專利名稱:液晶顯示器基板支撐裝置的制作方法
技術領域:
本實用新型是關于一種基板支撐裝置,特別是關于一種液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)基板支撐裝置。
背景技術:
液晶顯示器陣列電路(Array)制程中需要用半導體制程方法將晶體管制作在玻璃基板上,其中主要有光阻涂布、曝光、顯影、干燥、清洗、蝕刻等制程。干燥制程是在光阻圖案形成后,抽走基板表面剩余光阻內所含溶劑(Solvent)成份,進而使光阻干燥凝固,以利于后續清洗制程,并減少溶劑揮發時對其后制程的污染。減壓干燥設備(Low Pressure Dryer,LPD)是目前常用的一種干燥設備,在液晶顯示器基板放入減壓干燥設備進行減壓干燥時,其下需要一液晶顯示器基板支撐裝置,以便于取放及定位基板。
一種現有技術所揭示的液晶顯示器基板支撐裝置,如圖1所示。該液晶顯示器基板支撐裝置10位于減壓干燥室11內,其上放置一待干燥的液晶顯示器基板50。該液晶顯示器基板支撐裝置10包括一底座14、一支撐板15及多個支撐頂針16,該底座14位于該減壓干燥室11的腔體下表面,該支撐板15位于該底座14上方,該多個支撐頂針16位于該支撐板15的上方以支撐該待干燥的液晶顯示器基板50。
由于液晶顯示器基板50由多個支撐頂針16支撐,該液晶顯示器基板50與多個支撐頂針16接觸點受力相對集中,因而減壓干燥制程結束后,在液晶顯示器基板50背面與支撐頂針16實際接觸的地方,其相對的光阻涂布點會出現異常的支撐痕跡(Pin Mura),從而影響曝光后的圖像品質。
實用新型內容為克服現有技術液晶顯示器基板支撐裝置產生光阻涂布點支撐痕跡的問題,有必要提供一種可有效減輕光阻涂布點支撐痕跡現象的液晶顯示器基板支撐裝置。
一種實施方式為解決技術問題所采用的技術方案是提供一種液晶顯示器基板支撐裝置,包括一個支撐板及多個支撐凸臺,多個支撐凸臺及多個軟管,該多個支撐凸臺設置在該支撐板上,該軟管設置在該支撐凸臺上。
相較于現有技術,本發明液晶顯示器基板支撐裝置采用多個軟管取代現有技術的支撐頂針,由于軟管與液晶顯示器基板接觸面積相對較大,而且軟管又較支撐頂針硬度低,所以本發明液晶顯示器基板支撐裝置可以有效減輕由于支撐而引起的液晶顯示器基板光阻涂布點支撐痕跡問題。
圖1是現有技術液晶顯示器基板支撐裝置的示意圖,其位于一減壓干燥室內。
圖2是本實用新型液晶顯示器基板支撐裝置的立體示意圖。
圖3是圖2中III部分的局部放大示意圖。
圖4是本實用新型液晶顯示器基板支撐裝置工作時的立體示意圖。
圖5是圖4所示的液晶顯示器基板支撐裝置工作時的立體后視圖。
具體實施方式請一起參閱圖2與圖3。該液晶顯示器基板支撐裝置20包括八個支撐板28、一百六十個支撐凸臺24及一百六十個豎排軟管22,其中每一支撐板28上以一定間隔固定二十個支撐凸臺24,并且每一支撐凸臺24上固定一豎排軟管22。
該支撐凸臺24與該支撐板28是由鋁材加工制成,該豎排軟管22是由聚酰亞胺材料(Polyimide,PI)制成的軟管,其管壁較薄,當然,液晶顯示器基板支撐裝置20各部分的材料也可以根據情況而改變,如支撐凸臺24與該支撐板28可采用銅等金屬材料或其他合適的非金屬材料,豎排軟管22可改用其他塑料材料。
該支撐凸臺24在該支撐板28上的固定方式可采用粘接、焊接及螺栓連接等連接方式,該豎排軟管22可以套接或粘結在該支撐凸臺24上。
請一起參閱圖4與圖5,分別是本實用新型液晶顯示器基板支撐裝置20工作時的立體及后視圖。本實用新型液晶顯示器基板支撐裝置20工作時,先將其放入減壓干燥室31內,使八個支撐板28平行放置在減壓干燥室31內,再把待干燥的液晶顯示器基板60平放于該豎排軟管22上面,最后,關閉減壓干燥室31封閉門(圖未示),開動減壓抽氣泵32即可進行減壓干燥。
本實用新型液晶顯示器基板支撐裝置20所包含的支撐凸臺24、支撐板28及豎排軟管22的數量也可根據基板大小及實際情況進行調整。另外,豎排軟管22也不限于一對一固定在支撐凸臺24上,也可幾個豎排軟管22固定在一個支撐凸臺24上。
該豎排軟管22管壁較薄,具有一定的柔性,因而可減少對待干燥的液晶顯示器基板60的接觸應力集中,又由于現有技術僅有4四十個左右的支撐頂針來支撐一個液晶顯示器基板,本發明液晶顯示器基板支撐裝置20采用較現有技術較多的豎排軟管22,因而可減輕分擔到每個豎排軟管22上的重量,從而有效減輕甚至消除由于支撐而在待干燥的液晶顯示器基板60光阻涂布點上產生支撐痕跡的現象。
權利要求1.一種液晶顯示器基板支撐裝置,包括一支撐板,其特征在于該液晶顯示器基板支撐裝置還包括多個支撐凸臺及多個軟管,該多個支撐凸臺設置在該支撐板上,該軟管設置在該支撐凸臺上。
2.如權利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置,其特征在于該軟管呈豎排設置在該支撐凸臺上。
3.如權利要求2所述的液晶顯示器基板支撐裝置,其特征在于該多個支撐凸臺相互間隔一定間距設置在該支撐板上,該多個軟管與該支撐凸臺一一對應且設置在該多個支撐凸臺上。
4.如權利要求3所述的液晶顯示器基板支撐裝置,其特征在于該多個豎排軟管一對一粘接在該多個支撐凸臺上。
5.如權利要求3所述的液晶顯示器基板支撐裝置,其特征在于該多個豎排軟管一對一套接在該多個支撐凸臺上。
6.如權利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置,其特征在于該多個支撐凸臺粘接在該支撐板上。
7.如權利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置,其特征在于該多個支撐凸臺焊接在該支撐板上。
8.如權利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置,其特征在于該多個支撐凸臺通過螺栓連接固定在該支撐板上。
專利摘要本實用新型涉及一種液晶顯示器基板支撐裝置,其包括一個支撐板,多個支撐凸臺及多個軟管,該多個支撐凸臺設置在該支撐板上,該軟管設置在該支撐凸臺上。該液晶顯示器基板支撐裝置可有效減輕加壓干燥制程中光阻涂布點的支撐痕跡。
文檔編號G02F1/1333GK2842481SQ20052005982
公開日2006年11月29日 申請日期2005年6月8日 優先權日2005年6月8日
發明者徐紹銘, 王敬龍, 許文誠, 詹育穎, 謝和利, 鄧振坤 申請人:鴻富錦精密工業(深圳)有限公司, 群創光電股份有限公司