r>[0107] 作為其具體例，可列舉 [010引[化學式2]
[0109]
[0110] 等具有酬基或醋基的化合物。
[0111] 上述"親和性提高劑"可不失去本發明的效果的范圍內的量使用，具體而言， 從均勻分散和所得到的膜的比介電常數的高度方面考慮，其量相對于"無機氧化物顆粒" 100質量份，優選為在0.01~30質量份的范圍內，更優選為在0.1~25質量份的范圍內，進一 步優選為在1~20質量份的范圍內。
[0112] 進而，本發明的膜可W在不失去本發明的效果的范圍內含有運些W外的添加劑。
[0113] 本發明的膜優選WlOOr的溫度加熱60分所產生的卷曲為±10mmW內。通過將卷 曲的程度設為上述的范圍，可W將本發明的膜制成適用于壓電膜等要求精度的用途的膜。
[0114] 上述卷曲通過W下的方法測定。在金屬板上，將切割為寬度100mm、長度100mm的膜 的中屯、線用膠帶粘貼之后，將該膜Wl〇〇°C加熱60分。該加熱后，膜兩端部從金屬板浮起，因 此，用游標卡尺測定其浮起的長度。
[0115] 作為將本發明的膜的卷曲設為±10mmW內的方法，可列舉例如在后述的本發明的 膜的制造方法中，將液狀組合物中的偏氣乙締系聚合物的固體成分濃度設為5質量％ ^上 的方法，該液狀組合物通過如下方法制備:基材和偏氣乙締系聚合物膜的剝離強度為0.1N/ cmW下，用于使溶劑氣化的干燥溫度為200°C W下，并且在溶劑中使偏氣乙締系聚合物和所 要求的成分溶解或分散。
[0116] 膜的制造方法
[0117] 本發明的膜例如通過包括如下工序的制造方法制造：
[0118] 制備含有偏氣乙締系聚合物和溶劑的液狀組合物的工序A、
[0119] 利用深層權桐式過濾器過濾上述液狀組合物的工序B、
[0120] 使在上述工序B得到的濾液在基材上流延的工序C、及
[0121] 通過使上述流延的濾液中的溶劑氣化，形成偏氣乙締系聚合物膜的工序D。
[0122] 另外，本發明的膜為壓電膜的情況下，例如可W通過除上述工序A~D之外，還在上 述工序D之后包括如下工序的制造方法制造：
[0123] 通過對上述偏氣乙締系聚合物進行極化處理，得到極化偏氣乙締系聚合物膜的工 序E、及
[0124] 對上述非極化或極化偏氣乙締系聚合物膜進行熱處理的工序F。
[01巧]工序A (液狀組合物的制備工序)
[0126] 工序A中，制備含有偏氣乙締系聚合物和溶劑的液狀組合物(涂料）。例如，使偏氣 乙締系聚合物W及所要求的成分(例如上述聚合物W外的聚合物、無機氧化物顆粒和親和 性提高劑)溶解或分散于溶劑中，制備液狀組合物。
[0127] 液狀組合物的制備時的溶解溫度沒有特別限定，提高溶解溫度能夠促進溶解，因 此優選。但是，若溶解溫度過高，存在所得到的膜著色的傾向，因此，溶解溫度優選為室溫W 上80°CW下。
[012引另外，從防止運種著色的意義出發，作為上述溶劑的優選例，可列舉:酬系溶劑(例 如，甲基乙基甲酬(MEK)、甲基異下基酬(MIBK)、丙酬、二乙基酬、二丙基甲酬）、醋系溶劑(例 如，乙酸乙醋、乙酸甲醋、乙酸丙醋、乙酸下醋、乳酸乙醋）、酸系溶劑（例如，四氨巧喃、甲基 四氨巧喃、二嗯燒)及酷胺系溶劑(例如，二甲基甲酯胺(DMF)、二甲基乙酷胺、N-甲基化咯燒 酬(NMP))。運些溶劑可W單獨或組合巧巾W上使用。作為上述溶劑，可W使用作為聚偏氣乙 締(PVDF)的溶解中所通用的溶劑的酷胺系溶劑，溶劑中的酷胺系溶劑的含有率優選為50% W下。
[0129] 工序B(過濾工序)
[0130] 工序B中，利用深層權桐式過濾器過濾在上述工序A得到的液狀組合物。
[0131] 深層權桐式過濾器一般而言是指:對于將細的纖維(纖維)通過樹脂粘接或熱烙合 結合之后通過利用壓縮壓制機的壓接等進行平膜化而得的材料(也稱為無紡布），實施添加 折痕的加工得到的過濾器。由于該深層權桐式過濾器的結構為具有大的過濾面積的權桐結 構，因此，可W大幅度降低壓力損失，同時實現高的顆粒捕捉效率。在本發明中，利用深層權 桐式過濾器過濾工序A中得到的液狀組合物，由此可W有效地除去灰塵和未溶解物等的雜 質，因此，可W制造顯示高的電絕緣性，耐電壓性優異的偏氣乙締系聚合物膜。
[0132] 深層權桐式過濾器的孔徑通常在0.1~20皿的范圍內，優選為在0.5~15皿的范圍 內。
[0133] 深層權桐式過濾器可W使用市售品。可列舉例如R0KI TECHNO(株)的DIA II系列。
[0134] 上述工序B中，可W適當設定壓力進行過濾。該壓力通常在0.01~1M化的范圍內， 優選為在0.05~0.5MPa的范圍內。
[0。引工序C(向基材上的流延(涂布)工序)
[0136] 工序C中，使在上述工序B得到的濾液在基材上流延。
[0137] 上述濾液向基材上的流延(涂布)基于如下方法進行即可，其為刮涂方式、誘鑄涂 布方式、漉涂方式、凹版涂布方式、刮刀涂布方式、棒涂布方式、空氣定厚器涂裝方式或縫口 模頭方式等的慣用的方法。其中，從操作性容易的方面、得到的膜厚度的偏差少的方面、生 產性優異的方面考慮，優選凹版涂布方式或縫口模頭方式。作為該基材，例如可W使用聚對 苯二甲酸乙二醇醋(PET)膜、用脫模劑等進行了脫模處理的PET膜和鋼帶。
[0。引工序D (溶劑的氣化工序)
[0139] 工序D中，通過使在工序C中流延的濾液中的溶劑氣化，形成偏氣乙締系聚合物膜。
[0140] 上述溶劑的氣化可W通過加熱等慣用的干燥方法實施。
[0141] 上述溶劑的氣化中的干燥溫度可W根據溶劑的種類等適當確定，通常在20°C~ 200°C的范圍內，優選為在40°C~170°C的范圍內。
[0142] 該干燥溫度可W為恒定溫度，也可W使其變化。通過使干燥溫度從低溫(例如40~ 100°C)變化為高溫(例如120~200°C)，可W降低得到的膜的霧度值。其例如可W通過如下 方法實現:將干燥區域分割成數區域，膜(或膜形成前的被流延的溶液)進入低溫的區域，移 動到高溫的區域。
[0143] 具體而言，例如將干燥區域分割成50°C、80°C、120°C和150°C的4區域，使膜從50°C 的區域向150°C的區域連續地移動即可。
[0144] 上述溶劑的氣化中的干燥時間通常在10~600秒的范圍內，優選為在30~300秒的 范圍內。
[0145] 工序D中所得到的偏氣乙締系聚合物膜優選為沒有被拉伸的膜。另外，優選為在本 發明的制造方法中也不拉伸該非極化膜。即，本發明的膜優選為無拉伸的膜。運樣得到的本 發明的膜，其厚度的均勻性高。具體而言，優選本發明的膜在膜整體，在對每1cm見方中10處 測定的厚度的變動系數為平均膜厚的±20% W下。
[01W 工序E (極化處理工序)
[0147] 工序D中所得到的偏氣乙締系聚合物膜為沒有進行極化的非極化的狀態。因此，將 該"非極化的偏氣乙締系聚合物膜"（W下，有時簡稱為"非極化膜"）設為壓電膜的情況下， 在上述工序D之后，進行工序E的極化處理和工序F的熱處理。工序E的極化處理可W通過電 暈放電處理等的慣用的方法進行。
[0148] 工序E的極化處理優選通過電暈放電進行。
[0149] 電暈放電中可W利用負電暈和正電暈中的任一種，從非極化樹脂膜的極化簡易度 的觀點出發，優選使用負電暈。
[0150] 電暈放電處理沒有特別限定，例如可W通過如下方法進行：如日本特開2011- 181748號公報中記載的那樣，對非極化膜利用線狀電極進行施加;或者對非極化膜利用針 狀電極進行施加。
[0151] 電暈放電處理的條件基于本發明所屬的技術領域的常識適當設定即可。若電暈放 電處理的條件過弱，所得到的壓電膜的壓電性有可能變得不充分，然而，若電暈放電處理的 條件過強，所得到的壓電膜有可能具有點狀缺陷。
[0152] 例如，利用線狀電極W卷對卷進行連續施加時，雖然因線狀電極和非極化膜之間 的距離、膜膜厚等而不同，但例如為一15~一25kV的直流電場。處理速度例如為10~500cm/ 分。
[0153] 作為其它方法，極化處理除電暈放電之外，例如可W通過如下方法實施:從非極化 膜的兩面用平板電極夾持，從而施加。具體而言，例如，從非極化膜的兩面用平板電極夾持， 從而進行施加時，可W采用如下條件:0~400MV/m(優選為50~400MV/m)的直流電場w及 0.1秒~60分的施加時間。
[0154]工序E中所使用的非極化膜的厚度的確定根據希望得到的壓電膜進行即可。
[01巧]工序F(熱處理工序)
[0156] 工序F在上述工序D或E之后實施。即，在工序F中，對在工序D得到的非極化的偏氣 乙締系聚合物膜、或通過工序E的極化處理得到的極化偏氣乙締系聚合物膜下，有時簡 稱為極化膜。）進行熱處理。工序F優選在工序E之后進行。
[0157] 工序F的熱處理可W對上述極化膜或在工序E中完成極化的部分進行。即，可W - 邊實施工序E的極化處理，一邊對結束該極化處理的部分實施工序F的熱處理。
[0158] 熱處理的方法沒有特別限定，例如可W通過如下方法進行：用2張金屬板夾持非極 化或極化膜，加熱該金屬板;將上述膜的卷在恒溫槽中加熱；或者在利用卷對卷方式的上述 膜的生產中，加熱金屬漉，使上述膜與該加熱的金屬漉