專利名稱：提高探針卡上探針壽命的裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體測試裝置，特別是涉及一種用于半導體測試中探針卡 的裝置。
背景技術：
目前，隨著先進的集成電路(IC)設計方法和高密度生產技術的使用，集成電路設 計從晶體管的集成發展到邏輯門的集成，現在又發展到IP的集成，半導體廠商能夠把不同 的數字和模擬電路集成在極小芯片上，即系統級芯片SoC(SyStem on Chip)設計技術。SoC 可以有效地降低電子/信息系統產品的開發成本，縮短開發周期，提高產品的競爭力，是未 來工業界將采用的最主要的產品開發方式。SoC是在一個芯片上由于廣泛使用預定制模塊 IP (Intellectual Property)而得以快速開發的集成電路。其包含了設計和測試等更多技 術的一項新的設計技術。系統芯片盡管具有先進的設計和制造能力，可是IC廠商在對這些多元器件進行 快速而又低成本地批量生產時，面對空前的挑戰當把若干功能單元結合在一個單獨器件上 時，今天的SoC器件為減少批量生產時間和測試成本，向傳統的測試方法發起挑戰結果是， 廠商們將更廣泛地研究新方法，這些新方法通過在設計和測試之間的有效平衡，提供了一 個更有效地從事SoC設計、生產和測試的方案，并能夠同時做到減少其生產時間和測試費 用。隨著SOC芯片集成度的日益提高，芯片的功耗日益增大，IOOmA以上的芯片日趨 增多。在現有芯片的晶圓級測試過程中，因為這種較大的電流的存在，而導致了某些特殊情 況下探針卡的探針容易燒壞。導致探針卡的使用壽命減少，在發生故障時往往需要停止測 試，對探針卡進行維修，甚至需要重新制作探針卡，無法保證測試的順利進行，這樣會浪費 大量的測試時間，增加測試成本。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種提高探針卡上探針壽命的裝置，其可以 在原有探針發生故障的時候保證探針卡仍然可是使用，有效提高探針卡的使用壽命，減少 探針卡的維修和重新制作，保證測試的順利進行。為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種提高探針卡上探針壽命的裝置，包 括探針卡上的多根探針，分別為探針1、探針2……探針N ；每根探針通過各自連接的繼電 器1、繼電器2……繼電器N連接到測試儀的信號產生端；測試時，同一時間只有一個繼電 器閉合，其對應的探針工作；其他繼電器斷開，其相應的探針不工作；控制器分別連接每一 根探針和繼電器，控制器測試探針狀態，并控制繼電器的開關，當目前工作的探針狀態異常 時，控制器控制工作探針相應的繼電器斷開，并控制其他的某一繼電器閉合，其相應的探針 開始工作。本實用新型的有益效果在于其可以在原有探針發生故障的時候啟用備用探針，保證探針卡仍然可是使用，有效提高探針卡的使用壽命，減少探針卡的維修和重新制作，保 證測試的順利進行。
以下結合附圖和實施例對本實用新型做進一步的詳細說明。
圖1是本實用新型實施例所述的裝置的示意圖。
具體實施方式
本實用新型要解決的技術問題是提供一種提高探針卡上探針壽命的裝置，其可以 在原有探針發生故障的時候保證探針卡仍然可是使用，有效提高探針卡的使用壽命，減少 探針卡的維修和重新制作，保證測試的順利進行。實用新型所述的提高探針卡上探針壽命的裝置，可以包括探針卡8上的多根探 針，分別為探針1、探針2……探針N;每根探針通過各自連接的繼電器1、繼電器2……繼電 器N連接到測試儀的信號產生端5，如器件電源DPS;測試時，同一時間只有一個繼電器閉 合，其對應的探針工作；其他繼電器斷開，其相應的探針不工作；控制器分別連接每一根探 針和繼電器，用于測試探針狀態，并控制繼電器的開關，當目前工作的探針狀態異常時，控 制器控制工作探針相應的繼電器斷開，并控制其他的某一繼電器閉合，其相應的探針開始 工作。所述測試儀的信號產生端為器件電源。所述的控制器可以是處理器等能夠進行測試和控制的裝置。例如，如圖1所示的本實用新型的一個實施例中，是對被測芯片6上的電源7進行 測試，對測試過程中比較容易燒壞的探針在探針卡8進行設計時，制作2根探針探針1和 探針2，該2根探針各通過繼電器1(圖中PC0N1)和繼電器2(圖中PC0N2)連接到測試儀的 信號產生端5。在本實施例中，信號產生端可以是器件電源DSP。在正式測試時，閉合繼電器1，斷開繼電器2，僅僅讓探針1在工作，探針2作為備用。當探針1被燒，特性變差時，控制器通過測試程序控制，讓繼電器1斷開，繼電器2 閉合，從而探針2繼續完成后面的測試。本實用新型并不限于上文討論的實施方式。以上對具體實施方式
的描述旨在于為 了描述和說明本實用新型涉及的技術方案。基于本實用新型啟示的顯而易見的變換或替代 也應當被認為落入本實用新型的保護范圍。以上的具體實施方式
用來揭示本實用新型的最 佳實施方法，以使得本領域的普通技術人員能夠應用本實用新型的多種實施方式以及多種 替代方式來達到本實用新型的目的。
權利要求一種提高探針卡上探針壽命的裝置，其特征在于，包括探針卡上的多根探針，分別為探針1、探針2……探針N；每根探針通過各自連接的繼電器1、繼電器2……繼電器N連接到測試儀的信號產生端；測試時，同一時間只有一個繼電器閉合，其對應的探針工作；其他繼電器斷開，其相應的探針不工作；控制器分別連接每一根探針和繼電器，控制器測試探針狀態，并控制繼電器的開關。
2.如權利要求1所述的提高探針卡上探針壽命的裝置，其特征在于，所述探針數量為 兩根；每根探針通過各自連接的繼電器1、繼電器2連接到測試儀的信號產生端，測試時，繼 電器1閉合，其對應的探針1工作；另繼電器2斷開，其對應的探針2不工作；控制器分別連接每一根探針和繼電器，控制器測試探針狀態，并控制繼電器的開關。
3.如權利要求1所述的提高探針卡上探針壽命的裝置，其特征在于，所述測試儀的信 號產生端為器件電源。
專利摘要本實用新型公開了一種提高探針卡上探針壽命的裝置，包括探針卡上的多根探針，分別為探針1、探針2……探針N；每根探針通過各自連接的繼電器1、繼電器2……繼電器N連接到測試儀的信號產生端；測試時，同一時間只有一個繼電器閉合，其對應的探針工作；其他繼電器斷開，其相應的探針不工作；控制器分別連接每一根探針和繼電器，控制器測試探針狀態，并控制繼電器的開關，當目前工作的探針狀態異常時，控制器控制工作探針相應的繼電器斷開，并控制其他的某一繼電器閉合，其相應的探針開始工作。本實用新型可以在原有探針發生故障的時候啟用備用探針，保證測試的順利進行。
文檔編號G01R1/067GK201666899SQ20092007463
公開日2010年12月8日 申請日期2009年10月22日 優先權日2009年10月22日
發明者桑浚之, 辛吉升 申請人:上海華虹Nec電子有限公司