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石英坩堝表面自動清洗除砂裝置的制作方法

文檔序號:1343813閱讀:284來源:國知局
專利名稱:石英坩堝表面自動清洗除砂裝置的制作方法
技術領域
本實用新型為石英坩堝表面除砂裝置,特別涉及石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,屬于石英坩堝制作技術領域。
背景技術
單晶硅棒是生產單晶硅片的原材料,隨著國內和國際市場對單晶硅片需求量的快速增加,單晶硅棒的市場需求也呈快速增長的趨勢,制作單晶硅棒所使用的石英坩堝的需求量也快速增加。石英坩堝外表面的質量,是否光滑、潔凈直接關系到石英坩堝的熔煉產品質量和石英坩堝本身的使用壽命。現在制作石英坩堝時所使用的石英坩堝外表面整形機床系統包括電機、底托、托板、石英坩堝和金剛砂輪,電機帶動底托、托板和石英坩堝轉動,同時人工操作金剛砂輪,使金剛砂輪在石英坩堝外側移動,石英坩堝外側與金剛砂輪工作面發生摩擦,產生整形加工過程。上述過程為半自動化操作,勞動成本過高、效率過低、除雜不干凈,所制作的石英坩堝質量無法保證。

實用新型內容本實用新型的目的是針對上述現有技術中,石英坩堝表面清洗勞動成本過高、效率過低、除雜不干凈、所制作的石英坩堝質量無法保證的缺陷,提供了一種石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,可以達到石英坩堝表面清洗勞動成本降低、效率提高、除雜干凈、并可確保所制作的石英坩堝質量的目的。為了實現上述目的本實用新型采取的技術方案是石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,包括電機、機架、工作臺、轉軸、圓形底托、橡膠托板、石英坩堝;所述電機安裝在機架一側,所述轉軸垂直設置在機架中心位置,轉軸和電機傳動連接;所述圓形底托與轉軸頂部固定連接,所述橡膠托板為圓形、設置在圓形底托上方,與圓形底托固定連接,所述橡膠托板包括其上部的托板凸臺,石英坩堝倒放在橡膠托板上,石英坩堝的口徑內側套放在托板凸臺外側、互為緊配合;所述工作臺固定設置在機架上方,工作臺的上端工作臺面設置有限位孔,倒放的石英坩堝下端套設在限位孔內、與限位孔間隙配合;橡膠托板和圓形底托與轉軸中軸線垂直,還包括高壓水流外罩,所述高壓水流外罩倒扣在工作臺面上、石英坩堝外面,所述高壓水流外罩的內徑和高度均大于石英坩堝的直徑和高度;在高壓水流外罩的四壁和頂部均勻設置有高壓水槍;所述高壓水槍設置的方向使其射出的高壓水流的方向與被射石英坩堝的表面相垂直。所述高壓水流外罩為方形不銹鋼容器。所述圓形底托的直徑大于橡膠托板的直徑。所述高壓水流壓力為250kg/cm2。所述電機的轉速為40-50轉/分。與現有技術相比,本實用新型的有益效果是(I)用高壓水流沖洗,省時省力除雜干凈;[0011](2)實現石英坩堝表面細小顆粒的自動化處理,提高石英坩堝表面細小顆粒去除的效率;(3)使得石英坩堝表面的光滑度有所改善,提高石英坩堝整體質量和品質。

圖1是本實用新型主視圖(有局部剖視圖);附圖標記說明1電機、2機架、3工作臺、31限位孔、4轉軸、5圓形底托、6橡膠托板、61托板凸臺、7石英坩堝、8高壓水流外罩、81高壓水槍。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明,但不作為對本實用新型的限定。如圖1所示,石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,包括電機1、機架2、工作臺3、轉軸
4、圓形底托5、橡膠托板6、石英坩堝7;所述電機I安裝在機架2 —側,所述轉軸4垂直設置在機架2中心位置,轉軸4和電機I傳動連接;所述圓形底托5與轉軸4頂部固定連接,所述橡膠托板6為圓形、設置在圓形底托5上方,與圓形底托5固定連接,所述橡膠托板6包括其上部的托板凸臺61,石英坩堝7倒放在橡膠托板6上,石英坩堝7的口徑內側套放在托板凸臺61外側、互為緊配合;所述工作臺3固定設置在機架2上方,工作臺3的上端工作臺面設置有限位孔31,倒放的石英坩堝7下端套設在限位孔31內、與限位孔31間隙配合;橡膠托板6和圓形底托5與轉軸4中軸線垂直,還包括高壓水流外罩8,所述高壓水流外罩8倒扣在工作臺3面上、石英坩堝7外面,所述高壓水流外罩8的內徑和高度均大于石英坩堝7的直徑和高度;在高壓水流外罩8的四壁和頂部均勻設置有高壓水槍81 ;所述高壓水槍81設置的方向使其射出的高壓水流的方向與被射石英坩堝7的表面相垂直。所述高壓水流外罩8為方形不銹鋼容器。所述圓形底托5的直徑大于橡膠托板6的直徑。所述高壓水流壓力為250kg/cm2。所述電機I的轉速為40-50轉/分。工作過程把石英坩堝7倒放在橡膠托板6上,啟動電機1,帶動轉軸4、圓形底托
5、橡膠托板6和石英坩堝7轉動,同時開啟高壓水槍81,高壓水流自動沖洗石英坩堝7外表面,持續2-3分鐘,即完成I件石英坩堝7的沖洗過程。再更換另I個石英坩堝7,繼續上述操作,如此反復進行,一天按8小時計,可完成180-220個石英坩堝7的面自動清洗除砂工作,省時省力、除雜干凈、生產效率高。以上所述的實施例,只是本實用新型較優選的具體實施方式
的一種,本領域的技術人員在本實用新型技術方案范圍內進行的通常變化和替換都應包含在本實用新型的保護范圍內。
權利要求1.石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,包括電機、機架、工作臺、轉軸、圓形底托、橡膠托板、石英坩堝;所述電機安裝在機架一側,所述轉軸垂直設置在機架中心位置,轉軸和電機傳動連接;所述圓形底托與轉軸頂部固定連接,所述橡膠托板為圓形、設置在圓形底托上方,與圓形底托固定連接,所述橡膠托板包括其上部的托板凸臺,石英坩堝倒放在橡膠托板上,石英坩堝的口徑內側套放在托板凸臺外側、互為緊配合;所述工作臺固定設置在機架上方,工作臺的上端工作臺面設置有限位孔,倒放的石英坩堝下端套設在限位孔內、與限位孔間隙配合;橡膠托板和圓形底托與轉軸中軸線垂直,其特征在于還包括高壓水流外罩,所述高壓水流外罩倒扣在工作臺面上、石英坩堝外面,所述高壓水流外罩的內徑和高度均大于石英坩堝的直徑和高度;在高壓水流外罩的四壁和頂部均勻設置有高壓水槍;所述高壓水槍設置的方向使其射出的高壓水流的方向與被射石英坩堝的表面相垂直。
2.根據權利要求1所述的石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,其特征在于所述高壓水流外罩為方形不銹鋼容器。
3.根據權利要求1所述的石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,其特征在于所述圓形底托的直徑大于橡膠托板的直徑。
4.根據權利要求1所述的石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,其特征在于所述高壓水流壓力為250kg/cm2。
5.根據權利要求1所述的石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,其特征在于所述電機的轉速為40-50轉/分。
專利摘要一種石英坩堝表面自動清洗除砂裝置,屬于石英坩堝制作技術領域,包括電機、機架、工作臺、轉軸、圓形底托、橡膠托板、石英坩堝;轉軸和電機傳動連接;圓形底托與轉軸頂部固定連接,橡膠托板包括其上部的托板凸臺,石英坩堝倒放在橡膠托板上,石英坩堝的口徑內側套放在托板凸臺外側、互為緊配合;還包括高壓水流外罩,高壓水流外罩倒扣在工作臺面上、石英坩堝外面,高壓水流外罩的內徑和高度均大于石英坩堝的直徑和高度;在高壓水流外罩的四壁和頂部均勻設置有高壓水槍,所述高壓水槍所產生的高壓水流壓力為250kg/cm2。本實用新型的有益效果是省時省力除雜干凈;提高了工作效率;使得石英坩堝表面的光滑度改善,提高石英坩堝整體質量和品質。
文檔編號B08B3/02GK202893728SQ20122071052
公開日2013年4月24日 申請日期2012年11月27日 優先權日2012年11月27日
發明者王文慶, 王定永 申請人:寧波寶斯達坩堝保溫制品有限公司
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