一種聚對二甲苯有機靶的制備方法
【專利摘要】本發明涉及鍍膜工藝【技術領域】，尤其是涉及一種聚對二甲苯有機靶的制備方法，該制備方法采用真空氣相沉積，通過在真空條件下,將粉體聚對二甲苯粉升華，沉積在低溫靶座上，獲得聚對二甲苯有機靶，本發明制備的聚對二甲苯有機靶，表面致密光滑，密度達到聚對二甲苯的理論密度，含氧量小于0.05%，孔隙率小于0.5%，材料吸附率低，因此在150℃升華時，靶材中的氧及水份的影響極小，用于鍍膜生產，生產品質穩定，并且一次更換靶材可以使用1個月左右時間，無需頻繁換靶，節約鍍膜周期；工藝簡單，投資成本低，節能、環保。
【專利說明】一種聚對二甲苯有機靶的制備方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及鍍膜工藝【技術領域】，尤其是涉及鍍膜使用的靶材制作。
【背景技術】
[0002] 聚對二甲苯膜具有極其優良的電性能、耐熱性、耐候性和化學穩定性，主要用于電 子元器件的電絕緣介質、保護性涂料和包封材料等。目前的真空沉積防水膜裝置，一般是采 用化學氣相沉積聚對二甲苯膜。其制作過程如下：首先，將粉末狀的聚對二甲苯置于蒸發 室中，并加熱到150°C，使粉末狀的聚對二甲苯汽化；然后，將聚對二甲苯氣體傳送至裂解 室，并加熱到650°C以進行裂解；之后，將聚對二甲苯單體傳送沉積室，并沉積在基板上。上 述工藝使用的是粉體聚對二甲苯粉，利用加熱電阻絲加熱粉體，然而粉體的聚對二甲苯松 散不致密，占用空間較大，因此一次藥劑的裝載量較少，這導致鍍一爐產品就要添加一次粉 體，并且需要對加藥室由150°C降到室溫，加藥完后，重新再升到150°C，操作過于頻繁，反 復升降溫，嚴重影響鍍膜周期。
[0003] 此外，聚對二甲苯粉體易吸水氣及空氣，不易保存，當高溫加熱升華時，就會導致 聚對二甲苯氧化，裂解不徹底，從而影響鍍膜質量，甚至會導致產品防水失效。因而，目前粉 體聚對二甲苯很難加工成型制成塊狀靶材，也沒有有關聚對二甲苯有機靶制備方法。
[0004] 在此背景下，本 申請人:迎合市場發展的需求及新材料的應用，秉持著研究創新、精 益求精之精神，利用其專業眼光和專業知識，研究出一種適宜產業利用的聚對二甲苯有機 靶的制備方法。
【發明內容】
[0005] 本發明的目的在于提供一種工藝簡單，操作簡便，聚對二甲苯有機靶的制備方法， 可制備出致密無孔的有機靶材。
[0006] 為達到上述目的，本發明采用如下技術方案： 一種聚對二甲苯有機靶的制備方法，該制備方法采用真空氣相沉積，通過在真空條件 下，將粉體聚對二甲苯粉升華，沉積在低溫靶座上，獲得聚對二甲苯有機靶，具體步驟如 下： 步聚1)、將聚對二甲苯粉稱重并加入真空爐中的加熱槽里； 步驟2)、將加工好的靶座安裝在真空爐中； 步驟3)、將真空爐抽真空到達ITorr，進行真空等離子清洗，將靶座表面的水汽及氧去 除，并產生一定粗化效果，增加靶座表面的結合力； 步驟4)、將真空爐抽真空到達0. ITorr，然后通入lOsccm的氬氣保護，真空爐升溫至 150攝氏度，將粉體聚對二甲苯粉升華，同時將靶座通過水冷控制在35攝氏度以內，以便升 華的聚對二甲苯沉積在靶座上，真空沉積時間40小時，制備出聚對二甲苯有機靶。
[0007] 上述方案中，所述步驟3)的真空等離子清洗是通入500sccm的氦氣，偏壓1000V， 時間lOmin。
【權利要求】
1. 一種聚對二甲苯有機靶的制備方法，其特征在于：該制備方法采用真空氣相沉積， 通過在真空條件下，將粉體聚對二甲苯粉升華，沉積在低溫靶座上，獲得聚對二甲苯有機 靶，具體步驟如下： 步聚1)、將聚對二甲苯粉稱重并加入真空爐中的加熱槽里； 步驟2)、將加工好的靶座安裝在真空爐中； 步驟3)、將真空爐抽真空到達ITorr，進行真空等離子清洗，將靶座表面的水汽及氧去 除，并產生一定粗化效果，增加靶座表面的結合力； 步驟4)、將真空爐抽真空到達0. ITorr，然后通入lOsccm的氬氣保護，真空爐升溫至 150攝氏度，將粉體聚對二甲苯粉升華，同時將靶座通過水冷控制在35攝氏度以內，以便升 華的聚對二甲苯沉積在靶座上，真空沉積時間40小時，制備出聚對二甲苯有機靶。
2. 根據權利要求1所述的一種聚對二甲苯有機靶的制備方法，其特征在于：所述步驟 3)的真空等離子清洗是通入500sccm的氦氣，偏壓1000V，時間lOmin。
3. 根據權利要求1所述的一種聚對二甲苯有機靶的制備方法，其特征在于：所述聚對 二甲苯粉包括N型、C型、D型及HT型。
4. 根據權利要求1所述的一種聚對二甲苯有機靶的制備方法，其特征在于：所述靶座 為不銹鋼材質制成，所得的聚對二甲苯有機靶的形狀是矩形、圓形或棒形。
【文檔編號】C23C16/448GK104087911SQ201410289903
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年6月26日 優先權日:2014年6月26日
【發明者】吳子豹 申請人:廣東易能納米科技有限公司