示，在壁部232的上表面設有螺旋狀的第二軸向動壓槽列64。
[0073]在主軸馬達11驅動時，旋轉部件31相對于軸22以及下環狀部件23朝向一個方向旋轉。此時，第一軸向動壓槽列63對位于上環狀部221的下表面與連接部312的上表面之間的潤滑液60引起動壓。并且，第二軸向動壓槽列64對位于壁部232的上表面與連接部312的下表面之間的潤滑液60引起動壓。由此，旋轉部件31在軸向上支承于軸22以及下環狀部件23。
[0074]另外，第一軸向動壓槽列63只要設置在上環狀部221的下表面以及連接部312的上表面中的與上環狀部221相向的部分中的至少一方即可。第二軸向動壓槽列64只要設置在壁部232的上表面以及連接部312的下表面中的與壁部232相向的部分中的至少一方即可。并且，第一軸向動壓槽列以及第二軸向動壓槽列也可以是人字狀的槽列。
[0075]并且，旋轉部件31具有與中央貫通孔310不同的連通孔317。連通孔317在比中央貫通孔310靠徑向外側且比上側突出部315以及下側突出部316靠徑向內側的位置將連接部312上下貫通。也就是說，連通孔317在軸向上將設置于連接部312的上表面的上開口 318與設置于連接部312的下表面的下開口 319連接。連通孔317的內部也填滿了潤滑液60。
[0076]這樣，潤滑液60從上密封部65經由軸22與旋轉部件31之間的間隙以及連通孔317連續填充到下密封部66。因此，潤滑液60的液面只成為保持于上密封部65的液面601以及保持于下密封部66的液面602這兩個部位。由此能夠抑制潤滑液60蒸發。
[0077]接下來，對上述的抽吸槽列61、徑向動壓槽列62、第一軸向動壓槽列63以及第二軸向動壓槽列64中包括的各動壓槽71至74的詳細結構進行說明。圖7為從中心軸線9側觀察抽吸槽列61附近的旋轉部件31的內周面的圖。圖8為旋轉部件31的抽吸槽列61附近的局部橫向剖視圖。圖9為從中心軸線9側觀察徑向動壓槽列62附近的旋轉部件31的內周面的圖。圖10為第一軸向動壓槽列63附近的軸22的上環狀部221的局部仰視圖。另外，在圖9以及圖10中，動壓槽72、73內出現的細線為后述的條紋的緣部。
[0078]如上所述，流體動壓軸承6具有抽吸槽列61、徑向動壓槽列62、第一軸向動壓槽列63以及第二軸向動壓槽列64這四種動壓槽列。如圖4至圖6所示，這些動壓槽列61至64分別由多個動壓槽71至74沿周向大致等間隔地配置而成。具體地說，抽吸槽列61具有多個抽吸動壓槽71。徑向動壓槽列62具有多個徑向動壓槽72。第一軸向動壓槽列63具有多個第一軸向動壓槽73。并且，第二軸向動壓槽列64具有多個第二軸向動壓槽74。
[0079]動壓槽71至74分別通過切削而形成。也就是說，通過使用作為切削工具的切刀對旋轉部件31的內周面、軸22的上環狀部221的下表面、下環狀部件23的壁部232的上表面進行切削，從而形成抽吸動壓槽71以及徑向動壓槽72、第一軸向動壓槽73、第二軸向動壓槽74。因此，切刀留下的槽狀的切削痕跡形成于各動壓槽71至74內。由于第二軸向動壓槽74的詳細結構與第一軸向動壓槽73的相同，因此省略以下的說明。
[0080]如圖7所示，在抽吸動壓槽71的底部配置有多個條紋81。條紋81以及后述的條紋
821、822、83均為切刀留下的切削痕跡，且為相對于周向傾斜延伸的槽。并且，條紋81、821、
822、83分別為朝向供各條紋81、821、822、83配置的動壓槽71至74的深度方向凹陷的槽。[0081 ]抽吸動壓槽71朝向相對于周向具有比O度大的角度的αρ度的方向延伸。并且，條紋81朝向相對于周向具有比O度大且在αρ度以下的角度βρ度的方向延伸。
[0082]在此，優選動壓槽71至74相對于周向的角度分別在10度以上且在30度以下。這種情況下，在各動壓槽71至74中，能夠高效地獲得動壓力。并且，還優選動壓槽71至74相對于周向的角度分別在18度以上且22度以下。通過將動壓槽71至74相對于周向的角度設定在20度附近，尤其能夠在各動壓槽71至74中高效地獲得動壓力。
[0083]如圖7所示，在主軸馬達11驅動時，具有抽吸動壓槽71的旋轉部件31相對于軸22沿周向(實線箭頭所示的方向)旋轉。此時，在抽吸動壓槽71內，潤滑液60朝向相對于周向具有αρ度的方向(虛線箭頭所示的方向)移動。由此，抽吸動壓槽71的下端且周向一端成為高動壓區域701，抽吸動壓槽71的上端且周向另一端成為低動壓區域702。
[0084]并且，在主軸馬達11驅動時，在條紋81的內部，潤滑液60沿著條紋81所延伸的方向移動。也就是說，在條紋81的內部，潤滑液60朝向相對于周向具有βρ度的方向(雙點劃線箭頭所示的方向)移動。
[0085]如現有的例子那樣，假設條紋81被設定為沿周向延伸，則潤滑液60在條紋81內移動的方向與潤滑液60在抽吸動壓槽71內且除了條紋81之外的部分移動的方向形成具有αρ度的角度。如此一來，潤滑液60在條紋81內的流動阻礙了潤滑液60在條紋81之外的部分沿軸向的移動。因此，難以提高在抽吸動壓槽71中產生的動壓力。
[0086]在該抽吸動壓槽71中，通過條紋81相對于周向傾斜配置，從而在條紋81內潤滑液60在沿周向移動的同時還沿軸向移動。由此，潤滑液60在條紋81內的流動不易阻礙潤滑液60在條紋81之外的部分沿軸向的移動。
[0087]具體地說，在該抽吸動壓槽71中，潤滑液60在條紋81內移動的方向與潤滑液60在抽吸動壓槽71內且除了條紋81之外的部分移動的方向所形成的角度θρ形成為αρ-βρ度，比現有的αρ度小。也就是說，潤滑液60在條紋81內移動的方向與潤滑液60在抽吸動壓槽71內且除了條紋81之外的部分移動的方向所形成的角度θρ比條紋81沿周向的情況接近O度。因此，潤滑液60在抽吸動壓槽71內的流動不易被條紋81阻礙。
[0088]因此，在抽吸動壓槽71內，潤滑液60容易從低動壓區域702向高動壓區域701移動。由此，能夠提高在抽吸動壓槽71中產生的動壓力。另外，更加優選αρ度與βρ度為大致相同的角度。如果像這樣，則在抽吸動壓槽71內，潤滑液在條紋81內的流動與潤滑液在條紋81外的部分的流動大致形成為相同的方向。也就是說，潤滑液在條紋81內的流動不會阻礙潤滑液在條紋81外的部分的流動。
[0089]在此，如圖7以及圖8所示，將條紋81的寬度方向的兩端稱為緣部811。將條紋81中的最朝向抽吸動壓槽71的深度方向凹陷的部分稱為最深部812。并且，如圖8所示，將從配置有抽吸動壓槽71的旋轉部件31的內周面到最深部812的該深度方向的距離稱為抽吸動壓槽71的深度DI。將從緣部811到最深部812的該深度方向的距離稱為條紋81的深度D2。距離條紋81的緣部811的深度D2比抽吸動壓槽71的深度Dl淺。在本實施方式中，條紋81的深度D2在抽吸動壓槽71的深度Dl的三分之一以下，十分小。
[0090]通過將條紋81的深度D2設置得比抽吸動壓槽71的深度Dl淺，從而能夠減小潤滑液60在條紋81外的流動因潤滑液60在條紋81內的流動而受到的影響，潤滑液60在條紋81外的流動是指潤滑液60在抽吸動壓槽71內的大幅流動。因此，能夠進一步提高抽吸動壓槽71中產生的動壓力。也就是說，能夠降低流體動壓軸承6的軸承損失，并能夠進一步提高軸承剛性。
[0091]同樣，后述的條紋821、822、83的深度也比各供條紋821、822、83配置的動壓槽721、722、73的深度淺。
[0092]如圖9所示，徑向動壓槽72為所謂的人字狀的動壓槽，所述動壓槽具有:第一動壓槽721，所述第一動壓槽721隨著從上方向下方而朝著周向一側；以及第二動壓槽722，所述第二動壓槽722隨著從上方向下方而朝著周向另一側。
[0093]本實施方式的徑向動壓槽72還具有上下延伸的連接槽723。連接槽723將第一動壓槽721的下端部和第二動壓槽722的上端部連接。也就是說，第一動壓槽721的周向一側的端部與第二動壓槽722的周向一側的端部通過連接槽723而相連。連接槽723具有包括連接槽723的上端在內的第一連接部724和包括連接槽723的下端在內的第二連接部725。
[0094]在第一動壓槽721以及第一連接部724的底部配置有多個條紋821。并且，在第二動壓槽722以及第二連接部725的底部配置有多個條紋822。
[0095]第一動壓槽721朝向相對于周向具有α?度的方向延伸。第二動壓槽722朝向相對于周向具有α2度的方向延伸。并且，條紋821朝向相對于周向具有β?度的方向延伸。條紋822朝向相對于周向具有β2度的方向延伸。另外，α?度、α2度、β?度以及β2度分別為比O度大的角度。
[0096]如圖9所示，在主軸馬達11驅動時，具有徑向動壓槽72的旋轉部件31相對于軸22沿周向(實線箭頭所示的方向)旋轉。此時，在第一動壓槽721內，潤滑液60朝向相對于周向具有α?度的方向(上側的虛線箭頭所示的方向)移動。并且，在第二動壓槽722內，潤滑液60朝向相對于周向具有α2度的方向(下側的虛線箭頭所示的方向)移動。由此，包括第一動壓槽721的下側且周向一側的端部、連接槽723、第二動壓槽722的上側且周向一側的端部在內的區域成為產生比其他區域高的動壓力的高動壓區域701。并且，包括第一動壓槽721的上側且周向另一側的端部在內的區域與包括第二動壓槽722的下側且周向另一側的端部在內的區域分別成為低動壓區域702。
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