本實用新型涉及硅片拋光設備技術領域，尤其是一種一體式硅片精細拋光機。
背景技術：
當前，企業在對硅片進行拋光加工時需要經過粗拋與精拋兩道工序，兩道工序分別在兩臺設備進行，這不僅降低了加工效率，同時，不同設備的裝配誤差不同，這會導致硅片的加工誤差大，影響硅片的尺寸，存在不足。
技術實現要素：
本實用新型的目的是提供一種一體式硅片精細拋光機，為克服上述的不足，采用一體式結構，在一臺設備中完成兩道工序，不僅提高了加工效率，同時降低加工誤差，提高硅片的尺寸精度。
本實用新型的技術方案：
一種一體式硅片精細拋光機，包括機體、第一電機、主動齒輪、從動齒輪、第一曲柄、槽輪、拋光液箱、第二曲柄、彈簧罩、彈簧、固定塊、第一液管、第一噴頭、精拋砂輪、二級帶輪、二級傳動帶、一級帶輪、一級傳動帶、主動帶輪、第二電機、粗拋砂輪、第二噴頭、第二液管；其中：機體與第二電機固定連接，第二電機與主動帶輪固定連接，主動帶輪通過一級傳動帶與一級帶輪連接，一級帶輪通過二級傳動帶與二級帶輪連接，二級帶輪與精拋砂輪同軸連接，一級帶輪與粗拋砂輪同軸連接，第一電機與主動齒輪同軸連接，主動齒輪與從動齒輪通過嚙合連接，從動齒輪與第一曲柄固定連接，第一曲柄與槽輪連接，槽輪與第二曲柄固定連接，第二曲柄與彈簧罩固定連接，彈簧罩內部設有彈簧，彈簧與固定塊連接，拋光液箱通過第一液管與第一噴頭連通，拋光液箱通過第二液管與第二噴頭連通。
一種一體式硅片精細拋光機，其中：一級帶輪與二級帶輪的半徑之比為3:1。
本實用新型的優點在于：本裝置采用一體式結構，在一臺設備中完成兩道工序，不僅提高了加工效率，同時降低加工誤差，提高硅片的尺寸精度。
附圖說明
圖1為本實用新型的結構示意簡圖。
附圖標記：機體1、第一電機2、主動齒輪3、從動齒輪4、第一曲柄5、槽輪6、拋光液箱7、第二曲柄8、彈簧罩9、彈簧10、固定塊11、第一液管12、第一噴頭13、精拋砂輪14、二級帶輪15、二級傳動帶16、一級帶輪17、一級傳動帶18、主動帶輪19、第二電機20、粗拋砂輪21、第二噴頭22、第二液管23。
具體實施方式
實施例1、一種一體式硅片精細拋光機，包括機體1、第一電機2、主動齒輪3、從動齒輪4、第一曲柄5、槽輪6、拋光液箱7、第二曲柄8、彈簧罩9、彈簧10、固定塊11、第一液管12、第一噴頭13、精拋砂輪14、二級帶輪15、二級傳動帶16、一級帶輪17、一級傳動帶18、主動帶輪19、第二電機20、粗拋砂輪21、第二噴頭22、第二液管23；其中：機體1與第二電機20固定連接，第二電機20與主動帶輪19固定連接，主動帶輪19通過一級傳動帶18與一級帶輪17連接，一級帶輪17通過二級傳動帶16與二級帶輪15連接，二級帶輪15與精拋砂輪14同軸連接，一級帶輪17與粗拋砂輪21同軸連接，第一電機2與主動齒輪3同軸連接，主動齒輪3與從動齒輪4通過嚙合連接，從動齒輪4與第一曲柄5固定連接，第一曲柄5與槽輪6連接，槽輪6與第二曲柄8固定連接，第二曲柄8與彈簧罩9固定連接，彈簧罩9內部設有彈簧10，彈簧10與固定塊11連接，拋光液箱7通過第一液管12與第一噴頭13連通，拋光液箱7通過第二液管23與第二噴頭22連通。
實施例2、一種一體式硅片精細拋光機，其中：一級帶輪17與二級帶輪15的半徑之比為3:1，可在一臺設備中完成兩道工序，不僅提高了加工效率，同時降低加工誤差，提高硅片的尺寸精度。其余同實施例1。
工作原理：
啟動第一電機2，第一電機2帶動主動齒輪3旋轉，主動齒輪3帶動從動齒輪4旋轉，從動齒輪4帶動第一曲柄5旋轉，第一曲柄5帶動槽輪6旋轉，槽輪6帶動第二曲柄8旋轉，第二曲柄8帶動彈簧罩9旋轉，彈簧罩9帶動固定塊11旋轉，彈簧10將固定塊11頂出，進而將硅片頂向粗拋砂輪21，啟動第二電機20，第二電機20帶動主動帶輪19旋轉，主動帶輪19通過一級傳動帶18帶動一級帶輪17旋轉，一級帶輪17帶動粗拋砂輪21旋轉，同時，拋光液由拋光液箱7流出，經過第二液管23與第二噴頭22流向粗拋砂輪21，進而對硅片進行粗拋加工，粗拋加工完成后，固定塊11帶動硅片轉動至精拋砂輪14處，同時，一級帶輪17通過二級傳動帶16帶動二級帶輪15旋轉，二級帶輪15帶動精拋砂輪14旋轉，拋光液由拋光液箱7流出，經過第一液管12與第一噴頭13流向粗拋砂輪21，進而對粗拋過后的硅片進行精拋，達到粗拋與精拋一體式加工，不僅縮短了加工周期，提高了加工效率，同時頁提高硅片的精度，動作結束。