1.一種用于將目標從基板轉移系統轉移至光刻系統的真空室的裝置，所述目標包括基板或基板支承結構，所述基板被夾箝在基板上，所述裝置包括：
負載鎖定室，所述負載鎖定室用于將所述目標轉移至所述光刻系統的所述真空室內和所述光刻系統的所述真空室外，所述負載鎖定室包括第一壁和第二壁，所述第一壁中具有第一通道，所述第一通道提供機器人空間和所述負載鎖定室內部之間的接入，所述第二壁中具有第二通道，所述第二通道提供所述負載鎖定室的內部和所述光刻系統的所述真空室之間的接入；和
多個操縱機器人，所述多個操縱機器人用于轉移所述目標,
其中所述多個操縱機器人包括：
第一操縱機器人，所述第一操縱機器人可在所述機器人空間內移動，以接入所述基板轉移系統和所述負載鎖定室的所述第一通道；和
第二操縱機器人，所述第二操縱機器人可在所述負載鎖定室內移動，以接入所述負載鎖定室的所述第一通道和所述負載鎖定室的所述第二通道，所述負載鎖定室的所述第二通道用于接入所述光刻系統的所述真空室。
2.如權利要求1所述的裝置，其中所述第一操縱機器人的可移動主體適于在所述機器人空間內進行可控制的豎直移動，以接入所述基板轉移系統和所述負載鎖定室的所述第一通道。
3.如權利要求2所述的裝置，其中所述基板轉移系統被布置成將所述目標供應至所述負載鎖定室的所述第一通道的位置上方的位置處。
4.如權利要求1所述的裝置，其中所述第二操縱機器人的可移動主體適于在所述負載鎖定室內進行可控制的水平移動，以接入所述負載鎖定室的所述第一通道和所述光刻系統的所述真空室的所述第二通道。
5.如權利要求4所述的裝置，其中所述第二操縱機器人的所述可移動主體還適于在所述負載鎖定室內進行可控制器的豎直移動。
6.如權利要求1所述的裝置，還包括可在所述負載鎖定室內移動的第三操縱機器人，以接入所述負載鎖定室的所述第一通道和所述光刻系統的所述真空室的所述第二通道。
7.如權利要求1所述的裝置，其中所述負載鎖定室的所述第一壁和所述第二壁是被布置成大致成直角的相鄰的壁。
8.如權利要求1所述的裝置，其中所述操縱機器人中的每一個包括可移動主體，所述可移動主體設置有多個延伸部，所述多個延伸部適于將不受夾箝的基板或者受夾箝的基板運載至支承結構，所述可移動主體可沿豎直和水平的方向可控制地移動。
9.如權利要求1所述的裝置，其中所述第二操縱機器人被布置成經由所述負載鎖定室的所述第二通道從所述真空室接收經處理的目標，并將所述經處理的目標轉移至所述負載鎖定室的所述第一通道。
10.如權利要求9所述的裝置，其中所述目標是受夾箝的基板。
11.如權利要求1所述的裝置，其中所述第二操縱機器人被布置成，在主要沿著所述第一壁和所述第二壁之間的角平分線定向時，例如經由所述第一通道從所述第一操縱機器人接收所述受夾箝的基板。
12.如權利要求11所述的裝置，其中所述第二操縱機器人包括設置在機器人臂上的主體，其中所述主體設置有至少兩個指部，所述至少兩個指部用于運載基板支承結構，所述基板被夾箝在所述基板支承結構上，并且其中所述第二操縱機器人被布置成，在所述主體的所述指部主要沿著所述第一壁和所述第二壁之間的角平分線定向時，例如經由所述第一通道從所述第一操縱機器人接收所述受夾箝的基板。
13.如權利要求12所述的裝置，其中所述指部具有拱形的形狀。
14.如權利要求12所述的裝置，其中所述第二操縱機器人包括：
用于所述機器人臂的基座，所述基座沿軌道可移動地布置，其中所述軌道被定向成基本豎直的方向；和
段部，所述段部連接至所述基座并且所述基座使所述機器人臂能夠平移和轉動所述基板支承結構，所述基板被夾箝在所述基板支撐結構上處于二維平面中。
15.如權利要求14所述的裝置，其中所述第二操縱機器人包括相對于所述基座鉸接的所述臂，以及相對于所述臂鉸接的所述主體。
16.如權利要求15所述的裝置，其中所述第二操縱機器人包括可豎直移動的或否則處于固定方式的所述基座。
17.如權利要求14所述的裝置，其中所述第二操縱機器人包括經由所述各自的段部和基座分別可移動地布置到所述軌道的兩個主體。
18.如權利要求17所述的裝置，其中所述兩個主體可同時豎直地移動。
19.如權利要求1所述的裝置，其中所述第二操縱機器人被布置成執行以下一系列動作：
所述第二通道關閉時，經由所述第一通道接收受夾箝的基板；
所述第一通道關閉時，經由所述第二通道從所述真空室接收經處理的受夾箝的基板；
所述第一通道關閉時，將所述受夾箝的基板經由所述第二通道向所述真空室轉移；和
所述第二通道關閉時，以任意順序執行將所述經處理的受夾箝的基板轉移至所述第一通道和經由所述第一通道接收另一個受夾箝的基板。
20.一種光刻系統，包括用于將目標從基板轉移系統轉移至所述光刻系統的真空室的裝置，所述目標包括基板或者基板支承結構，所述基板被夾箝在所述基板支承結構上，其中所述裝置包括：
負載鎖定室，所述負載鎖定室用于將所述目標轉移至所述光刻系統的所述真空室內或所述光刻系統的所述真空室外，所述負載鎖定室包括第一壁和第二壁，所述第一壁中具有第一通道，所述第一通道提供機器人空間和所述負載鎖定室的內部之間的接入，所述第二壁中具有第二通道，所述第二通道提供所述負載鎖定室內部和所述光刻系統的所述真空室之間的接入；和
多個操縱機器人，所述多個操縱機器人用于轉移所述目標,
其中所述多個操縱機器人包括：
第一操縱機器人，所述第一操縱機器人可在所述機器人空間內移動，以接入所述基板轉移系統和所述負載鎖定室的所述第一通道；和
第二操縱機器人，所述第二操縱機器人可在所述負載鎖定室內移動，以接入所述負載鎖定室的所述第一通道和所述負載鎖定室的所述第二通道，所述負載鎖定室的所述第二通道用于接入所述光刻系統的所述真空室。
21.一種用于將目標從基板轉移系統轉移至光刻系統的真空室的方法，所述目標包括基板或基板支承結構，所述基板被夾箝在所述基板支承結構上，所述方法包括：
負載鎖定室，所述負載鎖定室將所述目標轉移至所述光刻系統的所述真空室內或所述光刻系統的所述真空室外，其中所述負載鎖定室包括第一壁和第二壁，所述第一壁中具有第一通道，所述第一通道提供機器人空間和所述負載鎖定室內部之間的接入，所述第二壁中具有第二通道，所述第二通道提供所述負載鎖定室的內部和所述光刻系統的所述真空室之間的接入；
多個操縱機器人，所述多個操縱機器人轉移所述目標,
其中所述多個操縱機器人包括：
第一操縱機器人，所述第一操縱機器人可在所述機器人空間內移動，以接入所述基板轉移系統和所述負載鎖定室的所述第一通道；和
第二操縱機器人，所述第二操縱機器人可在所述負載鎖定室內移動，以接入所述負載鎖定室的所述第一通道和所述負載鎖定室的所述第二通道，所述負載鎖定室的所述第二通道用于接入所述光刻系統的所述真空室。
22.如權利要求21所述的方法，其中目標是受夾箝的基板，并且其中所述第二操縱機器人執行以下一系列動作：
所述第二通道關閉時，經由所述第一通道接收所述受夾箝的基板；
所述第一通道關閉時，經由所述第二通道從所述真空室接收經處理的受夾箝的基板；
所述第一通道關閉時，經由所述第二通道向所述真空室轉移所述受夾箝的基板；和
所述第二通道關閉時，以任意順序執行將所述經處理的受夾箝的基板轉移至所述第一通道和經由所述第一通道接收另一個受夾箝的基板。