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一種臥式防止拋光液飛濺的硅片拋光機的制作方法

文檔序號:12753653閱讀:314來源:國知局

本實用新型涉及硅片拋光設備技術領域,尤其是一種臥式防止拋光液飛濺的硅片拋光機。



背景技術:

當前,企業在對硅片進行拋光加工時所采用的拋光機沒有防止拋光液飛濺的功能,這就容易導致拋光液四處飛濺,不僅容易濺入操作人員的眼睛,影響視力,而且影響車間的環境質量,存在不足。



技術實現要素:

本實用新型的目的是提供一種臥式防止拋光液飛濺的硅片拋光機,為克服上述的不足,采用臥式的結構,阻止拋光液飛濺,不僅確保人身安全,同時有利于提高車間環境質量。

本實用新型的技術方案:

一種臥式防止拋光液飛濺的硅片拋光機,包括機體、第一電機、第一主動帶輪、第一傳動帶、第一從動帶輪、拋光輪、拋光齒、第二電機、第二主動帶輪、第二傳動帶、第二從動帶輪、拋光液箱、液管、彈簧罩、彈簧、固定塊、噴頭;其中:機體與第一電機固定連接,第一電機與第一主動帶輪固定連接,第一主動帶輪通過第一傳動帶與第一從動帶輪連接,第一從動帶輪與拋光輪固定連接,拋光輪設有拋光齒,第二電機與第二主動帶輪固定連接,第二主動帶輪通過第二傳動帶與第二從動帶輪連接,第二從動帶輪與彈簧罩固定連接,彈簧罩內部設有彈簧,彈簧與固定塊連接,拋光液箱通過液管與噴頭連接。

一種臥式防止拋光液飛濺的硅片拋光機,其中:機體中部設有護罩。

本實用新型的優點在于:本裝置采用臥式的結構,阻止拋光液飛濺,不僅確保人身安全,同時有利于提高車間環境質量。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意簡圖。

附圖標記:機體1、第一電機2、第一主動帶輪3、第一傳動帶4、第一從動帶輪5、拋光輪6、拋光齒7、第二電機8、第二主動帶輪9、第二傳動帶10、第二從動帶輪11、拋光液箱12、液管13、彈簧罩14、彈簧15、固定塊16、噴頭17、護罩18。

具體實施方式

實施例1、一種臥式防止拋光液飛濺的硅片拋光機,包括機體1、第一電機2、第一主動帶輪3、第一傳動帶4、第一從動帶輪5、拋光輪6、拋光齒7、第二電機8、第二主動帶輪9、第二傳動帶10、第二從動帶輪11、拋光液箱12、液管13、彈簧罩14、彈簧15、固定塊16、噴頭17;其中:機體1與第一電機2固定連接,第一電機2與第一主動帶輪3固定連接,第一主動帶輪3通過第一傳動帶4與第一從動帶輪5連接,第一從動帶輪5與拋光輪6固定連接,拋光輪6設有拋光齒7,第二電機8與第二主動帶輪9固定連接,第二主動帶輪9通過第二傳動帶10與第二從動帶輪11連接,第二從動帶輪11與彈簧罩14固定連接,彈簧罩14內部設有彈簧15,彈簧15與固定塊16連接,拋光液箱12通過液管13與噴頭17連接。

實施例2、一種臥式防止拋光液飛濺的硅片拋光機,其中:機體1中部設有護罩18,阻止拋光液飛濺,不僅確保人身安全,同時有利于提高車間環境質量。其余同實施例1。

工作原理:

第二電機8帶動第二主動帶輪9旋轉,第二主動帶輪9通過第二傳動帶10帶動第二從動帶輪11旋轉,第二從動帶輪11帶動彈簧罩14旋轉,彈簧罩14帶動固定塊16旋轉,同時,彈簧15通過彈力將固定塊16頂出,進而將硅料推向拋光輪6,此時,第一電機2帶動第一主動帶輪3旋轉,第一主動帶輪3通過第一傳動帶4帶動第一從動帶輪5旋轉,第一從動帶輪5帶動拋光輪6旋轉,拋光輪6帶動拋光齒7轉動,同時,拋光液由拋光液箱12流出,并從液管13與噴頭17流向硅料表面,最終對硅料進行拋光加工,拋光過程中,由于部件高速旋轉,容易導致拋光液飛濺,因此,護罩18起到阻擋拋光液四處飛濺的作用,動作結束。

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