，通過機械的方式保持與處理室右部二層63在一個水平面；上升動作完成之后，通過時間限定(例如I秒)來使處理室右部二層63的水平向傳動裝置使基板從右向左傳輸一直到達處理室左部二層43的升降機內。當處理室右部二層63最左邊的水平方向的撥動傳感器檢測到玻璃離開后，升降機向下執行下降的動作并與處理室右部一層62保持水平(通過機械限制的方式確保)，處理室右部一層62的水平向傳動裝置開動，使處理室中部一層52的基板可以流進該位置。處理室左部二層43升降機的水平方向的撥動傳感器檢測到基板到達以后。向上執行上升動作與處理室左部三層44保持水平(機械限制確保水平)，上升指令執行后規定時間(例如I秒)后，處理室左部三層44水平向傳動裝置使基板從左向右流動；同時當處理室左部三層44的水平向的撥片傳感器檢測到玻璃離開后，升降機向下執行下降的動作并與處理室左部二層43保持水平，處理室左部二層43水平向傳動裝置開動，使處理室右部二層63的基板可以流進該工位。處理室右部三層64工位最右端的水平方向的撥動式傳感器檢測到基板時，該升降裝置執行上升動作，通過機械的方式保持與處理室右部三層64在一個水平面；上升動作完成之后，通過時間限定(例如I秒)來使處理室右部三層64的水平向傳動裝置使基板從右向左傳輸一直到達處理室左部三層44的升降機內。當處理室右部四層65最左邊的水平方向的撥動傳感器檢測到玻璃離開后，升降機向下執行下降的動作并與處理室右部三層64保持水平(通過機械限制的方式確保)，處理室右部三層64的水平向傳動裝置開動，使處理室中部三層54的基板可以流進該位置。處理室左部四層45升降機的水平方向的撥動傳感器檢測到基板到達以后。向上執行上升動作與處理室左部頂層保持水平(機械限制確保水平)，上升指令執行后規定時間(例如I秒)后，處理室左部頂層水平向傳動裝置使基板從左向右流動；同時當處理室左部頂層的水平向的撥片傳感器檢測到玻璃離開后，升降機向下執行下降的動作并與處理室左部四層45保持水平，處理室左部四層45水平向傳動裝置開動，使處理室右部四層65的基板可以流進該工位。基板通過處理室左部頂層、處理室中部頂層和處理室右部頂層到達基板出口 2。通過升降機撥動傳感器對玻璃進行檢測，由于加熱時間確定后，傳輸速度以及升降的時間都可以確定，所以相同間隔的時間內每個升降機一定能夠檢測到玻璃的到達，如果在確定的間隔時間內沒有檢測到玻璃到達，則說明玻璃發生破碎或者處理室中部的傳輸異常。同樣在升降機內，從撥動傳感器檢測到玻璃進入以后，到一定確定的時間之后，另一端的撥動傳感器會檢測到玻璃到達，再過一定規定時間后，進入端的撥動傳感器會檢測到玻璃離開，如果發生異常則會發生異常報警。可以對每個工位的基板情況進行管理，檢測卡片，重疊，破碎以及上升下降中的一場情況等，并且發生異常后報警提示且停止機械手裝載動作。傳輸速度=(熱處理時間-上升下降總時間)/總工位*每個工位長度，實際操作中只需要設置熱處理時間(如1800秒)，通過內部如上計算方式，則自動計算出傳輸速度，以確保每片玻璃在處理室內有準確的工藝時間。通過入口機械手臂上的檢測傳感器來對每片玻璃進行入庫記憶管理，通過出口機械手臂上的檢測傳感器對玻璃進行出庫記憶管理，以確定自動OLED基板高效熱處理設備內的玻璃數量，以及具體工位上玻璃的有無情況的記憶。
[0018]本領域的普通技術人員將會意識到，這里所述的實施例是為了幫助讀者理解本發明的原理，應被理解為本發明的保護范圍并不局限于這樣的特別陳述和實施例。本領域的普通技術人員可以根據本發明公開的這些技術啟示做出各種不脫離本發明實質的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本發明的保護范圍內。
【主權項】
1.一種自動OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:包括腔體(I)，基板出口(2)和基板入口(3)，基板入口(3)設置在腔體(I)左側腔壁的下部，基板出口(2)設置在腔體(I)右側腔壁的上部；還包括由處理室左部(4)、處理室中部(5)和處理室右部(6)組成的處理室，處理室放置在腔體(I)內部；處理室左部(4)包括處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)和處理室左部四層(45)，處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)和處理室左部四層(45)依次重疊；處理室中部(5)包括處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)和處理室中部四層(55)，處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)和處理室中部四層(55)依次重疊；處理室右部(6)包括處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62)、處理室右部二層(63)、處理室右部三層￠4)和處理室右部四層(65)，處理室右部底層(61)、處理室右部一層￠2)、處理室右部二層￠3)、處理室右部三層￠4)和處理室右部四層(65)依次重疊；處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)、處理室左部四層(45)、處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)、處理室中部四層(55)、處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62)、處理室右部二層(63)、處理室右部三層￠4)和處理室右部四層￠5)都設置有水平向傳動裝置；處理室右部一層(62)、處理室左部二層(43)、處理室右部三層￠4)和處理室左部四層(45)還設置有升降裝置；所述水平向傳動裝置和升降裝置都與計算機相連。2.如權利要求1所述的自動OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)、處理室左部四層(45)、處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)、處理室中部四層(55)、處理室右部底層￠1)、處理室右部一層￠2)、處理室右部二層(63)、處理室右部三層￠4)和處理室右部四層￠5)都含設置有水平方位的撥動式傳感器。3.如權利要求2所述的自動OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述處理室右部一層(62)、處理室左部二層(43)、處理室右部三層￠4)和處理室左部四層(45)還設置有垂直方向的撥動式傳感器。4.如權利要求3所述的自動OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述水平向傳動裝置的材質為PI材質。5.如權利要求4所述的自動OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述處理室左部底層(41)、處理室中部底層(51)和處理室右部底層￠1)安裝有驅動裝置。6.如權利要求5所述的自動OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述驅動裝置和撥動式傳感器之間的連接線材采用鎧裝隔熱材料包裹。
【專利摘要】本發明公開了一種產線用OLED基板高效熱處理設備，包括腔體，基板出口和基板入口，基板入口設置在腔體左側腔壁的下部，基板出口設置在腔體右側腔壁的上部；還包括由處理室左部、處理室中部和處理室右部組成的處理室，處理室放置在腔體內部；所述水平向傳動裝置和升降裝置都與計算機相連。本發明的產線用OLED基板高效熱處理設備優點為：能夠在產線上自動運行，工藝誤差低，成本低，體積小。
【IPC分類】H01L51/56
【公開號】CN105655502
【申請號】
【發明人】不公告發明人
【申請人】四川虹視顯示技術有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2014年12月2日