技術總結
本發明提供的一種2吋、4吋藍寶石襯底背面缺陷修復加工方法，首先選用晶片貼片上蠟機將襯底的正面粘在陶瓷盤上，再將陶瓷盤放入自制游星輪中，通過雙面研磨設備進行研磨，其中研磨液配置比例為碳化硅研磨粉：懸浮液：去離子水=1Kg：0.1L：1L~5L，其中懸浮液為亞硝酸鈉與三乙醇胺的質量比是１：９的混合溶液，研磨設備的下盤速度設定為20轉/分鐘，上盤設定為15轉/分鐘，研磨液流量設定為300mL/分鐘，壓力為陶瓷盤的自重即為5.7KG，加工時間為10分鐘；將研磨后的襯底進行脫膠、清洗、退火、拋光；經修復后的藍寶石襯底，其質量指標均達到行業標準，質量標準滿足客戶需求，無需進行報廢處理，良品率有著顯著提升，大大降低了成本。
技術研發人員：胡孔林;呂訊
受保護的技術使用者：江蘇吉星新材料有限公司
文檔號碼：201710190270
技術研發日：2017.03.28
技術公布日：2017.06.20