技術總結
于本發明的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盤(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)內，設有按壓基板托盤(40a)使基板(P)與基板托盤(40a)一起移動的基板搬出裝置(70a)。因此，能在對基板(P)的曝光處理結束后，為更換基板(P)而使基板載臺(20a)位于基板更換位置之前，開始基板(P)的搬出動作。
技術研發人員：青木保夫;柳川卓也
受保護的技術使用者：株式會社尼康
文檔號碼：201611001027
技術研發日：2012.05.11
技術公布日：2017.06.20