正膠顯影液制備裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種正膠顯影液制備裝置，其特征在于它包括配制罐（1）、四甲基氫氧化銨儲罐（2）、聚乙二醇儲罐（3）、清水儲罐（4）、氫氧化鉀儲罐（5）、水洗槽（6）、氨氣罐（7）、過濾裝置（8）以及成品罐（9），所述配制罐（1）頂部的五個進料口分別連接四甲基氫氧化銨儲罐（2）、聚乙二醇儲罐（3）、清水儲罐（4）、氫氧化鉀儲罐（5）以及水洗槽（6），水洗槽（6）連接氨氣罐（7），配制罐（1）底部的出料口通過過濾裝置（8）連接成品罐（9）。本實用新型正膠顯影液制備裝置在配制罐中可以通入聚乙二醇儲罐以及氫氧化鉀，使得生產出的正膠顯影液具有低表面張力，避免與二氧化碳反應的優點。
【專利說明】正月父顯彭液制備裝直
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種正膠顯影液制備裝置。
【背景技術】
[0002]TMAH,即四甲基氫氧化銨可以作為光刻制程中的正膠顯影液。對于大尺寸的產品，需要先在堿洗槽中使用正膠顯影液對產品進行顯影，然后將產品取出，再用清水沖洗，產品取出后一般希望正膠顯影液盡可能少量的附著于產品表面便于后續的清水沖洗，因此需要正膠顯影液具有較低的表面張力。在產品取出堿洗槽后殘余在產品上的正膠顯影液后會暴露在空氣中，殘余在產品上的TMAH會與空氣中的二氧化碳發生反應，在產品上形成斑點，后經過清水沖洗也難以去除，影響產品質量。因此尋求一種生產出的正膠顯影液具有低表面張力，避免與二氧化碳反應的正膠顯影液制備裝置尤為重要。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種生產出的正膠顯影液具有低表面張力，避免與二氧化碳反應的正膠顯影液制備裝置。
[0004]本實用新型的目的是這樣實現的:
[0005]一種正膠顯影液制備裝置，它包括配制罐、四甲基氫氧化銨儲罐、聚乙二醇儲罐、清水儲罐、氫氧化鉀儲罐、水洗槽、氨氣罐、過濾裝置以及成品罐，所述配制罐頂部的五個進料口分別連接四甲基氫氧化銨儲罐、聚乙二醇儲罐、清水儲罐、氫氧化鉀儲罐以及水洗槽，水洗槽連接氨氣罐，配制罐底部的出料口通過過濾裝置連接成品罐，配制罐的頂部還通過管道連接有水封。
[0006]與現有技術相比，本實用新型的有益效果是:
[0007]本實用新型正膠顯影液制備裝置在配制罐中可以通入聚乙二醇儲罐以及氫氧化鉀，使得生產出的正膠顯影液具有低表面張力，避免與二氧化碳反應的優點。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型正膠顯影液制備裝置的結構示意圖。
[0009]其中:
[0010]配制罐1、四甲基氫氧化銨儲罐2、聚乙二醇儲罐3、清水儲罐4、氫氧化鉀儲罐5、水洗槽6、氨氣罐7、過濾裝置8、成品罐9。
【具體實施方式】
[0011]參見圖1，本實用新型涉及的一種正膠顯影液制備裝置，它包括配制罐1、四甲基氫氧化銨儲罐2、聚乙二醇儲罐3、清水儲罐4、氫氧化鉀儲罐5、水洗槽6、氨氣罐7、過濾裝置8以及成品罐9，所述配制罐1的頂部設置有五個進料口，其中四甲基氫氧化銨儲罐2的出料口與配制罐1的第一個進料口之間連接有第一管道，聚乙二醇儲罐3的出料口與配制罐1的第二個進料口之間連接有第二管道，清水儲罐4的出料口與配制罐1的第三個進料口之間連接有第三管道，氫氧化鉀儲罐5的出料口與配制罐1的第四個進料口之間連接有第四管道，水洗槽6的出料口與配制罐1的第五個進料口之間連接有第五管道，氨氣罐7的出料口與水洗槽6的進料口之間連接有第六管道，配制罐1底部的出料口與過濾裝置8之間連接有第七管道，過濾裝置8與成品罐9之間連接有第八管道10。以上各根管道上根據需要設置輸送泵。配制罐1的頂部還通過管道連接有水封10。
[0012]制備原理:
[0013]將四甲基氫氧化銨儲罐內的四甲基氫氧化銨輸送至配制罐中，由清水儲罐向配制罐通入清水對四甲基氫氧化銨進行稀釋至2.4%，在配制罐中按照3:1:1的比例通入聚乙二醇、水洗后的氨氣以及氫氧化鉀，最終四甲基氫氧化銨的濃度為2.38%。其中通入的聚乙二醇為表面活性劑，可以使得正膠顯影液成品的表面張力由傳統的75?76mN/m降低至48?52mN/m，通入的氫氧化鉀為添加劑，使得正膠顯影液成品在空氣中先由氫氧化鉀于二氧化碳發生反應，從而避免四甲基氫氧化銨與二氧化碳接觸發生反應，避免形成斑點。
【權利要求】
1.一種正膠顯影液制備裝置，其特征在于它包括配制罐(I)、四甲基氫氧化銨儲罐(2)、聚乙二醇儲罐(3)、清水儲罐(4)、氫氧化鉀儲罐(5)、水洗槽(6)、氨氣罐(7)、過濾裝置(8)以及成品罐(9)，所述配制罐(I)頂部的五個進料口分別連接四甲基氫氧化銨儲罐(2)、聚乙二醇儲罐(3 )、清水儲罐(4 )、氫氧化鉀儲罐(5 )以及水洗槽(6 )，水洗槽(6 )連接氨氣罐(7)，配制罐(I)底部的出料口通過過濾裝置(8)連接成品罐(9)，配制罐(I)的頂部還通過管道連接有水封(10)。
【文檔編號】G03F7/32GK204241835SQ201420620104
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年10月25日 優先權日:2014年10月25日
【發明者】殷潑清 申請人:江陰市化學試劑廠有限公司