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多晶成長爐連續加料器的制作方法

文檔序號:8127900閱讀:366來源:國知局
專利名稱:多晶成長爐連續加料器的制作方法
技術領域
本實用新型涉及一種長晶爐加料器,特別是指一種多晶成長爐連續加 料器。
背景技術
近年來消費性電子元件需求與日劇增,價格往往成了消費性電子產品 在市場競爭上的主要關鍵因素。工藝簡單與成本低廉的多晶級結晶材料, 如多晶硅,即因為生產速度快與價格低廉,而廣泛應用在消費性電子產品 上,例如應用在太陽能電池產業上。
多晶級結晶材料是指材料由許多不同的小單晶所構成。以硅多晶材料 來說,多晶硅的制作方式是利用壓鑄的方式,于一大坩鍋中將硅原料全部 熔融,在透過緩慢冷卻,以形成包含不同晶格方向晶粒的晶碇。
現有多晶成長爐可大致上分為三種第一種是熔融液與結晶過程在不 同坩鍋中進行的鑄造方式;第二種熔融與結晶過程在同一坩鍋中進行;以 及第三種無使用坩鍋的電磁鑄造法。而對第二種熔融與結晶過程在同一坩 鍋中進行的多晶長晶爐而言,在投料時需將整個爐體打開,才可進行加料, 這樣造成整個工藝時間較為冗長,且也對爐內溫度、潔凈度的控制造成影 響。
有鑒于此,本實用新型遂針對上述現有技術的缺失,提出一種嶄新的 多晶成長爐連續加料器,以有效克服上述的該等問題。

實用新型內容
本實用新型的主要目的是提供一種多晶成長爐連續加料器,其可達到 連續加料的功用。
本實用新型的另一 目的是提供一種多晶成長爐連續加料器,其可有效 降低多晶制造成本。本實用新型的再一目的是提供一種多晶成長爐連續加料器,其可有效 減少多晶的工藝步驟并縮短制備時間。
為達上述的目的,本實用新型提供一種裝設于一多晶成長爐上的單晶 成長爐連續加料器,其包含有一與多晶成長爐相連通的外圍盒體; 一容設 在外圍盒體內的填料筒,其下方具一開口,填料筒的外側壁設有一定位槽; 一容設于外圍盒體內且用以開閉幵口的料止塞; 一升降機構,其是用以帶 動填料筒與料止塞上下移動; 一用以開關外圍盒體與多晶成長爐機臺間通 道的隔離閥;以及一位于外圍盒體的內側壁上且鄰近隔離閥的定位塊,其 是與定位槽相卡合,以限定填料筒移動范圍。
本實用新型的有益效果是,所提供的一種多晶成長爐連續加料器,其 可達到連續加料的功用,還可有效降低多晶制造成本,并且可有效減少多 晶的工藝步驟并縮短制備時間。
為能對本實用新型的結構特征及所達成的功效更有進一步的了解與 認識,謹佐以較佳的實施例圖及配合詳細的說明,說明如后


圖1是本實用新型的一種多晶成長爐連續加料器的側視示意圖2 圖5是本實用新型的多晶成長爐連續加料器的加料過程示意圖。
圖號說明
IO多晶成長爐連續加料器
12外圍盒體
14定位槽
16填料筒
18開口
20定位塊
22止料塞
24升降油壓機構
26隔離閥28原料
30多晶成長爐具體實施方式
首先,請參閱圖1,其是本實用新型的一種多晶成長爐連續加料器的 側視圖。如圖所示,本實用新型的多晶成長爐連續加料器io包含有一用 以與多晶成長爐機臺的上爐蓋(請參閱圖3的元件30)結合的外圍盒體 12,其可以利用石英材質制備而成,外圍盒體12的內側壁上具有至少一 定位槽14; 一容設在外圍盒體12內的填料筒16,填料筒16下方具有一 開口 18; —容設于外圍盒體12內且位于填料筒16的開口 18處的止料塞 22,其是以在將原料制入填料筒16內后開關開口 18,來管控原料落至多 晶成長爐的量; 一帶動填料筒16與止料塞22沿著外圍盒體12內部上下 移動的升降油壓機構24; —用以開關外圍盒體12與多晶成長爐機臺間通 道的隔離閥26;以及一鄰近隔離閥26的外圍盒體12內側壁的定位塊20, 其是可與定位槽14相卡合,用以限定填料筒16移動范圍。
請一并參閱圖2 圖5,其是本實用新型的多晶成長爐連續加料器的 下料過程示意圖。如圖所示,如圖2所示,首先打開外圍盒體12將原料 28置于填料筒16;接續如圖3所示,關閉外圍盒體12,并趨動升降油壓 機構24帶動填料筒12與止料塞22下降開啟隔離閥26;再如圖4所示, 繼續趨動升降油壓機構24帶動填料筒12與止料塞22下降,待下降至定 位塊20卡固于定位槽14時,僅剩下止料塞22脫離離幵填料筒16下方的 開口18繼續下移,以開放開口 18將原料28由填料筒16釋放出,如圖5 所示,使原料28落至多晶成長爐30內,以進行多晶結構的晶碇熔融成長 工藝。
待加料達所需數量后,趨動升降油壓機構16上升,以使止料塞22重 新抵止填料筒16的開口 18 (或者并同步關閉隔離閥26),待需要再次投 料時,再將止料塞22下移,如此將可以達到連續加料。當填料筒16內料 品不足時,則趨動升降油壓機構24推動填料筒16與止料塞22上升至如 圖1所示的位置,以進行原料28補充。
本實用新型的多晶成長爐連續加料器透過填料筒與止料塞的配合,將可以達到連續加料,而不再需要每次加料就必須開啟多晶成長爐的爐體, 鑒此可有效更簡化多晶結構的晶碇熔融成長所需的時間成本與工藝步驟, 以更降低多晶生產成本。
以上所述,僅為本實用新型的較佳實施例而已,并非用來限定本實用 新型實施的范圍。故即凡依本實用新型申請范圍所述的特征及精神所為的 均等變化或修飾,均應包括于本實用新型的申請專利范圍內。
權利要求1、一種多晶成長爐連續加料器,其裝設于一多晶成長爐上,其特征在于,該多晶成長爐連續加料器包含有一外圍盒體,其是與該多晶成長爐連通;一填料筒,其是容設在該外圍盒體內,該填料筒下方具一開口,該填料筒的外側壁設有一定位槽;一料止塞,其是容設于該外圍盒體內且用以開閉該開口;一升降機構,其是用以帶動該填料筒與該料止塞上下移動;一隔離閥,其是用以開關該外圍盒體與該多晶成長爐機臺間的通道;以及一定位塊,其是位于該外圍盒體的內側壁上且鄰近該隔離閥,該定位塊是與該定位槽相卡合,以限定該填料筒移動范圍。
2、 如權利要求1所述的多晶成長爐連續加料器,其特征在于,該升 降機構為升降油壓機構。
3、 如權利要求1所述的多晶成長爐連續加料器,其特征在于,該外 圍盒體的材質為石英。
4、 如權利要求1所述的多晶成長爐連續加料器,其特征在于,該填 料筒供填入硅原料。
5、 如權利要求1所述的多晶成長爐連續加料器,其特征在于,該填 料筒與該料止塞間相互配合,以達到多次下料。
6、 如權利要求1所述的多晶成長爐連續加料器,其特征在于,該外 圍盒體可開合。
專利摘要本實用新型提供一種多晶成長爐連續加料器,其包含有一與多晶成長爐相連通的外圍盒體;一容設在外圍盒體內的填料筒,其下方具一開口;一容設于外圍盒體內且用以開閉開口的止料塞;一升降機構,其用以帶動填料筒與止料塞上下移動;以及一用以開關外圍盒體與多晶成長爐機臺間通道的隔離閥。本實用新型利用止料塞開關填料筒來達到多次加料,有效減少多晶的工藝步驟并縮短工藝時間。
文檔編號C30B28/06GK201372325SQ20082013198
公開日2009年12月30日 申請日期2008年8月22日 優先權日2008年8月22日
發明者何思樺, 徐忠龍, 徐文慶, 謝兆坤 申請人:昆山中辰矽晶有限公司
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