專利名稱：硅烷制備的分子篩提純裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種化工產品的制備裝置，特別是一種硅烷制備的分子篩提純裝 置，適合于硅烷提高純度。
背景技術：
目前，微電子技術是現代信息技術和軍事技術的主要基石，是推動科技進步、產業 發展、經濟騰飛和社會前進的關鍵因素之一。集成電路是微電子技術的核心，其發展水平和 產業規模已成為衡量一個國家經濟實力的重要標志。電子特種氣體(如硅烷)，尤其是高純 電子氣體作為電子化工材料這一新門類，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。隨 著電子信息技術的飛速發展，集成度越來越高，對基礎原材料(如硅烷)的純度要求已經提 高到了 6N級(99. 9999% )，甚至7N以上，因此制備高純電子特種氣體技術更顯得迫在眉 睫。而有能力生產6N級以上高純電子氣體的只有少數國家，而高純氣體在電子產品、航空 航天、高效太陽能電池、軍事工業方面有著廣泛的應用，硅烷的制備技術尚未完善，制作方 法工藝復雜，較難掌握，生產的產品尚不能全面滿足相關電子產品的需要，質量差，問題多， 只能用于制造低規格的產品，因此，給用戶帶來了較大的麻煩，這種狀況嚴重地制約了電子 技術的發展。
發明內容本實用新型所要解決的問題在于，克服現有技術的不足，提供了一種硅烷制備的 分子篩提純裝置。該裝置不僅設計合理，制作簡單，而且為硅烷提高純度打下了基礎。本實用新型采用的技術方案是純硅烷出口、過濾器、純尾氣出口、蛇管柱、取樣 口、u管柱、4A分子篩吸附柱、5A分子篩吸附柱、粗硅烷進入口、流量計、真空泵接口、放空水 封池、油封按其系統功能通過其中間連接的閥門。壓力表的連接管線組裝一體而構成。使 用時，粗硅烷由粗硅烷進入口進入本裝置，經過濾器過濾，打開所需閥門，4A分子篩吸附柱 主要吸附粗硅烷氣體中分子直徑為4A的雜質性氣體如NH3等。5A分子篩吸附柱主要吸附 分子直徑為5A的雜質性氣體如IIIA、vA族元素的氫化物和碳氫化合物等。吸附柱可以多次重復使用，且潔凈度會愈來愈高。當5Α分子篩終端在線檢測出現 乙硅烷時，說明分子篩的吸附能力已接近飽和，必須進行分子篩的重新活化。經分子篩吸附提純，經U管柱和蛇管柱從純硅烷出口)流出的氣流是硅烷與氫氣 的二元混合氣。02、N2、C0、C02、CH4、H20等雜質均可降到10_6，IIIA、vA族元素的氫化物含量 均可降到10_9以下。從而制備出高純度5N(純度達99. 9999%)以上的硅烷氣產品。本實用新型的有益效果是，設計合理，使用方便，是硅烷產品提高純度的理想裝 置。
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。[0009]
圖1為本實用新型的結構示意圖。附圖編號為1、純硅烷出口，2、過濾器，3、純尾氣出口，4、蛇管柱，5、取樣口，6、U 管柱，7、4A分子篩吸附柱，8、5A分子篩吸附柱，9、粗硅烷進入口，10、流量計，11、真空泵接 口，12、放空水封池，13、油封，14、連接管線，15壓力表，16、閥門。
具體實施方式
參照
圖1，純硅烷出口(1)、過濾器(2)、純尾氣出口(3)、蛇管柱(4)、取樣口(5)、 U管柱(6)、4A分子篩吸附柱(7)、5A分子篩吸附柱(8)、粗硅烷進入口(9)、流量計(10)、真 空泵接口(11)、放空水封池(12)、油封(13)按其系統功能通過其中間連接的閥門(16)、壓 力表(15)的連接管線(14)組裝一體而構成。使用時，粗硅烷由粗硅烷進入口(9)進入本 裝置，經過濾器(2)過濾，打開所需閥門，4A分子篩吸附柱(7)主要吸附粗硅烷氣體中分子 直徑為4A的雜質性氣體如NH3等。5A分子篩吸附柱(8)主要吸附分子直徑為5A的雜質性 氣體如IIIA、νΑ族元素的氫化物和碳氫化合物等。吸附柱可以多次重復使用，且潔凈度會愈來愈高。當5A分子篩終端在線檢測出現 乙硅烷時，說明分子篩的吸附能力已接近飽和，必須進行分子篩的重新活化。經分子篩吸附提純，經U管柱(6)和蛇管柱(4)從純硅烷出口(1)流出的氣流是 硅烷與氫氣的二元混合氣。02、N2、C0、C02、CH4、H20等雜質均可降到10_6，IIIA、vA族元素的 氫化物含量均可降到10_9以下。從而制備出高純度5N(純度達99. 9999% )以上的硅烷氣
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權利要求一種硅烷制備的分子篩提純裝置，其特征在于純硅烷出口、過濾器、純尾氣出口、蛇管柱、取樣口、U管柱、4A分子篩吸附柱、5A分子篩吸附柱、粗硅烷進入口、流量計、真空泵接口、放空水封池、油封通過其中間連接的閥門，壓力表的連接管線組裝一體而構成。
專利摘要本實用新型公開了一種硅烷制備的分子篩提純裝置，主要由純硅烷出口、過濾器、純尾氣出口、蛇管柱、取樣口、U管柱、4A分子篩吸附柱、5A分子篩吸附柱、粗硅烷進入口、流量計、真空泵接口、放空水封池、油封按其系統功能通過其中間連接的閥門。壓力表的連接管線組裝一體而構成。該裝置不僅設計合理，制作簡單，而且為硅烷提高純度提供了理想的工具。
文檔編號C01B33/04GK201686495SQ20102013419
公開日2010年12月29日 申請日期2010年3月18日 優先權日2010年3月18日
發明者李中元 申請人:天津市泰亨氣體有限公司