激光打標進料裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及激光標識技術領域，尤其涉及一種激光打標進料裝置。
【背景技術】
[0002]隨著晶圓的廣泛使用，傳統的晶圓打標設備都是采用人工進料，效率低下，操作過程復雜化，由于這種方式的受到人為因素的影響，晶圓芯片在打標過程中會出現局部變形，極易損壞芯片，打標出來的字不均勻，出現間隙與斷隙，現有技術已越來越不符合晶圓附加的加工要求。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是提供一種激光打標進料裝置，該激光打標進料裝置能準確地取出晶圓并將待打標的晶圓地放置在精確的位置，精度高、全自動運行，使得晶圓打標過程中標記出來的字均勻、美觀、無間隙與斷隙。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型提供的激光打標進料裝置，用于將待打標的晶圓在檢測臺與打標臺上進行取放，包括裝置本體、裝設于所述裝置本體上用于對待打標晶圓片進行放置的放料結構15、至少一個用于將待打標晶圓片在所述放料結構15上進行取放的夾料機構，各所述夾料機構包括夾料結構本體、與所述夾料機構本體裝配在一起的可驅動所述夾料機構做上下移動的第一驅動機構、與所述第一驅動機構裝配在一起的可驅動所述夾料機做360度旋轉的第二驅動結構、二個裝設于所述第二驅動結構上的用于夾緊所述晶圓的夾緊臂、與所述夾緊臂裝配在一起的可驅動所述夾緊臂對所述晶圓分離或夾緊的第三驅動結構。
[0005]優選地，所述夾料機構的數量為2個，各所述夾料機構在可不同角度同時對晶圓進行夾取，當其中一個夾料機構將在檢測臺上檢測完的晶圓夾取后放置在打標臺上，另一個夾料機構將放料結構15中的晶圓夾取后放置在檢測臺上。
[0006]優選地，所述夾緊臂上裝設有用于判斷所述晶圓是否夾緊的傳感器。
[0007]優選地，所述放料結構15包括若干用于放置所述晶圓的放置層。
[0008]采用上述結構之后，首先將晶圓放置于放料框上，各所述夾料機構在可不同角度同時對晶圓進行夾取，其中一個夾料機構將在檢測臺上檢測完的晶圓夾緊后放置在打標臺上，另一個夾料機構將放料結構15中的晶圓夾取后放置在檢測臺上，該激光打標進料裝置能準確地取出晶圓并將待打標的晶圓地放置在精確的位置，精度高、全自動運行，使得晶圓打標的效率提尚。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型激光打標進料裝置的結構示意圖；
[0010]圖2為本實用新型激光打標進料裝置的立體透視圖。
【具體實施方式】
[0011]為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0012]請參閱圖1，圖1為本實用新型激光打標進料裝置的結構示意圖；圖2為本實用新型激光打標進料裝置的立體透視圖。
[0013]在本實施例中，激光打標進料裝置10，用于將待打標的晶圓在檢測臺與打標臺上進行取放，包括裝置本體14、裝設于裝置本體14上用于對待打標晶圓片進行放置的放料結構15、至少一個用于將待打標晶圓片在所述放料結構上進行取放的夾料機構11，各所述夾料機構11包括夾料結構本體、與所述夾料機構本體裝配在一起的可驅動所述夾料機構做上下移動的第一驅動機構、與所述第一驅動機構裝配在一起的可驅動所述夾料機做360度旋轉的第二驅動結構、二個裝設于所述第二驅動結構上的用于夾緊所述晶圓的夾緊臂、與所述夾緊臂裝配在一起的可驅動所述夾緊臂對所述晶圓分離或夾緊的第三驅動結構。
[0014]優選地，所述夾料機構11的數量為2個，各夾料機構11在可不同角度同時對晶圓進行夾取，當其中一個夾料機構11將在檢測臺上檢測完的晶圓夾取后放置在打標臺上，另一個夾料機構將放料結構中的晶圓夾取后放置在檢測臺上。
[0015]所述夾緊臂上裝設有用于判斷所述晶圓是否夾緊的傳感器。
[0016]放料結構15包括若干用于放置所述晶圓的放置層。
[0017]采用上述結構之后，首先將晶圓放置于放料框上，各所述夾料機構在可不同角度同時對晶圓進行夾取，其中一個夾料機構將在檢測臺上檢測完的晶圓夾緊后放置在打標臺上，另一個夾料機構將放料結構15中的晶圓夾取后放置在檢測臺上，該激光打標進料裝置能準確地取出晶圓并將待打標的晶圓地放置在精確的位置，精度高、全自動運行，使得晶圓打標的效率提尚。
[0018]應當理解的是，以上僅為本實用新型的優選實施例，不能因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。
【主權項】
1.激光打標進料裝置，用于將待打標的晶圓在檢測臺與打標臺上進行取放，其特征在于:包括裝置本體、裝設于所述裝置本體上用于對待打標晶圓片進行放置的放料結構、至少一個用于將待打標晶圓片在所述放料結構上進行取放的夾料機構，各所述夾料機構包括夾料結構本體、與所述夾料機構本體裝配在一起的可驅動所述夾料機構做上下移動的第一驅動機構、與所述第一驅動機構裝配在一起的可驅動所述夾料機做360度旋轉的第二驅動結構、二個裝設于所述第二驅動結構上的用于夾緊所述晶圓的夾緊臂、與所述夾緊臂裝配在一起的可驅動所述夾緊臂對所述晶圓分離或夾緊的第三驅動結構。2.根據權利要求1所述的激光打標進料裝置，其特征在于:所述夾料機構的數量為2個，各所述夾料機構在可不同角度同時對晶圓進行夾取，當其中一個夾料機構將在檢測臺上檢測完的晶圓夾取后放置在打標臺上，另一個夾料機構將放料結構中的晶圓夾取后放置在檢測臺上。3.根據權利要求1所述的激光打標進料裝置，其特征在于:所述夾緊臂上裝設有用于判斷所述晶圓是否夾緊的傳感器。4.根據權利要求1所述的激光打標進料裝置，其特征在于:所述放料結構包括若干用于放置所述晶圓的放置層。
【專利摘要】本實用新型公開了一種激光打標進料裝置，用于將待打標的晶圓在檢測臺與打標臺上進行取放，包括裝置本體、放料結構、夾料機構，各所述夾料機構包括夾料結構本體、與所述夾料機構本體裝配在一起的可驅動所述夾料機構做上下移動的第一驅動機構、與所述第一驅動機構裝配在一起的可驅動所述夾料機做360度旋轉的第二驅動結構、二個裝設于所述第二驅動結構上的用于夾緊所述晶圓的夾緊臂、與所述夾緊臂裝配在一起的可驅動所述夾緊臂對所述晶圓分離或夾緊的第三驅動結構。該激光打標進料裝置能準確地取出晶圓并將待打標的晶圓地放置在精確的位置，精度高、全自動運行，使得晶圓打標過程中標記出來的字均勻、美觀、無間隙與斷隙。
【IPC分類】B41J11/00, B41J2/435
【公開號】CN205033732
【申請號】CN201520042445
【發明人】鄒武兵, 張德安, 禹剛, 段家露, 羅偉智, 曾波
【申請人】深圳市韻騰激光科技有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2015年1月20日