本實用新型涉及多晶硅定向凝固設備技術領域,具體涉及一種鑄錠籽晶融化厚度測量裝置。
背景技術:
多晶硅鑄錠過程中需要對籽晶的融化程度進行檢測,即對籽晶的融化厚度進行測量,目前通用的測量方法是人工手持測量棒,穿過爐體接觸硅液,來測量硅液底部高度,通過物理尺寸來判斷籽晶融化厚度;這種方法存在很多問題,測量過程需要在人工手持的狀態下進行,不夠自動化,測量運行時間和過程不易控制、測量結果不一致、測量棒使用壽命較短等問題,并且易導致測量數據出現誤差及使用不方便的情況。
技術實現要素:
針對現有技術中的缺陷,本實用新型提供一種鑄錠籽晶融化厚度測量裝置,以提高測量過程的自動化,提高測量的準確性。
為達到上述目的,本實用新型采用如下的技術方案:
一種鑄錠籽晶融化厚度測量裝置,包括箱體、支撐桿、電機、編碼器、連接絲以及測量棒;
所述箱體通過所述支撐桿連接于鑄錠爐殼體的頂端,所述電機及所述編碼器設置于所述箱體內,所述測量棒設置于所述鑄錠爐內坩堝裝置的上方,所述連接絲的一端連接于所述電機的輸出端,另一端依次連接所述編碼器的輸入部及所述測量棒的上端,所述箱體及所述鑄錠爐殼體上分別對應設置有可供所述連接絲通過的第一通孔及第二通孔,所述編碼器的輸出部連接有外部接收器。
作為一種優選的技術方案,所述箱體、所述支撐桿及所述連接絲均為金屬構件。
作為一種優選的技術方案,所述支撐桿與所述箱體之間、所述支撐桿與所述鑄錠爐殼體之間的連接方式為螺紋連接。
作為一種優選的技術方案,所述測量棒為石英構件的測量棒。
作為一種優選的技術方案,所述第一通孔內設有用以固定所述連接絲的固定件。
作為一種優選的技術方案,所述第二通孔內設有用以密封鑄錠爐內部空間的密封件。
由于采用以上技術方案,本實用新型具有以下有益效果:
一種鑄錠籽晶融化厚度測量裝置,包括箱體、支撐桿、電機、編碼器、連接絲以及測量棒;箱體通過支撐桿連接于鑄錠爐殼體的頂端,電機及編碼器設置于箱體內,測量棒設置于鑄錠爐內坩堝裝置的上方,連接絲的一端連接于電機的輸出端,另一端依次連接編碼器的輸入部及測量棒的上端,箱體及鑄錠爐殼體上分別對應設置有可供連接絲通過的第一通孔及第二通孔,編碼器的輸出部連接有外部接收器;基于以上結構,本實用新型在使用時,利用支撐桿作為箱體及鑄錠爐殼體之間的連接件,利用箱體起到支承的作用,為測量過程提供了場所,利用電機可以通過對連接絲進行卷繞從而對測量棒進行提升作用,利用編碼器可以對連接絲的運動位移及運動速率進行檢測及傳輸,利用對應設置的箱體上的第一通孔及鑄錠爐殼體上的第二通孔可以使連接絲便于通過及運動,利用外部接收器可以將編碼器測量到的數據結果進行接收并存儲或顯示。
本實用新型中,箱體、支撐桿及連接絲均為金屬構件;基于以上結構,本實用新型在使用時,利用金屬構件的箱體、支撐桿及連接絲,提高了整體裝置的強度、剛度及耐磨性,增加了整體裝置的使用壽命。
本實用新型中,支撐桿與箱體之間、支撐桿與鑄錠爐殼體之間的連接方式為螺紋連接;基于以上結構,本實用新型在使用時,利用支撐桿與箱體之間的螺紋連接,支撐桿與鑄錠爐殼體之間的螺紋連接,便于安裝、拆卸及維修,提高了整體裝置結構的穩定性及便利性。
本實用新型中,測量棒為石英構件的測量棒;基于以上結構,本實用新型在使用時,石英構件的測量棒為市場上通用的構件,便于替換。
本實用新型中,第一通孔內設有用以固定連接絲的固定件;基于以上結構,本實用新型在使用時,利用設置于第一通孔內用以固定連接絲的固定件,減小了因連接絲在工作過程中的晃動而對測量結果產生的影響,增加了整體裝置工作的穩定性及測量結果的準確性。
本實用新型中,第二通孔內設有用以密封鑄錠爐內部空間的密封件;基于以上結構,本實用新型在使用時,利用設置于第二通孔內的用以密封鑄錠爐內部空間的密封件,保證了鑄錠爐內部空間的密封性,減小了連接絲對于鑄錠爐工作過程的影響。
綜上所述,本實用新型提高了測量過程的自動化,提高了測量的準確性,測量數據便于分析、存儲及后續處理,結構簡單,便于操作。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現有技術中的技術方案,下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。在所有附圖中,類似的元件或部分一般由類似的附圖標記標識。附圖中,各元件或部分并不一定按照實際的比例繪制。
圖1為本實用新型的結構示意圖;
附圖中,1、箱體,11、第一通孔,2、支撐桿,3、電機,4、編碼器,5、連接絲,6、測量棒,7、第二通孔,8、鑄錠爐殼體,9、坩堝裝置。
具體實施方式
下面將結合實施例對本實用新型的技術方案進行詳細的描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案,因此只作為示例,而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
如圖1所示的實施例中的一種鑄錠籽晶融化厚度測量裝置,包括箱體1、支撐桿2、電機3、編碼器4、連接絲5以及測量棒6;箱體1通過支撐桿2連接于鑄錠爐殼體8的頂端,利用支撐桿2作為箱體1及鑄錠爐殼體8之間的連接件,支撐桿2與箱體1之間、支撐桿2與鑄錠爐殼體8之間的連接方式為螺紋連接,利用支撐桿2與箱體1之間的螺紋連接,支撐桿2與鑄錠爐殼體8之間的螺紋連接,便于安裝、拆卸及維修,提高了整體裝置結構的穩定性及便利性;電機3及編碼器4設置于箱體1內,利用箱體1起到支承的作用,為測量過程提供了場所,測量棒6設置于鑄錠爐內坩堝裝置9的上方,測量棒6為石英構件的測量棒6,石英構件的測量棒6為市場上通用的構件,成本較低,使用購買及替換較為方便,連接絲5的一端連接于電機3的輸出端,利用電機3可以通過對連接絲5進行卷繞從而對測量棒6進行提升操作,另一端依次連接編碼器4的輸入部及測量棒6的上端,利用編碼器4可以對連接絲5的運動位移及運動速率進行檢測及傳輸,本實施例中使用的編碼器4為旋轉編碼器,箱體1及鑄錠爐殼體8上分別對應設置有可供連接絲5通過的第一通孔11及第二通孔7,利用對應設置的箱體1上的第一通孔11及鑄錠爐殼體8上的第二通孔7可以使連接絲5便于通過及運動,編碼器4的輸出部連接有外部接收器(圖中未示出),利用外部接收器可以將編碼器4測量到的數據結果進行接收并分析存儲或顯示,編碼器及外部接收器均為現有技術,在此不做贅述。
本實施例中的箱體1、支撐桿2及連接絲5均為金屬構件,利用金屬構件的箱體1、支撐桿2及連接絲5,提高了整體裝置的強度、剛度及耐磨性,增加了整體裝置的使用壽命。
本實施例中第一通孔11內設有用以固定連接絲5的固定件,利用設置于第一通孔11內用以固定連接絲5的固定件,減小了因連接絲5在工作過程中的晃動而對測量結果產生的影響,增加了整體裝置工作的穩定性及測量結果的準確性;第二通孔7內設有用以密封鑄錠爐內部空間的密封件,利用設置于第二通孔7內的用以密封鑄錠爐內部空間的密封件,保證了鑄錠爐內部空間的密封性,減小了連接絲5對于鑄錠爐工作過程的影響。
本實用新型在使用時,測量棒在自身重力的作用下向下運動,當運動到硅液底部后停止運動,編碼器同時進行工作記錄連接絲的位移及速度并將數據傳輸到編碼器所連接的外部接收器中進行分析顯示或存儲,從而得到鑄錠爐內籽晶的融化深度,測量完成后利用電機對連接絲及測量棒進行提升。
最后應說明的是:以上各實施例僅用以說明本實用新型的技術方案,而非對其限制;盡管參照前述各實施例對本實用新型進行了詳細的說明,本領域的普通技術人員應當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改,或者對其中部分或者全部技術特征進行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應技術方案的本質脫離本實用新型各實施例技術方案的范圍,其均應涵蓋在本實用新型的權利要求和說明書的范圍當中。