專利名稱：感光性樹脂組合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有機電致發光顯示裝置及液晶顯示裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種感光性樹脂組合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有機電致發光(Electro Luminescence, EL)顯示裝置及液晶顯示裝置。
背景技術：
在有機EL顯示裝置或液晶顯示裝置等中設有形成有圖案的層間絕緣膜。在該層間絕緣膜的形成中，從所必需的用以獲得圖案形狀的步驟數少、且獲得充分的平坦性等方面考慮，廣泛使用感光性樹脂組合物。對于使用如上所述的感光性樹脂組合物而形成有圖案的層間絕緣膜或平坦化膜，除了透明性以外，亦要求其是對在電極的圖案形成中所使用的蝕刻液或抗蝕劑剝離液的耐受性(耐溶劑性)或液晶污染性(電氣特性)優異等可靠性高的硬化膜。而且，近年來為了使有機EL顯示裝置或液晶顯示裝置為高精細的顯示特性，亦要求可將感光性樹脂組合物并無不均地涂布于基板上，且具有高分辨率。而且，現有的感光性樹脂組合物已知有專利文獻I 專利文獻3中所記載的感光性樹脂組合物。[現有技術文獻][專利文獻][專利文獻I]日本專利特開2000-298344號公報[專利文獻2]日本專利特 開平6-167811號公報[專利文獻3]日本專利特開2011-221494號公報
發明內容
本發明的目的在于提供硬化后的基板密接性優異、且可抑制圖案的熱流動的感光性樹脂組合物。本發明的上述課題可通過以下的〈1>、〈7>、〈9>、〈11>或〈12 >中所記載的手段而解決。與作為優選的實施方式的〈2> 〈6>、<8>及〈10> —同記載如下。<1> 一種感光性樹脂組合物，其特征在于含有:(成分A)滿足下述(I)或⑵的成分、(成分B)光酸產生劑、(成分C)具有I個以上酸基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于1，000的化合物、及(成分D)溶劑，(I)包含(al)具有酸基被酸分解性基保護而成的殘基的結構單元及(a2)具有交聯性基的結構單元的聚合物，(2)包含(al)具有酸基被酸分解性基保護而成的殘基的結構單元的聚合物及包含(a2)具有交聯性基的結構單元的聚合物；<2>根據上述〈1>所述的感光性樹脂組合物，其特征在于:成分C是具有I個以上羧基和/或酚性羥基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于1，000的化合物；
<3>根據上述Cl〉或〈2>所述的感光性樹脂組合物，其特征在于:感光性樹脂組合物是化學增幅正型感光性樹脂組合物；<4>根據上述<1> 〈3>中任一項所述的感光性樹脂組合物，其特征在于:成分C是具有I個以上羧基和/或酚性羥基被下述式(Cl)或式(c2)所表示的基保護而成的殘基的分子量小于1，000的化合物，[化I]
權利要求
1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于含有: 成分A:滿足下述⑴或⑵的成分； 成分B:光酸產生劑； 成分C:具有I個以上酸基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于1，OOO的化合物；以及 成分D:溶劑， (1)包含(al)具有酸基被酸分解性基保護而成的殘基的結構單元及(a2)具有交聯性基的結構單元的聚合物， (2)包含(al)具有酸基被酸分解性基保護而成的殘基的結構單元的聚合物及包含(a2)具有交聯性基的結構單元的聚合物。
2.根據權利要求1所 述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是具有I個以上羧基和/或酚性羥基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于1，000的化合物。
3.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述感光性樹脂組合物是化學增幅正型感光性樹脂組合物。
4.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是具有I個以上羧基和/或酚性羥基被下述式(Cl)或式(c2)所表示的基保護而成的殘基的分子量小于1，000的化合物，
5.根據權利要求4所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是下述式(c3)或式(c4)所表示的化合物，
6.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是具有I個以上脂肪族羧基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于I, OOO的化合物。
7.根據權利要求3所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是具有I個以上羧基和/或酚性羥基被下述式(Cl)或式(c2)所表示的基保護而成的殘基的分子量小于1，000的化合物；
8.根據權利要求7所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是下述式(c3)或式(c4)所表示的化合物，
9.根據權利要求3所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是具有I個以上脂肪族羧基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于I, 000的化合物。
10.根據權利要求4所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是具有I個以上脂肪族羧基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于I, 000的化合物。
11.根據權利要求5所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是具有I個以上脂肪族羧基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于1,000的化合物。
12.根據權利要求7所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是具有I個以上脂肪族羧基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于I, 000的化合物。
13.根據權利要求8所述的感光性樹脂組合物，其特征在于: 所述成分C是具有I個以上脂肪族羧基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量小于I,000的化合物。
14.一種硬化膜的形成方法，其特征在于包含: (I)涂布步驟，將根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上；(2)溶劑除去步驟，自所涂布的所述感光性樹脂組合物中除去溶劑； (3)曝光步驟，利用光化射線對除去所述溶劑的所述感光性樹脂組合物進行曝光； (4)顯影步驟，利用水性顯影液對曝光后的所述感光性樹脂組合物進行顯影；以及 (5)后烘步驟，對顯影后的所述感光性樹脂組合物進行熱硬化。
15.根據權利要求14所述的硬化膜的形成方法，其特征在于包含: 在所述顯影步驟后且在后烘步驟之前，對包含顯影后的所述感光性樹脂組合物的所述基板進行全面曝光的步驟。
16.—種硬化膜,其特征在于: 所述硬化膜利用根據權利要求14所述的硬化膜的形成方法而形成。
17.根據權利要求16所述的硬化膜，其特征在于: 所述硬化膜是層間絕緣膜。
18.一種有機電致發光顯示裝置，其特征在于包含: 根據權利要求16所述的硬化膜 。
19.一種液晶顯示裝置，其特征在于包含: 根據權利要求16所述的硬化膜。
全文摘要
本發明的目的為提供硬化后的基板密接性優異、可抑制圖案熱流動的感光性樹脂組合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有機電致發光顯示裝置及液晶顯示裝置。本發明的感光性樹脂組合物的特征在于含有(成分A)滿足下述(1)或(2)的成分、(成分B)光酸產生劑、(成分C)具有1個以上8個以下酸基被酸分解性基保護而成的殘基的分子量為130以上且小于1,000的化合物及(成分D)溶劑。(1)包含(a1)具有酸基被酸分解性基保護而成的殘基的結構單元及(a2)具有交聯性基的結構單元的聚合物。(2)包含(a1)具有酸基被酸分解性基保護而成的殘基的結構單元的聚合物及包含(a2)具有交聯性基的結構單元的聚合物。
文檔編號G03F7/00GK103226290SQ20131003751
公開日2013年7月31日 申請日期2013年1月30日 優先權日2012年1月31日
發明者崎田享平, 川島敬史, 山田悟, 米澤裕之, 柏木大助, 安藤豪 申請人:富士膠片株式會社