MPa ；
[0130]f)調節減壓閥PR2，至壓力表M3顯示的示數，約0.3MPa ；
[0131]g)打開截止閥門V12;
[0132]h)保持 5min;
[0133]i)關閉截止閥門V4;
[0134]j)打開截止閥門V9，經截止閥門V9和單向閥V34向大氣排出殘余空氣；
[0135]k)關閉截止閥門V9;
[0136]I)打開截止閥門Vll-1及其后段閥門，通過排空栗對管道抽真空，至壓力表M3顯示的示數，不高于5kPa;
[0137]m)關閉截止閥門VlO及其后段閥門；
[0138]η)關閉截止閥門V12;
[0139]ο)關閉截止閥門Vl和V2中未關閉的一個；
[ΟΜΟ]ρ)關閉截止閥門V5和V6中未關閉的一個；
[0141]q)將減壓閥PRl和PR2退回初始位置；
[0142]r)重復執行b)?q)步驟8次；
[0143]s)執行b)?k)步驟，以保持管道內為正壓狀態；
[0144]t)確認關閉截止閥門Vl?V18。
[OH5]此時，管道內為已置換完成后，壓力為充氬約0.2MPa的正壓狀態。
[0146]置換過程中充壓、泄放壓力可由M3檢測。
[0147]步驟三、殘余Ar氣的置換，即二次置換，包括對系統前段和系統中段的二次置換，具體為:
[0148]系統前段(V1、V2前)為高壓段，以高純Xe充壓至2 3MPa，向大氣泄放至約0.15MPa(注:不低于當地大氣壓約85kPa，壓力為絕壓，泄放壓力由單向閥設定)。充放循環5次，置換至高壓管道內的Ar含量低于10ppm(估算值)，置換通道與殘余空氣置換通道相同。此時，管道內為純度99.995%的、壓力為約0.15MPa的Xe。
[0149]置換流程如下:
[0150]本流程前提是已完成殘余空氣置換，管道內為高純正壓氬氣，堵頭堵住C4或連接置換氣瓶Ar，氣瓶閥門關閉。
[0151]a)保持截止閥門Vl?V18關閉；
[0152]b)控制減壓閥PRl、PR2工作(頂進)；
[0153]c)打開截止閥門V7、V8;
[0154]d)打開截止閥門Vll及其后段閥門，通過干栗對管道抽真空；
[0155]e)關閉截止閥門Vl?V18;
[0156]f)打開快卸接頭Cl所接Xe氣瓶BI閥門；
[0157]g)打開截止閥門V7;
[0158]h)保持 2min;
[0159]i)關閉快卸接頭Cl所接Xe氣瓶閥門；
[0160]j)打開截止閥門V9，經截止閥門V9和單向閥V34向大氣排出殘余Ar;
[0161]k)重復 h)?j)5次；
[0162]I)打開快卸接頭C2所接Xe氣瓶閥門；
[0163]m)打開截止閥門V8;
[0164]η)保持 2min;
[0165]ο)關閉快卸接頭C2所接Xe氣瓶閥門；
[0166]ρ)打開截止閥門V9，經截止閥門V9和單向閥V34向大氣排出殘余Ar;
[0167]q)重復 I)?p)5 次；
[0168]此時，管道前段內為純度5.0N、壓力為約0.15MPa的Xe。
[0169]系統中段(V1/V2后、M3前)置換流程，具體為:
[0170]系統低壓段(高壓后、M3前)，在系統前段置換后，以高純Xe充壓至二級減壓器設定輸出壓力，即0.3MPa，向排空栗泄放至5kPa，循環5次，置換至低壓管道內的Ar含量低于1ppm(估算值)，置換通道同空氣置換通道。
[0171]置換流程如下:
[0172]本流程前提是接續系統前段(V1、V2前)置換流程。
[0173]a)保持截止閥門Vl?V18關閉；
[0174]b)選定兩個推進劑氣瓶中的一個，并打開其后連接的快卸接頭及截止閥門，SPCl氣瓶閥門及截止閥門Vl (或C2氣瓶閥門及V2);
[0175]c)調節減壓閥PR1，至壓力表M2顯示約0.6MPa;
[0176]d)調節減壓閥PR2，至壓力表M3顯示約0.3MPa;
[0177]e)打開截止閥門V12;
[0178]f)保持 5min;
[0179]g)關閉截止閥門Vl(或V2);
[0180]h)打開截止閥門V9，經截止閥門V9、V34向大氣排出殘余Ar;
[0181]i)關閉截止閥門V9;
[0182]j)打開截止閥門Vll-1及其后段閥門，通過干栗對管道抽真空，至壓力表M3顯示的示數，不高于5kPa;
[0183]k)關閉截止閥門VlO及其后段閥門；
[0184]I)關閉截止閥門V12;
[0185]m)關閉截止閥門Vl和V2中未關閉的一個；
[0186]η)將減壓閥PRl、PR2退回初始位置；
[0187]ο)重復執行步驟b)?n)5次；
[0188]p)執行步驟b)?i)，以保持管道內為正壓狀態；
[0189]q)確認關閉截止閥門Vl?V18。
[0190]此時，管道內為已置換完成后，壓力為充氣約0.2MPa的正壓狀態。
[0191]置換過程中充壓、泄放壓力可由M3檢測。
[0192]步驟四、LIPS200離子電推力器的流量供給，具體為:
[0193]供氣系統需要為2臺離子推力器同時或單獨工作供給推進劑，因此系統配置了兩套質量流量控制器MFC，每套由3臺MFC構成，其中M4、M5、M6為一套，分別向1#推力器的陰極、陽極、中和器提供流量控制;M7、M8、M9為另一套，分別向2#推力器的陰極、陽極、中和器提供流量控制。
[0194]通過截止閥門V13?V18的開閉，可以控制向推力器的推進劑是否供給;通過質量流量控制器M4?M9的調節，可以控制向推力器供給的推進劑流量。
[0195]正式工作前應對質量流量控制器MFC后級管道進行排空處理，具體要求為:關閉各MFC及對應的電磁閥，打開FLA上相應的手動閥門，通過真空倉對負壓管道進行抽真空處理，至少應處理4h。
[0196]流量供給流程如下:
[0197]確認全部閥門關閉；
[0198]控制計算機上各質量流量控制器MFC設置為工作所需的流量；
[0199]打開快卸接頭Cl氣瓶閥門及截止閥門Vl(或C2氣瓶閥門及V2);
[0200 ] 調節減壓閥PRl至壓力表M2顯示的數值，為0.3+10 % MPa;
[0201]調節減壓閥PR2至壓力表M3的數值顯示0.3±10%MPa;
[0202]手動打開截止閥門V13?V18后級對應手動閥門V19?V24;
[0203]控制計算機上打開V13?V18閥門；
[0204]工作過程中，可隨時按要求設置各MFC供給流量，設置為O流量時，并不能保證該支路完全沒有流量，此時供給的流量為該MFC的最小流量。
[0205]為確保該支路流量完全為0，應關閉該支路對應的電磁閥；如長期不使用該支路，則同時應關閉該支路對應的手動截止閥(FLA上的V19?V24)。
[0206]擴展推力器的流量供給:
[0207]因為設計不同量程范圍的MFC入口壓力是相同的，因此，當需要為已超出LIPS200離子電推力器設計量程/精度的其他推力器供給流量時，可更換符合要求量程/精度的MFC，在無需更改其他部分的情況下，擴展系統的流量使用范圍。由于主要試驗對象LIPS-200離子電推力器的單路流量為14(1+10% )sccm，I個試驗周期500h需要推進劑約0.46m3(標況)，常用Xe氣瓶填充量為約lm3(標況)，2臺推力器同時工作時，在考慮了清洗、置換用量后，為保證I個試驗周期不間斷工作需要的足夠推進劑量，所以同時接入2個氣瓶BI和B2。這樣，在I個試驗周期的試驗過程中不需要更換氣瓶，以保證試驗的連續性，并降低因更換氣瓶造成的推進劑被污染的風險。
[0208]推進劑氣瓶BI和B2通過快卸接口Cl、C2，分別接入供氣系統，分別經截止閥Vl、V2向其后級供氣。當工作中的氣瓶壓力低于0.25MPa(Xe供應商要求空瓶壓力應高于當地大氣壓)時，關閉該氣瓶閥門及相應支路供給閥門(VI或V2)，打開另一個氣瓶的閥門及相應支路供給閥門(VI或V2)，使推進劑保持連續供給。當有一個氣瓶為空瓶時，為保持推進劑保持連續供給，應進行氣瓶替換。替換后，應對該支路進行檢漏、置換。
[0209]貯供系統產品的流量供給:
[0210]當需要為倉內系統貯供產品提供推進劑時，可通過FLB向產品供給高壓或低壓推進劑。
[0211]在對真空系統的連接法蘭FLB上，由供氣分系統的快卸接頭C6，經閥門V10，或直接接氣瓶，向產品XFS供給高壓推進劑，在倉內采用高壓金屬軟管與產品XFS的入口相連；
[0212]如需要向艙內的電推進分系統貯供產品供給低壓推進劑，則可調節系統上的減壓閥PRl、PR2，經截止閥