貼合設備的制造裝置及貼合設備的制造方法

貼合設備的制造裝置及貼合設備的制造方法
【專利摘要】本發明提供一種貼合設備的制造裝置及貼合設備的制造方法。即使第一基板在真空環境中膨脹，也可壓扁膨脹部而與第二基板的相對位置不偏移地貼合。第一基板(1)保持于腔室(14)內的第一保持部件(11)且第二基板(2)保持于第二保持部件(12)后，將腔室的內部空間減壓至規定的真空度。即使第一基板隨著該減壓而沿厚度方向即Z方向突出變形，也由于其膨脹部進入到空間部，因此第一基板不會相對于第一保持部件局部浮起而整體傾斜。在該減壓狀態下驅動機構的按壓部通過空間部且沿厚度方向與第一基板的膨脹部抵接，且以膨脹部壓縮變形的方式隔著粘結劑及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按壓，由此壓扁膨脹部使第一基板與第二基板隔著粘結劑被均勻地加壓并貼合。
【專利說明】貼合設備的制造裝置及貼合設備的制造方法

【技術領域】
[0001]本發明涉及一種相對于例如液晶顯示器(IXD)、有機EL顯示器(OLED)、等離子顯示器(PDP)、可撓性顯示器等平板顯示器(FPD)或例如如觸控面板式FH)或3D (3維)顯示器或電子書籍等液晶模塊(LCM)或可撓性印刷電路板(FPC)等基板，貼合觸控面板、蓋玻片、覆蓋膜或FH)等另一個基板的貼合設備的制造裝置、及貼合設備的制造方法。

【背景技術】
[0002]以往，作為這種貼合設備的制造方法，有如下電氣光學裝置的制造方法:在真空氣氛中，將液晶面板和局部涂(涂布)有粘結劑(紫外線固化性環氧樹脂)的蓋玻片以對位的狀態擠壓，由此，帶狀的粘結劑部擴散到液晶面板與蓋玻片之間而成為粘結劑層，并且，通過其粘著性來使液晶面板側與蓋玻片側粘附。之后，進行液晶面板及蓋玻片的第I對準處理并進行臨時粘結工序后，進行第2對準處理(對位處理)，最后進行正式固化處理(正式粘結工序)來將液晶面板與蓋玻片正式粘結(例如參考專利文獻I)。
[0003]現有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本專利公開2009-230039號公報


【發明內容】

[0006]發明要解決的技術課題
[0007]然而，如圖5(a)所示，包含多個構成部件的液晶面板等第一基板I為多個構成部件一體組裝的結構體，在其制造階段，大量空氣進入到結構體的內部而成為被封入的狀態。
[0008]因此，如圖5(b)所示，若將液晶面板等第一基板I與蓋玻片等第二基板2為了真空貼合而搬入到真空腔室14'內，并將第一基板I保持于下保持部件IP且將第二基板2保持于上保持部件12'后，將真空腔室14'的內部減壓至規定的真空度，則封入于結構體內部的空氣因內外的壓力差而膨脹變形，結構體中強度相對較弱的部位成為膨脹部Ia并突出。
[0009]若在第一基板I通過該膨脹部Ia而相對于下保持部件11'整體傾斜的狀態下，如圖5(c)所示，下保持部件11'與上保持部件12'相對地沿厚度方向(Z方向)接近移動，并沿Z方向對第一基板I及第二基板2進行加壓而使二者重疊，則通過傾斜，第一基板I沿與厚度方向交叉的橫縱斜方向(XY Θ方向)移動而在與第二基板2之間產生位置偏移,并導致以位置偏移的狀態貼合。
[0010]若第一基板I與第二基板2的位置精確度因位置偏移而下降，則會影響之后的產品組裝性，存在成品率下降的問題。尤其，第二基板2為觸控面板玻璃時，顯示區域內的圖像的顯示位置和傳感器的檢測位置從設計位置偏移，因此無法發揮所期望的性能，存在成為次品的問題。
[0011]而且，通過下保持部件11'及上保持部件12'，將已傾斜的第一基板I強制壓向第二基板2時，相對于夾在下保持部件11'與上保持部件12'之間的粘結劑3的加壓力變得不均，因此之后向大氣開放后，存在粘結劑3中易混入氣泡而成為成品率下降的原因的問題。
[0012]因此，為了解決這種問題，考慮使真空腔室14'的減壓速度非常緩慢，以免第一基板I因內外的壓力差而膨脹變形。
[0013]然而，這種情況下，真空腔室14'的內部達到規定的真空度為止需要大量時間，其結果，存在使產品的生產率下降而成本升高的問題。
[0014]解決課題的技術方案
[0015]本發明將解決這種問題作為課題，其目的在于提供一種即使第一基板在真空環境中膨脹也能夠與第二基板不產生相對位置偏移地進行貼合的貼合設備的制造裝置、及貼合設備的制造方法等。
[0016]為了實現這種目的，基于本發明的貼合設備的制造裝置，該貼合設備使包含多個構成部件的第一基板與覆蓋該第一基板的第二基板隔著粘結劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向相互對位并貼合，所述貼合設備的制造裝置的特征在于，具備:第一保持部件，其設置成將所述第一基板裝卸自如地保持；第二保持部件，其設置成將與所述第一保持部件之間隔著所述粘結劑而相向的所述第二基板裝卸自如地保持；驅動機構，其設置成使所述第一保持部件和所述第二保持部件中的任一個朝向另一個接近移動、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相對接近移動；及開閉自如的腔室，其設置成將容納有所述第一保持部件及所述第二保持部件的內部腔室從大氣氣氛減壓至規定的真空度，所述第一保持部件具有空間部，在所述第一基板上隨著所述腔室內的減壓而沿所述厚度方向突出變形的膨脹部沿該厚度方向進入到所述空間部，所述驅動機構具有按壓部，所述按壓部以通過所述空間部且沿所述厚度方向與所述第一基板的所述膨脹部抵接，并且使該膨脹部壓縮變形的方式隔著所述粘結劑及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按壓。
[0017]并且，基于本發明的貼合設備的制造方法，該貼合設備使包含多個構成部件的第一基板與覆蓋該第一基板的第二基板隔著粘結劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向使所述第一基板與所述第二基板相對移動并相互對位后貼合，所述貼合設備的制造方法的特征在于，包括如下工序:保持工序，在具有空間部的第一保持部件上保持所述第一基板，且在第二保持部件上保持與所述第一保持部件之間隔著所述粘結劑相向的所述第二基板；減壓工序，將容納所述第一保持部件及所述第二保持部件的腔室的內部空間從大氣氣氛減壓至規定的真空度；及驅動工序，通過驅動機構使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任一個朝向另一個接近移動、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相對接近移動，在所述保持工序中，使在所述第一基板上隨著所述腔室內的減壓而沿所述厚度方向突出變形的膨脹部沿該厚度方向進入到所述第一保持部件的所述空間部，在所述驅動工序中，所述驅動機構的按壓部通過所述空間部而朝向所述第一基板的所述膨脹部沿所述厚度方向接近移動而抵接，且隔著所述粘結劑及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按壓。
[0018]發明效果
[0019]具有前述特征的基于本發明的貼合設備的制造裝置及貼合設備的制造方法在將第一基板保持于腔室內的第一保持部件并將第二基板保持于第二保持部件后，將腔室的內部空間減壓至規定的真空度。即使第一基板隨著該減壓而沿厚度方向突出變形，也由于其膨脹部進入到空間部，因此第一基板不會相對于第一保持部件局部浮起而整體傾斜。在該減壓狀態下，驅動機構的按壓部通過空間部而與第一基板的膨脹部沿厚度方向抵接，且以膨脹部壓縮變形的方式隔著粘結劑及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按壓，由此，壓扁膨脹部而使第一基板與第二基板隔著粘結劑被均勻地加壓并貼合。
[0020]因此，即使第一基板在真空環境中膨脹，也能夠壓扁膨脹部而與第二基板相對位置不偏移地貼合。
[0021]其結果，相比真空膨脹的液晶面板以傾斜的狀態與蓋玻片貼合的以往的貼合設備的制造裝置及制造方法，第一基板與第二基板的對位能夠維持在高精確度，且防止成品率下降。尤其，即使第二基板為觸控面板玻璃，也由于顯示區域內的圖像的顯示位置和傳感器的檢測位置不會從設計位置偏移，因此能夠發揮所希望的性能，且能夠減少次品的產生。
[0022]而且，通過第一保持部件及第二保持部件，相對于夾在第一基板與第二基板之間的粘結劑的加壓力均勻，因此之后向大氣開放后粘結劑中也沒有氣泡混入，并且通過按壓部，第一基板與第二基板隔著粘結劑均勻地被加壓，因此即使在粘結劑的內部混入空氣等氣體或產生氣體，也會將這些氣體擠出而不會在面內殘留氣泡。由此，能夠防止成品率的下降。
[0023]并且，無需為了防止真空環境中的第一基板的膨脹而減慢腔室的減壓速度，因此能夠縮短腔室內部達到規定的真空度為止的時間，且不會降低產品的生產率而可實現成本的降低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1是表示本發明的實施方式所涉及的貼合設備的制造裝置及貼合設備的制造方法的整體結構的說明圖，圖1 (a)是表示搬入后的狀態的縱截面主視圖，圖1 (b)是表示減壓后的狀態的縱截面主視圖，圖1(c)是表示第二基板的接近移動后的狀態的縱截面主視圖，圖1(d)是表示按壓部的接近移動后的狀態的縱截面主視圖。
[0025]圖2是貼合另一結構的貼合設備時的說明圖，圖2(a)是表示搬入后的狀態的縱截面主視圖，圖2(b)是表示減壓后的狀態的縱截面主視圖，圖2(c)是表示第二基板的接近移動后的狀態的縱截面主視圖，圖2(d)是表示按壓部的接近移動后的狀態的縱截面主視圖。
[0026]圖3是表示本發明的另一實施例所涉及的貼合設備的制造裝置及貼合設備的制造方法的整體結構的說明圖，圖3(a)是表示搬入后的狀態的縱截面主視圖，圖3(b)是沿圖3(a)的(3B)-(3B)的橫截面俯視圖。
[0027]圖4是表示本發明的另一實施例所涉及的貼合設備的制造裝置及貼合設備的制造方法的整體結構的說明圖，圖4(a)是表示搬入后的狀態的縱截面主視圖，圖4(b)是表示減壓后的狀態的縱截面主視圖，圖4(c)是表示第二基板的接近移動后的狀態的縱截面主視圖，圖4(d)是表示按壓部的接近移動后的狀態的縱截面主視圖。
[0028]圖5是表示以往的貼合設備的制造裝置及貼合設備的制造方法的一例的說明圖，圖5(a)是表示搬入后的狀態的縱截面主視圖，圖5(b)是表示減壓后的狀態的縱截面主視圖，圖5(c)是表示第二基板的接近移動后的狀態的縱截面主視圖。

【具體實施方式】
[0029]以下，根據附圖對本發明的實施方式進行詳細說明。
[0030]本發明的實施方式所涉及的貼合設備A的制造裝置如圖1?圖4所示，包含多個構成部件的第一基板I和將其覆蓋的第二基板2隔著粘結劑3沿厚度方向(以下稱作Z方向)重疊，且使第一基板I與第二基板2沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向(以下稱作XY Θ方向)相對移動并相互對位后貼合。
[0031]詳細說明如下，本發明的實施方式所涉及的貼合設備A的制造裝置中作為主要的構成要件而具備:第一保持部件11，設置成將第一基板I保持為裝卸自如；第二保持部件12，設置成將在與第一保持部件11之間隔著粘結劑3相向的第二基板2保持為裝卸自如；驅動機構13，設置成使第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個朝向另一個沿Z方向相對接近移動，或使第一保持部件11及第二保持部件12兩者沿Z方向相對接近移動；及開閉自如的腔室14，設置成將容納第一保持部件11及第二保持部件12的內部空間14a從大氣氣氛減壓至規定的真空度。
[0032]而且，雖未圖示，但這種貼合設備A的制造裝置中還具備對位用驅動部和位置檢測部等，所述對位用驅動部使第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個朝向另一個沿XY Θ方向相對移動或使第一保持部件11及第二保持部件12兩者沿XY Θ方向相對移動而使第一基板I與第二基板2對位；所述位置檢測部用于檢測在第一基板I及第二基板2上設置的對準標志等。
[0033]第一基板I為例如如液晶模塊(LCM)等多個構成部件一體組成的薄板狀的結構體，尤其以封入于結構體內部的空氣在真空環境中因內外壓力差而膨脹變形的結構體作為對象。
[0034]若詳細地說明，第一基板I是指在其結構體的制造階段，空氣在一體組裝多個構成部件時進入到結構體的內部，且在組裝成半成品和成品之后空氣也不會從結構體的內部漏出到外部而是被封入的基板。因此，若第一基板I的周圍成為真空或接近于真空的環境，則封入于內部的空氣因內外的壓力差而膨脹變形，結構體中強度相對較弱的部位成為膨脹部Ia而關出。
[0035]如圖1 (a)?(d)所示，作為第一基板I的具體例，示出在結構體的外邊部Ib具有邊框狀的框體lc，且在框體Ic的內部使用從表面側朝向背面側將液晶面板等影像顯示部件Id、驅動電路和驅動用印刷基板le、背光源單元If等堆積并一體組裝的LCM等的例子。當為這種結構體時，在真空環境中強度相對較弱，背光源單元If的中央部分成為膨脹部Ia而突出。
[0036]并且，作為第一基板I的其他例雖未圖示，但能夠代替LCM，使用不具有邊框狀的框體Ic但在真空環境中膨脹變形的其他結構體。
[0037]而且，優選在第一基板I的外周邊設置用于與第二基板2對位的對準標志(未圖示)O
[0038]第二基板2例如為觸控面板、蓋玻片和覆蓋膜等通過粘結成覆蓋第一基板I來構成觸控面板式的平板顯示器(FPD)、3D(3維)顯示器和電子書等的基板。
[0039]如圖1 (a)?(d)所示，作為第二基板2的具體例，示出使用觸控面板的情況。
[0040]并且，作為第二基板2的其他例雖未圖示，但能夠代替觸控面板，使用蓋玻片和覆
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[0041]而且，優選在第二基板2的外周邊設置用于與第一基板I對位的對準標志(未圖示)O
[0042]并且，第一基板I或第二基板2中的任一個或兩個，不限于使用在其制作階段最終分離的基板，而能夠使用多個第一基板I和第二基板2在其制作階段排列設置的分離前的I個基板。
[0043]而且，第一基板I及第二基板2的外部形狀形成為例如矩形、大致矩形或與其類似的形狀。第一基板I及第二基板2的尺寸形成為在兩者的貼合狀態下，第一基板I或第二基板2中的任一個大于另一個，或第一基板I及第二基板2的外邊緣彼此分別重疊的相同尺寸。
[0044]粘結劑3使用例如吸收光能來進行聚合并固化而產生粘結性的具有光固化性的光固化型粘結劑。并且，能夠代替光固化型粘結劑，使用通過熱能的吸收來進行聚合并固化的熱固化型粘結劑或二液混合固化型粘結劑等。
[0045]如圖1 (a)?(d)所示，作為粘結劑3的具體例，使用光學彈性樹脂或光學透明薄片來涂布于作為第一基板I的LCM的影像顯示部件Id。
[0046]并且，作為粘結劑3的其他例雖未圖示，但能夠代替光學彈性樹脂或光學透明薄片，使用其他光固化型粘結劑、熱固化型粘結劑和二液混合固化型粘結劑等。
[0047]第一保持部件11與第二保持部件12例如由平臺構成，且配設成在后述的腔室14內沿Z方向相互相向，所述平臺由金屬和陶瓷等剛體形成為不會應變(撓曲)變形的厚度的平板狀。若詳細說明，將在真空環境中膨脹變形的LCM等第一基板I保持為裝卸自如的第一保持部件11配置于下方，將觸控面板等第二基板2保持為裝卸自如的第二保持部件12配置于上方。
[0048]第一保持部件11與第二保持部件12的相向面上分別設置有將第一基板I和第二基板2保持為裝卸自如的保持機構(未圖示)。
[0049]作為第一保持部件11的保持機構，使用與第一基板I沿Z方向進出自如地嵌合并在ΧΥΘ方向上定位的卡盤等。
[0050]作為第二保持部件12的保持機構，使用將第二基板2懸吊成裝卸自如的例如粘著卡盤、靜電卡盤和吸引卡盤的組合等。
[0051]而且，第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個或第一保持部件11及第二保持部件12兩者被支承為相對于后述的腔室14的周壁在Z方向上移動自如，并且與后述的驅動機構13連續設置。
[0052]并且，雖未圖示，但第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個或兩個具備根據前述的位置檢測部而動作的對位用驅動部，且通過使第一保持部件11與第二保持部件12沿XY Θ方向相對移動來使第一基板I與第二基板2對位。
[0053]并且，第一保持部件11具有空間部11a，在第一基板I上隨著后述的腔室14內的減壓而沿Z方向突出變形的膨脹部Ia沿Z方向進入到所述空間部11a。
[0054]而且，優選第一保持部件11具有設置成與第一基板I的外邊部Ib相向而將外邊部Ib保持為裝卸自如的框狀部11b，且在框狀部Ilb的中央位置劃分形成有空間部11a，膨脹部Ia沿Z方向進入到空間部11a。
[0055]框狀部Ilb形成為與第一基板I的外形尺寸對應的邊框狀，且通過載置第一基板I的外邊部lb，構成為將第一基板I整體支承為至少不會在Z方向上位置偏移。在框狀部Ilb的中央開設有空間部11a，從而使后述的驅動機構13的按壓部13a能夠沿Z方向移動。
[0056]驅動機構13具有通過空間部Ila而與第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向抵接的按壓部13a。而且，通過后述的控制部(未圖示)對驅動機構13進行動作控制，且使按壓部13a或第二保持部件12中的任一個或按壓部13a及第二保持部件12兩者在各自設定的定時沿Z方向升降移動。
[0057]S卩，按壓部13a構成為隨著驅動機構13的動作與第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向抵接，且以膨脹部Ia沿Z方向壓縮變形的方式隔著粘結劑3及第二基板2朝向第二保持部件12沿Z方向平行地按壓。
[0058]腔室14具有:內部空間14a，配設有第一保持部件11及第二保持部件12 ;及減壓機構14b，將內部空間14a的氣體排出而進行減壓。使用例如搬運機器人等搬運機構(未圖示)以能夠使第一基板I和第二基板2遍及內部空間14a和腔室14的外部空間而進出的方式，將腔室14的整體或一部分構成為開閉自如。
[0059]作為腔室14的具體例，在圖1?圖4的情況下構成為如下:沿Z方向分割腔室14，且使支承第一保持部件11的下方的第一分割腔室14C和支承第二保持部件12的上方的第二分割腔室14d以沿Z方向相對接近或遠離的方式往復移動，由此，內部空間14a開閉自如且成為密封結構。
[0060]并且，作為其他例雖未圖示，但能夠代替分割式，變更為通過在腔室14的一部分設置開閉自如的門扇，由此，內部空間14a開閉自如且成為密封結構。
[0061]而且，通過后述的控制部(未圖示)對使腔室14的內部空間14a開閉的驅動部He進行動作控制，且與前述的搬運機構聯動而在預先設定的定時開閉移動。
[0062]該控制部為不僅與前述的第一保持部件11及第二保持部件12的保持機構、驅動機構13、腔室14的減壓機構14b及驅動部14e，還分別與前述的搬運機構、位置檢測部、對位用驅動部和使粘結劑3固化的固化機構等電連接的控制器，且根據在控制電路中預先設定的程序來依次分別進行動作控制。
[0063]將設定于控制部的控制電路的程序作為用于生產貼合設備A的制造方法來進行說明。
[0064]本發明的實施方式所涉及的貼合設備A的制造方法中作為主要工序而包括如下工序:保持工序，在第一保持部件11上保持第一基板I，并且在第二保持部件12上保持第二基板2 ;減壓工序，將腔室14的內部空氣14a從大氣氣氛減壓至規定的真空度；及驅動工序，通過驅動機構13使第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個朝向另一個或使兩個沿Z方向相對接近移動。
[0065]如圖1 (a)所示，保持工序在大氣氣氛中通過搬運機構將第一基板I與第二基板2分別搬入腔室14的內部空間14a之后進行，緊接著腔室14進行閉合動作而使內部空間14a成為密封狀態。
[0066]如圖1(b)所示，在減壓工序中，隨著腔室14內的減壓，第一基板I的一部分沿Z方向突出變形，且使其膨脹部Ia沿Z方向進入到第一保持部件11的空間部11a。
[0067]如圖1(c)及圖1(d)所示，在驅動工序中，第二保持部件12接近移動而使第二基板與第一保持部件11上的粘結劑3抵接從而兩者粘附，驅動機構13的按壓部13a通過空間部Ila而與第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向抵接，且隔著粘結劑3及第二基板2朝向第二保持部件12以成為與Z方向平行的方式進行按壓。
[0068]驅動工序之后，使內部空間14a回到大氣氣氛，之后如圖1(d)的雙點劃線所示，腔室14進行開啟動作而將已完成貼合的貼合設備A通過搬運機構搬出。
[0069]之后，反復進行前述的動作。
[0070]根據這種本發明的實施方式所涉及的貼合設備A的制造裝置及貼合設備A的制造方法，第一基板I保持于腔室14內的第一保持部件11而第二基板2保持于第二保持部件12后，使腔室14的內部空間14a減壓至規定的真空度。如圖1(b)所示，隨著該減壓，即使第一基板I沿Z方向突出變形，也由于其膨脹部Ia進入到空間部11a，因此第一基板I不會相對于第一保持部件11局部浮起而整體傾斜。在該減壓狀態下通過驅動機構13的動作，如圖1(d)所示，按壓部13a通過驅動機構13的動作通過空間部Ila而與第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向抵接，且以膨脹部Ia壓縮變形的方式隔著粘結劑3及第二基板2朝向第二保持部件12沿Z方向平行地按壓，因此壓扁膨脹部Ia而使第一基板I和第二基板2隔著粘結劑3均勻地被加壓并貼合。
[0071]因此，即使第一基板I在真空環境中膨脹，也能夠壓扁膨脹部Ia而與第二基板2相對位置不偏移地貼合。
[0072]其結果，能夠將第一基板I與第二基板2的對位維持在高精確度，且防止成品率的下降。尤其，即使第二基板2為觸控面板，由于顯示區域內的圖像的顯示位置和傳感器的檢測位置不會從設計位置偏移，因此能夠發揮所希望的性能，且能夠減少次品的產生。
[0073]而且，通過第一保持部件11、按壓部13a及第二保持部件12，相對于夾在第一基板I與第二基板2之間的粘結劑3的加壓力均勻，因此在之后向大氣開放，粘結劑3中也不會混入氣泡，且通過按壓部13a，第一基板I與第二基板2隔著粘結劑3均勻地被加壓，因此即使在粘結劑3的內部混入空氣等氣體或產生氣體，也會將這些氣體擠出而不會在面內殘留氣泡。由此，能夠防止成品率的下降。
[0074]并且，無需為了防止真空環境中的第一基板I的膨脹而減慢腔室壓速度，因此能夠縮短腔室14的內部達到規定的真空度為止的時間，且不會降低貼合設備A的生產率而可實現成本的降低。
[0075]尤其，第一保持部件11具有將第一基板I的外邊部Ib保持為裝卸自如的框狀部11b，在框狀部Ilb的中央位置形成有第一基板I的膨脹部Ia沿厚度方向(Z方向)進入的空間部Ila時，即使在第一基板I保持于第一保持部件11的框狀部Ilb且第二基板2保持于第二保持部件12后，第一基板I隨著腔室14內的減壓而突出變形，也由于其膨脹部Ia沿Z方向進入到框狀部Ilb的中央位置的空間部11a，因此第一基板I不會相對于第一保持部件11的框狀部Ilb傾斜。在該減壓狀態下通過驅動機構13的動作，按壓部13a通過框狀部Ilb的空間部IIa且沿厚度方向(Z方向)接近移動而抵接第一基板I的膨脹部la，且以膨脹部Ia壓縮變形的方式隔著粘結劑3及第二基板2朝向第二保持部件12沿Z方向平行地按壓，因此壓扁膨脹部Ia而使第一基板I和第二基板2隔著粘結劑3均勻地被加壓并貼合。
[0076]因此，雖為簡單的結構但能夠使真空膨脹的第一基板I與第二基板2平行地貼合而能夠防止相對的位置偏移。
[0077]其結果，維護輕松且能夠進一步實現成本降低。
[0078][實施例1]
[0079]接著，根據附圖對本發明的各實施例進行說明。
[0080]該實施例1如圖1 (a)?(d)所示，驅動機構13具有與按壓部13a連續設置而使按壓部13a朝向第二保持部件12沿厚度方向(Z方向)接近移動的第一升降部13b。
[0081]按壓部13a形成為與第一基板I及膨脹部Ia相向的平滑的板狀，且設置成在Z方向上移動自如。
[0082]而且，驅動機構13具有與第二保持部件12連續設置而使第二保持部件12朝向按壓部13a沿Z方向往復移動的第二升降部13c。
[0083]第一升降部13b及第二升降部13c以如下方式分別進行動作控制；在通過第二升降部13c的動作而使第二保持部件12朝向第一保持部件11上的粘結劑3沿Z方向接近移動后，通過第一升降部13b的動作使按壓部13a朝向第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向接近移動。
[0084]S卩，如圖1(c)所示，首先第二保持部件12接近移動(下降)而使第二基板2與第一保持部件11上的粘結劑3抵接。之后，如圖1(d)所示，驅動機構13的按壓部13a通過空間部Ila而朝向第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向接近移動(上升)，從而使按壓部13a與膨脹部Ia抵接。
[0085]并且，作為其他例雖未圖示，但能夠與第二保持部件12的接近移動大致同時使驅動機構13的按壓部13a接近移動，從而縮短生產節拍時間。
[0086]圖1 (a)?⑷所示的例子中，連接按壓部13a與第一升降部13b的從動桿13b'在Z方向上往復移動自如地貫穿第一保持部件11的支承板11c。
[0087]第一保持部件兒的支承板Ilc的表面上裝卸自如地安裝有框狀部lib。
[0088]根據這種本發明的實施例1所涉及的貼合設備A的制造裝置及貼合設備A的制造方法，通過驅動機構13的第一升降部13b的動作，使按壓部13a朝向在第一基板I上隨著腔室14內的減壓而突出變形的膨脹部Ia沿第二保持部件12的厚度方向(Z方向)接近移動，由此按壓部13a沿Z方向與膨脹部Ia抵接而使膨脹部Ia收縮并被壓扁，而且在按壓部13a與第二保持部件12之間夾入第一基板1、粘結劑3及第二基板2而平行地按壓。
[0089]因此，能夠使第一基板I在已真空膨脹的膨脹部Ia可靠地收縮變形后與第二基板2平行地貼合。
[0090]其結果，具有能夠提高第一基板I與第二基板2的對位精確度，且可實現成品率的提聞的優點。
[0091]尤其，如圖1(c)所示，首先由第二保持部件12接近移動而使第二基板2與第一保持部件11上的粘結劑3抵接后，如圖1 (d)所示，使按壓部13a與第一基板I的膨脹部Ia抵接，此時，在按壓部13a與膨脹部Ia抵接之前的時刻，在第二保持部件12與框狀部Ilb之間，第二基板2隔著粘結劑3而與第一基板I的外邊部Ib在Z方向上壓接，因此第二基板2與第一基板I不會在Z方向及XY Θ方向上發生位置偏移。該狀態下，即使按壓部13a與膨脹部Ia抵接，也能夠順利地吸收其沖擊，且具有進一步提高第一基板I與第二基板2的對位精確度的優點。
[0092]而且，實施例1中，在第一保持部件11或第二保持部件12的相向面中的任一面或第一保持部件11及第二保持部件12的相向的兩面上，設置有緩沖材料4。
[0093]圖1 (a)?(d)所示的例子中，在按壓部13a的表面上將緩沖材料4配置成與第一基板I的背光源單元If相向。緩沖材料4的表面上遍及其幾乎整體且隔著預定之間隔設置有多個突起4a，從而整體上形成為凹凸形狀。
[0094]并且，作為其他例雖未圖示，但能夠變更緩沖材料4的形狀，或將緩沖材料4設置于第二保持部件12的相向面。
[0095]由此，與第一保持部件11及第二保持部件12的相向面的平行度無關而能夠確保第一基板I與第二基板2的平行度，因此具有能夠完全防止氣泡的產生的優點。
[0096]并且，利用本發明的實施例1所涉及的貼合設備A的制造裝置，還能夠制造其他結構的貼合設備A'。將這種情況示于圖2(a)?(d)。
[0097]用于圖2(a)?(d)所示的貼合設備A'的第一基板Γ為不具有背光源的玻璃(open cell)結構的液晶顯示器(LCD)等，這種結構體的內部不具有殘留空氣的空間，因此即使在真空環境中也不會膨脹。
[0098]圖2(a)?(d)所示的例子中，示出包含液晶面板等影像顯示部件Id、驅動電路和驅動用印刷基板Ie的第一基板P的情況。
[0099]而且，貼合設備A'中除第一基板I'以外的構成部件使用與圖1(a)?(d)所示的實施例1相同的部件。
[0100]將第一基板Γ保持為裝卸自如的第一保持部件11從支承板Ilc卸下框狀部11b，且相對按壓部13a的表面載置第一基板I'且將其保持為裝卸自如。
[0101]因此，在I個貼合設備A的制造裝置中，只要對于結構和特征不同的多種第一基板I及第一基板P更換部件即可進行對應，因此還具有方便性優異的優點。
[0102][實施例2]
[0103]該實施例2如圖3(a)、(b)所示，第一保持部件11的框狀部Ilb具有以將第一基板I的外邊部Ib沿與厚度方向(Z方向)交叉的橫縱方向(XY方向)夾入的方式在橫縱方向(XY方向)上移動自如的把持部位lld，除這種結構與圖1(a)?(d)等中所示的實施例1不同以外，其他結構與實施例1相同。
[0104]把持部位Ild為在第一基板I的外邊部Ib的四個角處分割與至少I個角部位相向的框狀部Ilb的I個部位，并設置成相對于其他部位在橫縱方向(以下稱作XY方向)上移動自如的部位。
[0105]把持部位Ild上設置有使把持部位Ild在第一基板I的外邊部Ib的四個角處朝向I個或多個角部位沿XY方向分別移動而抵接的移動機構He。移動機構lie由氣缸等驅動器或彈簧等彈性體構成。
[0106]圖3(a)、圖3(b)所示的例子中，框狀部Ilb的平面形狀形成為L字形，并配置成在第一基板I的外邊部Ib沿著隔著I個角部位連續的兩個邊部位分別向Y方向和X方向延伸。把持部位Ild與沿框狀部Ilb的Y方向延伸的一邊部位Ilbi及沿X方向延伸的另一邊部位lib"分別平行地相向設置有I對。與沿框狀部Ilb的Y方向延伸的一邊部位Ilbi平行地相向的一個把持部位IlcT被支承為在X方向上移動自如。與沿框狀部Ilb的X方向延伸的另一邊部位lib"平行地相向的另一個把持部位lid"被支承為在Y方向上移動自如。這些一對把持部位llcKllcT、lld")上分別連續設置有一對移動機構lie而使一對把持部位各自移動。這些移動機構lie為彈簧復位式的氣缸，通過前述的控制部對其進行動作控制，且配合第一基板I的尺寸，使第一基板I的外邊部Ib和框狀部Ilbdlb'、Ilb")及把持部位lld(lld'、lld")以各自無間隔地相互接觸的方式調整移動。
[0107]S卩，把持部位Ild的移動機構Ile在第一基板I搬入在第一保持部件11的框狀部Ilb與把持部位Ild之間劃分形成的空間部Ila之前的時刻，根據預先設定的第一基板I的尺寸數據，使把持部位lld(lld'、lld")以從框狀部Ilb離開所設定的尺寸的量的方式移動。
[0108]并且，作為其他例雖未圖示，但也能夠將把持部位Ild形成為其平面形狀沿X方向和Y方向以L字形延伸，且通過I個移動機構lie使其朝向平面L字形的框狀部Ilb斜向移動，或作為把持部位Ild的移動機構lie代替彈簧復位式的氣缸而使用除此之外的驅動器或彈黃等彈性體等。
[0109]根據這種本發明的實施例2所涉及的貼合設備A的制造裝置及貼合設備A的制造方法，第一保持部件11的框狀部Ilb以把持部位Ild沿橫縱方向(XY方向)夾入第一基板I的外邊部lb，由此，框狀部Ilb及把持部位Ild與第一基板I的外邊部Ib在XY方向上無間隙地壓接，第一基板I被夾持為不能在XY方向上移動。即使在腔室14減壓時在內部空間14a中產生氣流,第一基板I也不會位置偏移。
[0110]因此，能夠將第一基板I相對于第二基板2的相對的位置偏移抑制在最小限度。
[0111]其結果，與實施例1相比，具有能夠進一步提聞第一基板I與第_■基板2的對位精確度，且能夠實現成品率的進一步的提聞的優點。
[0112][實施例3]
[0113]該實施例3如圖4(a)?(d)所示，按壓部13a在厚度方向(Z方向)上固定成不能移動，第一保持部件11的框狀部Ilb具有以與基于驅動機構13的第二保持部件12的接近移動聯動的方式在厚度方向(Z方向)上移動自如地進行支承的支承部位Hf，除這種結構與圖1(a)?(d)等中所示的實施例1和圖3中所示的實施例2不同以外，其他結構與實施例I和實施例2相同。
[0114]支承部位Ilf為設置于第一保持部件11的框狀部Ilb的升降引導件，其設置有用于至少設定框狀部Iib的上限位置的限位器Hg、及用于朝向第二保持部件12沿z方向對支承部位Ilf彈性施力的彈性體llh。
[0115]圖4(a)?(d)所示的例子中，支承部位Ilf由豎立設置于下方的第一分割腔室14c的支承桿11Π、及配置成相對于支承桿11Π在軸向上往復移動自如的滑動件llf2構成，且通過在第一保持部件11的支承板Ilc上設置多個滑動件llf2，從而相對于各支承桿11Π，第一保持部件11的支承板Ilc及安裝于其之上的框狀部Ilb被支承為在Z方向上移動自如。在第一保持部件11的支承板Ilc和下方的第一分割腔室14c之間作為彈性體Ilh遍及兩者而設置有彈簧，從而構成為與第二保持部件12的接近移動聯動而第一保持部件11的支承板Ilc及框狀部Ilb向相同方向移動。
[0116]S卩，如圖4 (b)所示，在腔室14內的減壓結束后，如圖4 (C)所示，通過第二升降部13c的動作，第二保持部件12接近移動(下降)而使第二基板2與第一保持部件11上的粘結劑3抵接后進一步向相同方向進行按壓。隨此，如圖4(d)所示，使框狀部Ilb與彈性體Ilh的施力對抗而向相同方向聯動(下降)。由此，按壓部13a相對地通過空間部IIa而與第一基板I的膨脹部Ia接近，最后使第一基板I的膨脹部Ia與按壓部13a抵接，且以膨脹部Ia壓縮變形的方式隔著粘結劑3及第二基板2朝向按壓部13a沿Z方向平行地按壓。
[0117]并且，作為其他例雖未圖示，但能夠代替包含支承桿11Π及滑動件llf2的支承部位Hf，使用其他結構的部件，或作為彈性體Ilh使用除彈簧以外的彈性部件，或者改變支承部位Ilf的安裝位置。
[0118]根據這種本發明的實施例3所涉及的貼合設備A的制造裝置及貼合設備A的制造方法，隨著通過驅動部件13來使第二保持部件12朝向第一保持部件11接近移動，第一保持部件11的框狀部Ilb聯動而使保持于框狀部Ilb的第一基板I的膨脹部Ia朝向在厚度方向(Z方向)上固定成不能移動的按壓部13a相對接近移動，并使第一基板I的膨脹部Ia與按壓部13a沿Z方向抵接，且以使膨脹部Ia壓縮變形的方式隔著粘結劑3及第二基板2平行地按壓，因此，壓扁膨脹部Ia而使第一基板I與第二基板2隔著粘結劑3均勻地被加壓并貼合。
[0119]因此，僅以第二保持部件12的接近移動，便能夠將已真空膨脹的第一基板I與第二基板2平行地貼合而防止相對的位置偏移。
[0120]其結果，與實施例1相比，不再需要使按壓部13a接近的第一升降部13b，因此具有通過移動部件的削減而能夠更輕松地進行維護且實現成本進一步降低的優點。
[0121]另外，前示實施例中，作為第一保持部件11的框狀部Ilb使用了形成為邊框狀的部件，但并不限定于此，只要能夠將第一基板I的外邊部Ib保持為裝卸自如，則即使不是以邊框狀連續的部件亦可。
[0122]附圖文字說明
[0123]A-貼合設備，1-第一基板，Ia-膨脹部，Ib-外邊部,2_第二基板,3_粘結劑，11_第一保持部件，Ila-空間部，Ilb-框狀部，Ild-把持部位，Hf-支承部位，12-第二保持部件，13-驅動機構，13a-按壓部，13b-第一升降部，14-腔室，14a-內部空間。
【權利要求】
1.一種貼合設備的制造裝置，該貼合設備使包含多個構成部件的第一基板與覆蓋該第一基板的第二基板隔著粘結劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向相互對位并貼合，所述貼合設備的制造裝置的特征在于，具備: 第一保持部件，其設置成將所述第一基板裝卸自如地保持； 第二保持部件，其設置成將與所述第一保持部件之間隔著所述粘結劑而相向的所述第二基板裝卸自如地保持； 驅動機構，其設置成使所述第一保持部件和所述第二保持部件中的任一個朝向另一個接近移動、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相對接近移動；及 開閉自如的腔室，其設置成將容納有所述第一保持部件及所述第二保持部件的內部腔室從大氣氣氛減壓至規定的真空度， 所述第一保持部件具有空間部，在所述第一基板上隨著所述腔室內的減壓而沿所述厚度方向突出變形的膨脹部沿該厚度方向進入到所述空間部， 所述驅動機構具有按壓部，所述按壓部以通過所述空間部且沿所述厚度方向與所述第一基板的所述膨脹部抵接，并且使該膨脹部壓縮變形的方式隔著所述粘結劑及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按壓。
2.根據權利要求1所述的貼合設備的制造裝置，其特征在于， 所述第一保持部件具有將所述第一基板的外邊部保持裝卸自如地保持的框狀部，在所述框狀部的中央位置形成所述空間部，所述第一基板的所述膨脹部沿所述厚度方向進入到所述空間部。
3.根據權利要求1或2所述的貼合設備的制造裝置，其特征在于， 所述驅動機構具有第一升降部，該第一升降部與所述按壓部連續設置而使該按壓部朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向接近移動。
4.根據權利要求2所述的貼合設備的制造裝置，其特征在于， 所述第一保持部件的所述框狀部具有沿橫縱方向移動自如的把持部位，所述把持部位沿與所述厚度方向交叉的該橫縱方向夾入所述第一基板的所述外邊部。
5.根據權利要求2所述的貼合設備的制造裝置，其特征在于， 所述第一保持部件的所述按壓部在所述厚度方向上不能移動地被固定，所述第一保持部件的所述框狀部具有支承部位，該支承部位以與由所述驅動機構進行的所述第二保持部件的接近移動聯動的方式在所述厚度方向上移動自如地進行支承。
6.一種貼合設備的制造方法，該貼合設備使包含多個構成部件的第一基板與覆蓋該第一基板的第二基板隔著粘結劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向使所述第一基板與所述第二基板相對移動并相互對位后貼合，所述貼合設備的制造方法的特征在于，包括如下工序: 保持工序，在具有空間部的第一保持部件上保持所述第一基板，且在第二保持部件上保持與所述第一保持部件之間隔著所述粘結劑相向的所述第二基板； 減壓工序，將容納所述第一保持部件及所述第二保持部件的腔室的內部空間從大氣氣氛減壓至規定的真空度；及 驅動工序，通過驅動機構使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任一個朝向另一個接近移動、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相對接近移動， 在所述保持工序中，使在所述第一基板上隨著所述腔室內的減壓而沿所述厚度方向突出變形的膨脹部沿該厚度方向進入到所述第一保持部件的所述空間部， 在所述驅動工序中，所述驅動機構的按壓部通過所述空間部而朝向所述第一基板的所述膨脹部沿所述厚度方向接近移動而抵接，且隔著所述粘結劑及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按壓。
【文檔編號】B32B37/12GK104369517SQ201410405931
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年8月13日 優先權日:2013年8月13日
【發明者】坂下光邦, 大谷義和 申請人:信越工程株式會社