技術總結
本實用新型公開了一種用于晶圓盒可靠高效搬運的機械手，晶圓盒包括盒體和把手，把手俯視大體呈U字形，機械手包括手爪、定位傳感器以及鎖緊機構，手爪側視大體呈J字形，定位傳感器設置在手爪的非彎鉤一側并與搬運控制器通訊，鎖緊機構包括鎖緊塊、鎖緊驅動單元以及鎖緊控制器，鎖緊塊設置在手爪的彎鉤一側，鎖緊驅動單元驅動鎖緊塊上下運動，鎖緊塊上行以使其下端遠離手爪的彎鉤自由端或下行以使其下端抵靠在手爪的彎鉤自由端。該機械手體積小、結構緊湊、帶視覺識別和傳感檢測功能，并在機械結構上配置有物料鎖緊機構。可保證機械手能夠準確可靠地抓取晶圓盒，在搬運過程中可避免晶圓盒滑落，有助于實現高效可靠地作業。
技術研發人員：葉磊;戴軍;王宏軍;林睿;厲茂海
受保護的技術使用者：蘇州元謀智能機器人系統有限公司
文檔號碼：201621015655
技術研發日：2016.08.31
技術公布日：2017.05.10