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一種GaN基發光二極管的外延片及其生長方法與流程

文檔序號:11102614閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種GaN基發光二極管的外延片,所述外延片包括藍寶石襯底、以及依次層疊在所述藍寶石襯底上的緩沖層、未摻雜的GaN層、N型層、多量子阱層、P型層,其特征在于,所述外延片還包括層疊在所述未摻雜的GaN層和所述N型層之間的應力釋放層,所述應力釋放層包括交替層疊的未摻雜的AlxGa1-xN層和SiN層,0≤x<1,所述SiN層中Si組分含量按照如下任一種方式變化:保持不變、沿所述外延片的層疊方向線性增大、沿所述外延片的層疊方向線性減小、單層保持不變且沿所述外延片的層疊方向逐層增大、單層保持不變且沿所述外延片的層疊方向逐層減小、單層保持不變且沿所述外延片的層疊方向先逐層增大再逐層減小、單層保持不變且沿所述外延片的層疊方向先逐層減小再逐層增大。

2.根據權利要求1所述的外延片,其特征在于,所述SiN層的厚度與所述未摻雜的AlxGa1-xN層的厚度相同或者不同。

3.根據權利要求1或2所述的外延片,其特征在于,所述AlxGa1-xN層中Al組分含量保持不變或者沿所述外延片的層疊方向變化。

4.根據權利要求1或2所述的外延片,其特征在于,所述P型層包括依次層疊在所述多量子阱層上的P型電子阻擋層、P型空穴提供層、P型接觸層。

5.一種GaN基發光二極管的外延片的生長方法,其特征在于,所述生長方法包括:

提供一藍寶石襯底;

在所述藍寶石襯底上依次生長緩沖層、未摻雜的GaN層、應力釋放層、N型層、多量子阱層、P型層;

其中,所述應力釋放層包括交替層疊的未摻雜的AlxGa1-xN層和SiN層,0≤x<1,所述SiN層中Si組分含量按照如下任一種方式變化:保持不變、沿所述外延片的層疊方向線性增大、沿所述外延片的層疊方向線性減小、單層保持不變且沿所述外延片的層疊方向逐層增大、單層保持不變且沿所述外延片的層疊方向逐層減小、單層保持不變且沿所述外延片的層疊方向先逐層增大再逐層減小、單層保持不變且沿所述外延片的層疊方向先逐層減小再逐層增大。

6.根據權利要求5所述的生長方法,其特征在于,所述SiN層的生長溫度與所述未摻雜的AlxGa1-xN層的生長溫度相同或者不同。

7.根據權利要求5或6所述的生長方法,其特征在于,所述SiN層的生長壓力與所述未摻雜的AlxGa1-xN層的生長壓力相同或者不同。

8.根據權利要求5或6所述的生長方法,其特征在于,所述SiN層的厚度與所述未摻雜的AlxGa1-xN層的厚度相同或者不同。

9.根據權利要求5或6所述的生長方法,其特征在于,所述AlxGa1-xN層中Al組分含量保持不變或者沿所述外延片的層疊方向變化。

10.根據權利要求5或6所述的生長方法,其特征在于,所述P型層包括依次層疊在所述多量子阱層上的P型電子阻擋層、P型空穴提供層、P型接觸層。

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