分上。因而，在電解質層形成工序中，面成膜裝置130作為電解質層形成裝置而發揮作用。該電解質層形成工序為在面成膜后的燃料極層98之上進行面成膜的上層面成膜工序，且為在I根多孔質支撐體97上形成的全部的發電元件16a的各電解質層100被同時面成膜的面成膜工序。
[0091]在本實施方式中，在電解質層形成工序中所使用的漿料為在醇系溶劑中懸濁有LSGM粉末的液體。雖然該漿料從覆蓋層106之上與多孔質支撐體97整體接觸，但漿料因覆蓋層106而被排斥，從而在覆蓋層106之上不堆積。其結果，如圖10(f)所示，電解質層100的膜僅形成在無覆蓋層106的部分上。即，多孔質支撐體97及燃料極層98的全部的露出部分、及第I互連層102a的未被覆蓋層106覆蓋的兩側的邊緣部分被電解質層100的膜覆至
ΠΠ ο
[0092]此外，如圖4所示，由于燃料極層98的邊緣部被形成為圓形，因此在其上層疊的電解質層100的漿料無間隙地進入到燃料極層98和多孔質支撐體97的邊界部，從而能夠防止電解質層100之下的空隙的發生。而且，由于應形成電解質層100的漿料因覆蓋層106而被排斥，從而不附著于覆蓋層106，因此邊緣部因表面張力而以變圓的方式堆積。在電解質層形成工序中，由于通過面成膜而形成電解質層100，因此能夠得到不產生點痕、且平滑的表面。此外，由于電解質層100被形成在面成膜后的燃料極層98之上，因此也不存在因下層的表面的凹凸而損害平滑性的現象。
[0093]而且，在電解質層形成工序中，在電解質層100的膜被形成在多孔質支撐體97上后，實施有使堆積的漿料干燥的干燥工序(未圖示)。在本實施方式中，在干燥工序中，在約100°C下使漿料干燥約5分鐘。此外，在多孔質支撐體97上形成的覆蓋層106在干燥工序后也維持原狀。
[0094]接下來，在步驟SlO中實施有煅燒工序。在煅燒工序中，在步驟SlO中形成有電解質層100的膜的多孔質支撐體97通過加熱爐(未圖示)而被加熱，并被煅燒。如圖10(g)所示，通過煅燒工序，在第I互連層102a上形成的覆蓋層106蒸發且消失。由此，第I互連層102a的被覆蓋層106覆蓋的部分露出。在本實施方式中，電解質層100通過加熱爐在約1000°C下被加熱約2小時，并被固化。該煅燒后的LSGM制的電解質層100的顏色為大致膚色。
[0095]接下來，在步驟Sll中，作為第2互連器形成工序，以與步驟SlO中的通過煅燒而露出的第I互連層102a進行電連接的方式而形成第2互連層。具體而言，如圖10(h)所示，在第2互連器形成工序中，通過點成膜裝置110形成有第2互連層102b，以覆蓋露出的第I互連層102a、及與露出部分鄰接的電解質層100的邊緣部。S卩，第2互連器形成工序為點成膜工序，其通過將用于形成第2互連層102b的漿料形成為液滴狀并連續噴射到應形成第2互連層102b的區域內，而在規定的區域內形成漿料的點，并通過該點的聚集來形成第2互連層102b。因而，在第2互連器形成工序中，點成膜裝置110作為互連器形成裝置而發揮作用。
[0096]在本實施方式中，作為用于形成第2互連層102b的漿料，可以使用在醇系溶劑中懸濁有SLT的粉末的液體。如此，在本實施方式中，第I互連層102a和第2互連層102b由不同的材料形成。而且，在第2互連器形成工序中，在形成第2互連層102b的膜后，實施有使堆積的漿料干燥的干燥工序(未圖示)。在本實施方式中，在干燥工序中，在約100°C下使漿料干燥約10分鐘。此外，作為第3定位工序，第2互連器形成工序中的形成第2互連層102b的部分的定位是使用圖像解析而執行的。在第3定位工序中，基于煅燒后的第I互連層102a與電解質層100的顏色的差異而特定了它們的邊界線。
[0097]接下來，在步驟S12中實施有第I燒成工序。在第I燒成工序中，到步驟Sll為止形成的多孔質支撐體97、燃料極層98、電解質層100、第I互連層102a、及第2互連層102b通過加熱爐(未圖示)而被加熱，并被燒成。由此，多孔質支撐體97、及在其上形成的各功能層被一體化。在本實施方式中，在第I燒成工序中，通過加熱爐在約1300°C下加熱約2小時。此外，在本實施方式中，在第I燒成工序后電解質層100為大致黑色，第2互連層102b也為黑色，但在電解質層100上重疊的第2互連層102b端部為大致白色。
[0098]接下來，在步驟S13中，作為空氣極層形成工序，在