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導電性樹脂組合物及導電電路的制作方法

文檔序號:10653261閱讀:822來源:國知局
導電性樹脂組合物及導電電路的制作方法
【專利摘要】本發明提供導電性樹脂組合物及導電電路,具體來說,本發明提供一種滿足高精細的導電電路所要求的低電阻及密合性、且抑制顯影殘渣的產生、并且能夠形成具有優異分辨率的微細的導電電路的導電性樹脂組合物及使用其形成的導電電路。一種導電性樹脂組合物,其含有:含羧基樹脂、導電性粉末、含羧基(甲基)丙烯酸酯單體、光聚合引發劑及熱固化性成分。
【專利說明】
導電性樹脂組合物及導電電路
技術領域
[0001] 本發明設及適合于形成薄型觸摸面板顯示器等中有用的導電電路的導電性樹脂 組合物、及使用其形成的導電電路。
【背景技術】
[0002] 近年來,觸摸面板顯示器等中,小型化、高密度化、高精細化等要求高漲,形成于其 中的電路、電極等的精細化的要求也比W往增加。
[0003] 對于運樣的要求,使用用于形成導電電路的導電糊劑、并且與圖案印刷法相比能 夠進行導電電路的高精細化等的光刻法適合(例如參照專利文獻1~6)。
[0004] 現有技術文獻 陽00引專利文獻
[0006] 專利文獻1 :日本特開2014-101412號公報
[0007] 專利文獻2 :日本特開2013-137511號公報 陽00引專利文獻3 :日本特開2013-136727號公報
[0009] 專利文獻4 :國際公開第2010/113287號公報
[0010] 專利文獻5 :日本特開2014-167090號公報
[0011] 專利文獻6 :日本特開2015-026013號公報

【發明內容】
發巧要解決的間顆
[0013] 然而,由于觸摸面板顯示器的邊框化ezel)的狹小化,特別要求形成在邊框 化ezel)的導電電路的間距的進一步高精細化,利用W往的導電糊劑時分辨率不充分。另 夕F,也有在作為光刻技術的顯影工序中產生顯影殘渣運樣的問題。
[0014] 本發明鑒于運樣的實際情況而開發,其課題在于,提供一種滿足高精細的導電電 路所要求的低電阻及密合性、且抑制顯影殘渣的產生、并且能夠形成具有優異分辨率的微 細的導電電路的導電性樹脂組合物及使用其形成的導電電路。 引 用于解決間顆的方案
[0016] 本發明的一個方案如下所述。
[0017] 山一種導電性樹脂組合物,其含有:含簇基樹脂、導電性粉末、含簇基(甲基)丙 締酸醋單體、光聚合引發劑及熱固化性成分。
[001引凹根據山所述的導電性樹脂組合物,其中,前述含簇基(甲基)丙締酸醋單體 的酸值為5~200m巧OH/g的范圍。
[0019] 閒根據山或凹所述的導電性樹脂組合物,其中,前述含簇基(甲基)丙締酸 醋單體為下述通式(I)所示的化合物。
[0020]
滅m
[0021]式中, 陽02引 n為0~4的整數;
[0023] R各自獨立地為氨原子或甲基;
[0024] Li為-0-基、-(O-CH 2邸2) ni-0-基(其中,nl為0~8的整數)、-(0-邸2邸2邸2) 。2-〇-基(其中,n2為0~8的整數); 陽0巧]Lz為選自由單鍵、亞烷基、亞締基、亞苯基、環亞烷基及環亞締基組成的組中的基 團。
[0026] W根據山~閒中任一項所述的導電性樹脂組合物,其中,前述熱固化性成分 為封端異氯酸醋。
[0027] [引根據[1]~[4]中任一項所述的導電性樹脂組合物,其中,前述導電性粉末的 平均粒徑為0. 1~IOy m。
[0028] [6] -種導電電路,其使用[1]~[5]中任一項所述的導電性樹脂組合物而形成。 陽0巧] 發巧的效果
[0030] 根據本發明,可W提供一種滿足高精細的導電電路所要求的電阻性及密合性、且 抑制顯影殘渣的產生、并且能夠形成具有優異分辨率的高精細的導電電路的導電性樹脂組 合物、及使用其形成的導電電路。
[0031] 另外,可W提供一種在使用NazCOs濃度為0. 2質量%左右的稀堿顯影液進行顯 影時也能形成導電電路而不會產生顯影殘渣的導電性樹脂組合物、及使用其形成的導電電 路。
【具體實施方式】
[0032] W下,詳細說明本發明。
[0033] 本發明的導電性樹脂組合物含有:含簇基樹脂、導電性粉末、含簇基(甲基)丙締 酸醋單體、光聚合引發劑及熱固化性成分。
[0034] W下,也包括可選成分在內,對本發明的導電性樹脂組合物中可W含有的各成分 進行說明。
[0035] <含簇基(甲基)丙締酸醋單體〉
[0036] 本發明的導電性樹脂組合物的第一特征在于,含有含簇基(甲基)丙締酸醋單體。
[0037] 本發明人等進行了深入研究,結果發現:通過使用含簇基(甲基)丙締酸醋單體, 例如在使用NazCOs濃度為0. 2質量%左右的稀堿顯影液進行顯影時,也能抑制顯影殘渣的 產生,并且分辨率也得W改善。推測運是因為,通過使用結構中含有簇基的(甲基)丙締酸 醋單體,促進在未曝光區域的基于堿顯影液的顯影性,因此顯著改善了顯影殘渣。另外,推 測由于利用稀堿水溶液進行顯影,所W能夠在對曝光部造成的損傷少的狀態下形成圖像, 進而,曝光區域與未曝光區域在堿顯影液中的溶解性反差提高,結果改善了分辨率。
[0038] 此處(甲基)丙締酸醋"是指統稱丙締酸醋或甲基丙締酸醋、或者丙締酸醋及甲 基丙締酸醋的混合物的用語,對于其他類似的表現也同樣。
[0039] 對于含簇基(甲基)丙締酸醋單體,在一個方案中,酸值優選為5~200m巧OH/g, 更優選為10~180m巧OH/g,進一步優選為20~150m巧OH/g。通過使酸值小于5m巧OH/g, 有時在顯影液中的溶解性變低、顯影性下降。另外,酸值超過200m巧OH/g時,有時在顯影液 中的溶解性過度提高,導致分辨率下降。
[0040] 本發明的一個方案中,含簇基(甲基)丙締酸醋單體優選為下述通式(I)所示的 化合物。
[0041 ] 姨;Ul
[0042]式中, 陽0創 n為0~4的整數; W44] R各自獨立地為氨原子或甲基;
[0045] Li為-0-基、-(O-CH 2邸2) ni-0-基(其中,nl為0~8的整數)、-(0-邸2邸2邸2) 。2-〇-基(其中,n2為0~8的整數);
[0046] Lz為選自由單鍵、亞烷基、亞締基、亞苯基、環亞烷基及環亞締基組成的組中的基 團。
[0047] 通式(I)中,作為Lz的亞烷基可W為直鏈及支鏈的任意種。作為L 2的亞烷基優選 為碳數0~8的亞烷基,例如可W舉出亞甲基、亞乙基、亞丙基、S亞甲基、四亞甲基、五亞甲 基、六亞甲基等。作為亞烷基,優選碳數1~4的亞烷基。
[0048] 作為Lz的亞締基可W為直鏈及支鏈的任意種。作為Lz的亞締基優選為碳數2~ 8的亞締基,例如可W舉出乙締基、1-甲叉-亞乙基(-C (=邸2)邸2-)等。 W例作為Lz的環亞烷基例如可W舉出環亞己基等。
[0050] 作為Lz的環亞締基例如可W舉出環亞己締基等。
[0051] 另外,作為Lz的亞苯基、環亞烷基、環亞締基可W具有取代基,作為該取代基,例如 可W舉出甲基、乙基等碳數1~4的烷基、面原子、碳數1~4的烷氧基等。
[0052] 而且,基團Lz優選為碳數1~4的亞烷基,更優選為亞甲基或亞乙基。
[00對作為通式(I)所示的化合物的優選一例,可W舉出n為UR為氨原子(更優選所 有R為氨原子)、Li為-0-基、L 2為亞乙基的化合物。
[0054] 含簇基(甲基)丙締酸醋單體的分子量例如優選為100~5000,更優選為300~ 3000 O
[0055] 本發明的導電性樹脂組合物可W單獨含有1種含簇基(甲基)丙締酸醋單體,也 可W含有2種W上含簇基(甲基)丙締酸醋單體。
[0056] 對于本發明的導電性樹脂組合物中的含簇基(甲基)丙締酸醋單體的含有率,W 固體成分換算計,相對于后述的含簇基樹脂100質量份,優選為5~100質量份、更優選為 10~80質量份的范圍。從涂膜的粘性、導電電路形成等觀點出發,優選含有率在該范圍內。
[0057] <第二單體〉
[0058] 本發明的導電性樹脂組合物可W進一步含有除含簇基(甲基)丙締酸醋單體W外 的單體(W下稱為"第二單體")。作為該第二單體,例如可W舉出:慣用公知的聚醋(甲基) 丙締酸醋、聚酸(甲基)丙締酸醋、氨基甲酸醋(甲基)丙締酸醋、碳酸醋(甲基)丙締酸 醋、環氧(甲基)丙締酸醋等。具體而言,可W舉出選自下述物質中的至少任一種等:丙締 酸-2-徑基乙醋、丙締酸-2-徑基丙醋等丙締酸徑基烷基醋類;乙二醇、甲氧基四乙二醇、聚 乙二醇、丙二醇等二醇的二丙締酸醋類;N,N-二甲基丙締酷胺、N-徑甲基丙締酷胺、N,N-二 甲基氨基丙基丙締酷胺等丙締酷胺類;丙締酸N,N-二甲基氨基乙醋、丙締酸N,N-二甲基 氨基丙醋等丙締酸氨基烷基醋類;己二醇、=徑甲基丙烷、季戊四醇、雙季戊四醇、=(徑基 乙基)異氯脈酸醋等多元醇的多元丙締酸醋類或運些多元醇的環氧乙燒加成物、環氧丙烷 加成物、或e -己內醋加成物等的多元丙締酸醋類;苯氧基丙締酸醋、雙酪A二丙締酸醋、 及運些酪類的環氧乙燒加成物或環氧丙烷加成物等的多元丙締酸醋類;丙=醇二縮水甘油 酸、丙=醇=縮水甘油酸、=徑甲基丙烷=縮水甘油酸、異氯脈酸=縮水甘油醋等縮水甘油 酸的多元丙締酸醋類;并不限定于前述,將聚酸多元醇、聚碳酸醋二醇、徑基末端聚下二締、 聚醋多元醇等多元醇直接丙締酸醋化、或介由二異氯酸醋進行氨基甲酸醋丙締酸醋化而成 的丙締酸醋類、=聚氯胺丙締酸醋、及與前述丙締酸醋相對應的各甲基丙締酸醋類。
[0059] 進而,可W使用使甲酪酪醒清漆型環氧樹脂等多官能環氧樹脂與丙締酸反應而得 到的環氧丙締酸醋樹脂、使該環氧丙締酸醋樹脂的徑基進一步與由季戊四醇=丙締酸醋等 徑基丙締酸醋和異氣爾酬二異氯酸醋等二異氯酸醋形成的半氨基甲酸醋化合物反應而得 到的環氧氨基甲酸醋丙締酸醋化合物等作為反應性稀釋劑。運樣的環氧丙締酸醋系樹脂能 夠提高光固化性,而不會降低指觸干燥性。
[0060] 〈含簇基樹脂〉
[0061] 作為含簇基樹脂,可W使用分子中含有簇基的公知慣用的樹脂化合物。
[0062] 作為含簇基樹脂,可W為包含碳-碳雙鍵的含簇基感光性樹脂,但優選不含碳-碳 雙鍵的含簇基樹脂。不含雙鍵的含簇基樹脂不會與含簇基(甲基)丙締酸醋單體、作為可 選成分的第二單體反應,因此不會形成分子間鍵。因此,含簇基樹脂的分子量不會變大,所 W在顯影時容易去除。其結果,導電性粉末變密,能夠降低導電電路的電阻值。另外,作為 含簇基樹脂,可W為包含芳香環的含簇基感光性樹脂,但優選不含芳香環的含簇基樹脂。通 過設為不含芳香環的結構,能夠抑制含簇基樹脂本身的光吸收,能夠相對地提高(甲基)丙 締酸醋單體的光反應性,由此促進固化收縮。其結果,導電性粉末變密,能夠降低導電電路 的電阻率。
[0063] W下列舉含簇基樹脂的具體例。
[0064] (1)(甲基)丙締酸等不飽和簇酸與1種W上除其W外的具有不飽和雙鍵的化合物 共聚而得到的含簇基樹脂;
[0065] (2)馬來酸酢等具有不飽和雙鍵的酸酢與除其W外的具有不飽和雙鍵的化合物共 聚而得到的含簇基樹脂;
[0066] (3)使具有不飽和雙鍵的酸酢和除其W外的具有不飽和雙鍵的化合物的共聚物與 具有徑基的化合物反應而得到的含簇基樹脂;
[0067] (4)使具有環氧基及不飽和雙鍵的化合物和具有不飽和雙鍵的化合物的共聚物與 飽和簇酸反應,使生成的仲徑基與多元酸酢反應而得到的含簇基樹脂;
[0068] (5)使含徑基聚合物與多元酸酢反應而得到的含簇基樹脂,
[0069] 但并不限定于運些樹脂。
[0070] 需要說明的是,本說明書中,(甲基)丙締酸是指統稱丙締酸、甲基丙締酸及它們 的混合物的用語,對于其他類似的表達也同樣。
[0071] 上述那樣的含簇基樹脂在主鏈聚合物的側鏈具有多個游離的簇基,因此能夠利用 稀堿水溶液進行顯影。 陽072] 另外,上述含簇基樹脂的酸值優選為40~200m巧OH/g的范圍,更優選為45~ 120m巧OH/g的范圍。從顯影性的觀點出發,優選含簇基樹脂的酸值為40m巧OH/g W上。另 一方面,從防止曝光部被顯影液溶解而使線細至必要W上或曝光部和未曝光部的溶解性反 差惡化的觀點出發,優選為200m巧OH/g W下。
[0073] 另外,上述含簇基樹脂的質均分子量根據樹脂骨架的不同而異,通常優選在 2000~150000的范圍、進一步優選在5000~100000的范圍。從不粘性能、分辨率等觀點 出發,優選質均分子量為2000 W上。另一方面,從顯影性、膽藏穩定性等觀點出發,優選質 均分子量為150000 W下。
[0074] 關于導電性樹脂組合物中的含簇基樹脂的含有率,W導電性樹脂組合物中的全部 固體成分質量作為基準,優選為3~50質量%、更優選為5~30質量%。從導電電路的強 度的觀點出發,優選含簇基樹脂的含有率為3質量% ^上。另一方面,從粘性、涂布性的觀 點出發,優選含簇基樹脂的含有率為50質量% W下。 陽〇7引 < 導電性粉末〉
[0076] 對于導電性粉末的材質,只要對本發明的導電性樹脂組合物賦予導電性,則可W 使用任何材質。作為運樣的導電性粉末,可W舉出Ag、Au、Pt、Pd、Ni、Cu、Al、Sn、Pb、ai、Fe、 lr、0s、化、W、Mo、Ru等,其中,優選Ag。運些導電性粉末可W W上述成分單質的形態使用,也 可WW合金、氧化物的形態使用。進而,也可W使用氧化錫(Sn〇2)、氧化銅(Iri2〇3)、ITO(氧 化銅錫,Indium Tin化ide)等。需要說明的是,作為導電性粉末,可W為炭黑、石墨、碳納 米管等碳粉。但是,由于透光性會降低,所W需要注意。
[0077] 導電性粉末的形狀沒有特別限制,優選為除鱗片(flake)狀W外的形狀、尤其優 選為針狀或球狀。由此,透光性提高,可W形成分辨率優異的導電電路。
[0078] 對于運樣的導電性粉末,為了形成微細的線,優選最大粒徑為30 ym W下。通過使 最大粒徑為30 y m W下,導電電路的分辨率提高。
[0079] 另外,對于導電性粉末,W使用電子顯微鏡(SEM)在10000倍下觀察到的隨機10 個導電性粉末的平均粒徑計,其范圍優選為0. 1~10 y m W下。從導電性的觀點出發,優選 平均粒徑為0. 1 ym W上。另一方面,從防止絲網的網眼堵塞的觀點出發,優選平均粒徑為 IOym W下。需要說明的是,優選使用利用麥奇克粒度分析儀(Microtrac)測定的平均粒徑 為0. 5~3. 5 Jim的大小的導電性粉末。
[0080] 對于本發明的導電性樹脂組合物中的導電性粉末的含有率,W導電性樹脂組合物 中的全部固體成分質量作為基準,優選為75~90質量%的范圍。從導電性的觀點出發,優 選導電性粉末的含有率為75質量% ^上。另一方面,從光的透過性的觀點出發,優選導電 性粉末的含有率為90質量% W下。 陽0川 <光聚合引發劑〉
[0082] 作為光聚合引發劑,沒有特別限定,可W使用目虧醋系、苯乙酬系、苯偶姻系、氧化麟 系中任意種。
[0083] 本發明的一個方案中,光聚合引發劑優選為具有下述通式(V)所示基團的目虧醋系 聚合引發劑、或具有下述通式(VI)所示基團的苯乙酬系光聚合引發劑。
[0084]
[00化]通式(V)中,R6表示氨原子、碳數1~6的烷基、或苯基,R7表示氨原子、或碳數 1~6的烷基。
[0086] 通式(VI)中,R8及R9各自獨立地表示碳數1~12的烷基或碳數6~12的芳燒 基,Rio及Rl I各自獨立地表示氨原子、或碳數I~6的烷基。或者,Rio和Rl I可W鍵合而與 式中的氮原子一起形成環,該環可W包含酸鍵。作為具體例,可W舉出2-芐基-2-二甲基氨 基-1-(4-嗎嘟代苯基)-1-下酬、2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基)-1-[4-(4-嗎 嘟基)苯基]-1-下酬等。
[0087] 前述朽醋系光聚合引發劑中,優選BASF JAPAN株式會社制造的CGI-325、IRGACURE 0XE0UIRGACURE 0XE02、ADEKA株式會社制造的N-1919、NCI-831、日本化學工業株式會社制 造的T0E-004等。另外,作為光聚合引發劑,可W為IRGACURE 369或IRGACURE 37犯G。需 要說明的是,運些光聚合引發劑可W單獨使用或組合2種W上使用。
[0088] 作為前述具有通式(VI)所示基團的苯乙酬系光聚合引發劑,可W舉出2-甲 基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎嘟基丙酬-1、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎嘟基苯 基)-1-下酬、2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎嘟基)苯基]-1-下 酬、N,N-二甲基氨基苯乙酬等。作為市售品,可W舉出BASF JAPAN株式會社制造的 IRGACURE 907、IRGACURE 369、IRGACURE 37犯G 等。
[0089] 運樣的光聚合引發劑的配混率沒有特別限定,相對于前述含簇基樹脂100質量 份,優選為0.0 l~30質量份、更優選為0. 5~15質量份的范圍。從光固化性、耐化學藥品 性等觀點出發,優選光聚合引發劑的配混率為0.0 l質量份W上。另一方面,從控制由光聚 合引發劑導致的在導電電路表面的光吸收、改善深部固化性的觀點出發,優選為30質量份 W下。
[0090] <熱固化性成分〉
[0091] 本發明的導電性樹脂組合物含有熱固化性成分。作為本發明中使用的熱固化性成 分,可W使用=聚氯胺樹脂、苯并脈胺樹脂等胺樹脂、封端異氯酸醋化合物、環碳酸醋化合 物、多官能環氧化合物、多官能氧雜環下燒化合物、環硫樹脂、=聚氯胺衍生物等公知慣用 的熱固化性樹脂。本發明的一個方案中,優選分子中具有2個W上選自環狀酸基及環狀硫 酸基中的至少任一種(W下簡稱為環狀(硫)酸基)的熱固化性成分。
[0092] 運樣的分子中具有2個W上環狀(硫)酸基的熱固化性成分是分子中具有2個W 上的3元環、4元環或5元環的環狀酸基或環狀硫酸基中的任一種或兩種基團的化合物,例 如,可W舉出:分子內具有至少2個W上環氧基的化合物即多官能環氧化合物、分子內具有 至少2個W上氧雜環下基的化合物即多官能氧雜環下燒化合物、分子內具有2個W上硫酸 基的化合物即環硫樹脂等。
[0093] 作為前述多官能環氧化合物,例如可W舉出菱化學株式會社制造的巧R828、 巧R834、巧RlOOl、巧R1004、DIC 株式會社制造的 EPI化ON 840、EPI化ON 850、EPI化ON 1050、EPI化ON 2055、東都化成株式會社制造的 EP0T0HT0 YD-011、YD-013、YD-127、YD-128、 Dow Qiemical Company 制造的D.E.R. 317、D.E.R. 331、D.E.R.661、D. E.R.664、As址i Qiiba 株式會社制造的 Araldite 6071、Araldite 6084、Araldite GY250、Araldite GY260、住 友化學工業株式會社制造的SUMI-EP0XY ESA-011、ESA-014、ELA-115、ELA-128、旭化成 工業株式會社制造的A. E. R. 330、A. E. R. 331、A. E. R. 661、A. E. R. 664等(均為商品名) 雙酪A型環氧樹脂;S菱化學株式會社制造的巧RYL903、DIC株式會社制造的EPICLON 152、EPI化ON 165、東都化成株式會社制造的 EP0T0HT0 YDB-400、YDB-500、Dow Chemical Company制造的D. E. R. 542、As址i Qiiba公司制造的Araldite 8011、住友化學工業株 式會社制造的SUMI-EPOXY ESB-400、ESB-700、旭化成工業株式會社制造的A. E. R. 711、 A. E. R. 714等(均為商品名)漠化環氧樹脂云菱化學株式會社制造的巧R152JER154、Dow Chemical Company 制造的 D. E. N. 431、D. E. N. 438、DIC 株式會社制造的 EPICLON N-730、 EPI化ON N-770、EPI化ON N-865、東都化成株式會社制造的 EP0T0HT0 YDCN-70UYDCN-704、 BASF JAPAN 株式會社制造的 Araldite ECN1235、Araldite ECN1273、Araldite ECN1299、 Araldite XPY307、日本化藥株式會社制造的 EPPN-201、E0CN-1025、E0CN-1020、E0CN-104S、 RE-306、住友化學工業株式會社制造的SUMI-EPOXY ESCN-195X、ESCN-220、旭化成工業株 式會社制造的A. E. R. ECN-235、ECN-299等(均為商品名)酪醒清漆型環氧樹脂;DIC株 式會社制造的EPICLON 830、S菱化學株式會社制造的巧R807、東都化成株式會社制造的 EP0T0HT0 YDF-170、YDF-175、YDF-2004、BASF JAPAN 株式會社制造的 Araldite XPY306 等 (均為商品名)雙酪F型環氧樹脂;東都化成株式會社制造的EP0T0HT0 ST-2004、ST-2007、 ST-3000 (商品名)等氨化雙酪A型環氧樹脂;=菱化學株式會社制造的巧R604、東都化 成株式會社制造的EP0T0HT0 YH-434、As址i Chiba株式會社制造的Araldite MY720、住 友化學工業株式會社制造的SUMI-EPOXY ELM-120等(均為商品名)縮水甘油胺型環氧樹 月旨;As址i化iba Japan公司制造的Araldite CY-350(商品名)等乙內酷脈型環氧樹脂; Daicel Qiemical Industries Ltd.制造的 CEIX0XIDE 2021、As址i Qiiba 株式會社制造 的Araldite CY175、CY179等(均為商品名)脂環式環氧樹脂;S菱化學株式會社制造的 Yk933、Dow Chemical Company 制造的 T. E. N.、EPPN-501、EPPN-502 等(均為商品名)S 徑基苯基甲燒型環氧樹脂;S菱化學株式會社制造的化-6056、YX-4000、化-6121(均為 商品名)等聯二甲酪型或聯苯酪型環氧樹脂或它們的混合物;日本化藥株式會社制造的 EBPS-200、旭電化工業株式會社制造的EPX-30、DIC株式會社制造的EXA-1514 (商品名)等 雙酪S型環氧樹脂;=菱化學株式會社制造的巧R157S (商品名)等雙酪A酪醒清漆型環 氧樹脂;S菱化學株式會社制造的巧RYk931、As址i化iba株式會社制造的Araldite 163 等(均為商品名)的四徑苯基乙燒型環氧樹脂;As址i化iba株式會社制造的Araldite PT810、日產化學工業株式會社制造的TEPIC等(均為商品名)雜環式環氧樹脂;日本油脂 株式會社制造的BLEMMER DGT等鄰苯二甲酸二縮水甘油醋樹脂;東都化成株式會社制造 的ZX-1063等四縮水甘油基二甲苯酷基乙燒樹脂;新日鐵化學株式會社制造的ESN-190、 ESN-360、DIC株式會社制造的HP-4032、EXA-4750、EXA-4700等含糞基環氧樹脂;DIC株式 會社制造的HP-7200、HP-7200H等具有雙環戊二締骨架的環氧樹脂;日本油脂株式會社制 造的CP-50S、CP-50M等甲基丙締酸縮水甘油醋共聚系環氧樹脂;W及環己基馬來酷亞胺與 甲基丙締酸縮水甘油醋的共聚環氧樹脂;環氧改性的聚下二締橡膠衍生物(例如DAICEL CHEMICAL INDUSTRIES, LlU制造的PB-3600等)、CTBN改性環氧樹脂(例如東都化成株式 會社制造的YR-102、YR-450等)等,但并不限定于運些。運些環氧樹脂可W單獨使用或組 合2種W上使用。其中,特別優選酪醒清漆型環氧樹脂、雜環式環氧樹脂、雙酪A型環氧樹 脂或它們的混合物。
[0094] 作為前述多官能氧雜環下燒化合物,可W舉出雙[(3-甲基-3-氧雜環下基甲氧 基)甲基]酸、雙[(3-乙基-3-氧雜環下基甲氧基)甲基]酸、1,4-雙[(3-甲基-3-氧 雜環下基甲氧基)甲基]苯、1,4-雙[(3-乙基-3-氧雜環下基甲氧基)甲基]苯、丙締酸 (3-甲基-3-氧雜環下基)甲醋、丙締酸(3-乙基-3-氧雜環下基)甲醋、甲基丙締酸(3-甲 基-3-氧雜環下基)甲醋、甲基丙締酸(3-乙基-3-氧雜環下基)甲醋、它們的低聚物或共 聚物等多官能氧雜環下燒類、W及氧雜環下醇與酪醒清漆樹脂、聚(對徑基苯乙締 )Xardo 型雙酪類、杯芳控類、間苯二酪杯芳控類、或倍半硅氧烷等具有徑基的樹脂的酸化物等。除 此之外,也可W舉出具有氧雜環下燒環的不飽和單體與(甲基)丙締酸烷基醋的共聚物等。
[0095] 作為前述分子中具有2個W上環狀硫酸基的化合物,例如可W舉出S菱化學株式 會社制造的雙酪A型環硫樹脂化7000等。另外,也可W使用:使用同樣的合成方法、將酪醒 清漆型環氧樹脂的環氧基的氧原子置換為硫原子而得到的環硫樹脂等。
[0096] 另外,對于本發明的導電性樹脂組合物,為了提高導電性樹脂組合物的固化性及 所得硬化膜的強初性,可W加入1分子內具有2個W上異氯酸醋基或封端化異氯酸醋基的 化合物。對于運樣的1分子內具有2個W上異氯酸醋基或封端化異氯酸醋基的化合物,可 W舉出1分子內具有2個W上異氯酸醋基的化合物即多異氯酸醋化合物、或1分子內具有 2個W上封端化異氯酸醋基的化合物即封端異氯酸醋化合物等。
[0097] 作為多異氯酸醋化合物,例如可W使用芳香族多異氯酸醋、脂肪族多異氯酸醋或 脂環式多異氯酸醋。作為芳香族多異氯酸醋的具體例,可W舉出4,4'-二苯基甲燒二異氯 酸醋、2, 4-甲苯二異氯酸醋、2, 6-甲苯二異氯酸醋、1,5-糞二異氯酸醋、鄰苯二甲撐二異氯 酸醋、間苯二甲撐二異氯酸醋及2, 4-甲苯二異氯酸醋二聚體。作為脂肪族多異氯酸醋的具 體例,可W舉出四亞甲基二異氯酸醋、六亞甲基二異氯酸醋、亞甲基二異氯酸醋、=甲基六 亞甲基二異氯酸醋、4, 4-二異氯酸醋二環己基甲燒(4, 4-methylene-bis(cyclohe巧Iisoc yanate))及異氣爾酬二異氯酸醋。作為脂環式多異氯酸醋的具體例,可W舉出雙環庚燒= 異氯酸醋。W及前面列舉的異氯酸醋化合物的加合物、縮二脈體及異氯脈酸醋體。
[0098] 封端異氯酸醋化合物所含的封端化異氯酸醋基是異氯酸醋基通過與封端劑的反 應被保護從而暫時惰性化的基團。在加熱至規定溫度時,其封端劑解離而生成異氯酸醋基。
[0099] 作為封端異氯酸醋化合物,可W使用異氯酸醋化合物與異氯酸醋封端劑的加成反 應產物。作為能夠與封端劑反應的異氯酸醋化合物,可W舉出異氯脈酸醋型、縮二脈型、加 合物型等。作為該異氯酸醋化合物,例如可W使用與上述同樣的芳香族多異氯酸醋、脂肪族 多異氯酸醋或脂環式多異氯酸醋。
[0100] 作為異氯酸醋封端劑,例如可W舉出苯酪、甲酪、二甲酪、氯酪及乙基苯酪等酪系 封端劑;E-己內酷胺、5-戊內酷胺、y-下內酷胺及0-丙內酷胺等內酷胺系封端劑;乙 酷乙酸乙醋及乙酷丙酬等活性亞甲基系封端劑;甲醇、乙醇、丙醇、下醇、戊醇、乙二醇單甲 酸、乙二醇單乙酸、乙二醇單下酸、二乙二醇單甲酸、丙二醇單甲酸、芐基酸、乙醇酸甲醋、乙 醇酸下醋、雙丙酬醇、乳酸甲醋及乳酸乙醋等醇系封端劑;甲醒朽、乙醒朽、丙酬朽、甲乙酬 月虧、雙乙酷單目虧、環己酬目虧等目虧系封端劑;T硫醇、己硫醇、叔下硫醇、苯硫酪、甲基苯硫酪、 乙基苯硫酪等硫醇系封端劑;乙酷胺、苯甲酯胺等酷胺系封端劑;下二酷亞胺及馬來酷亞 胺等酷亞胺系封端劑;二甲代苯胺、苯胺、下胺、二下胺等胺系封端劑;咪挫、2-乙基咪挫等 咪挫系封端劑;亞甲基亞胺(methylene imine)及丙締亞胺(Propylene imine)等亞胺系 封端劑等。
[0101] 封端異氯酸醋化合物可W為市售品,例如可W舉出7950、7951、7960、7961、 7982、7990、7991、7992( W 上為 Baxenden 公司制造、商品名)、Sumidur Bk3175、 化-4165、化-1100、化-1265、Desmodur TPLS-2957、TPLS-2062、TPLS-2078、TPLS-2117、 Desmothe;rm2170、Desmothe;rm2265( W上為 Sumitomo Bayer Urethane Co, Ltd.制造、商品 名)、0?0酷16 2512、0)1?0酷16 2513、0)1?0酷16 2520(^上為日本聚氨醋工業株式會社制 造、商品名)、B-830、B-815、B-846、B-870、B-874、B-882(M口SUI TAKEDA CHEMICALS, INC. 制造、商品名)、TPA-B80E、17B-60PX、E402-B80T、MF-B60B、MF-K60B、SBN-70D (As址i Kase i 化emicals Co巧oration制造、商品名)、Karenz MOI-BM(昭和電工株式會社制造、商品名) 等。需要說明的是,Sumi化r化-3175、Bk4265是使用甲乙酬朽作為封端劑而得到的封端 異氯酸醋化合物。 陽102] 上述1分子內具有2個W上異氯酸醋基或封端化異氯酸醋基的化合物可W單獨使 用1種或組合使用2種W上。 陽103] 對于運樣的1分子內具有2個W上異氯酸醋基或封端化異氯酸醋基的化合物的配 混率,相對于含簇基樹脂100質量份為1~100質量份、更優選2~70質量份的比例是適 當的。從涂膜的強初性的觀點出發,優選前述配混率為1質量份W上。另一方面,從保存穩 定性的觀點出發,優選為100質量份W下。
[0104] 對于本發明的導電性樹脂組合物,為了進一步提高本發明的效果,或者為了在不 妨礙本發明的效果的范圍內進一步發揮其他效果,可W與上述成分一同包含W下示例的其 他成分。 陽105] <有機酸〉 陽106] 作為有機酸,優選不具有芳香環的有機酸。通過配混不具有芳香環的有機酸,能夠 抑制有機酸本身的光吸收性,含簇基的丙締酸醋單體的光反應性相對提高,能夠獲得優異 的分辨率。
[0107] 作為有機酸的具體例,可W舉出2,2'-硫代二乙酸、己二酸、異下酸、甲酸、巧樣 酸、戊二酸、乙酸、草酸、酒石酸、乳酸、丙酬酸、丙二酸、下酸、蘋果酸、水楊酸、苯甲酸、苯基 乙酸、丙締酸、馬來酸、富馬酸、己豆酸等簇酸類;亞憐酸二下醋、亞憐酸下醋、亞憐酸二甲 醋、亞憐酸甲醋、亞憐酸二丙醋、亞憐酸丙醋、亞憐酸二苯醋、亞憐酸苯醋、亞憐酸二異丙醋、 亞憐酸異丙醋、亞憐酸-2-乙基己醋等亞憐酸的單醋或二醋類;憐酸二下醋、憐酸下醋、憐 酸二甲醋、憐酸甲醋、憐酸二丙醋、憐酸丙醋、憐酸二苯醋、憐酸苯醋、憐酸二異丙醋、憐酸異 丙醋、憐酸-正下基-2-乙基己醋等憐酸的單醋或二醋類等。作為有機酸,優選2, 2'-硫代 二乙酸。
[0108] 作為上述有機酸的配混量,相對于前述導電性粉末100質量份,優選為0. 1~5質 量份的范圍。前述有機酸的配混量相對于前述導電性粉末100質量份小于0. 1質量份時, 前述導電性粉末與含簇基樹脂發生反應,使長期保存穩定性降低,另一方面,前述配混量超 過5質量份時,變得容易吸收空氣中的水分等,因此不優選。
[0109] (分散劑)
[0110] 通過配混分散劑,能夠改善導電性樹脂組合物的分散性、沉降性。 陽111]作為分散劑,例如可 W舉出 ANTI-TERRA-U、ANTI-TERRA-U100、ANTI-TERRA-204、 ANTI-TERRA-205、DISPERBYK-101、DISPERBYK-102、DISPERBYK-103、DISPERBYK-106、 DISPERBYK-108、 DISPERBYK-109、 DISPERBYK-110、 DISPERBYK-111、 DISPERBYK-112、 DISPERBYK-116、 DISPERBYK-130、 DISPERBYK-140、 DISPERBYK-142、 DISPERBYK-145、 DISPERBYK-161、 DISPERBYK-162、 DISPERBYK-163、 DISPERBYK-164、 DISPERBYK-166、 DISPERBYK-167、 DISPERBYK-168、 DISPERBYK-170、 DISPERBYK-171、 DISPERBYK-174、 DISPERBYK-180、 DISPERBYK-182、 DISPERBYK-183、 DISPERBYK-185、 DISPERBYK-184、 DISPERBYK-191、DIS陽RBYK-192、DISPERBYK-2000、DISPERBYK-2001、DISPERBYK-2009、 DIS陽RBYK-2020、DIS陽RBYK-2025、DIS陽RBYK-2050、DIS陽RBYK-2070、DIS陽RBYK-2095、 DIS陽RBYK-2096、DISPERBYK-2150、BYK-P104、BYK-P104S、BYK-P105、BYK-9076、BYK-9077、 BYK-220S 度YK Japan 邸.制造)、DISPA化ON 2150、DISPA化ON 1210、DISPA化ON KS-860、 DISPARLON KS-873N、DISPA化ON 7004、DISPA化ON 1830、DISPA化ON 1860、DISPARLON 1850、DISPA化ON DA-400N、DISPA化ON PW-36、DISPA化ON DA-703-50(楠本化成株式會社制 造)、化OREN G-450、FL0REN G-600、FL0REN G-820、FL0REN G-700、FL0REN D0PA-44、FL0REN DOPA-17 (共榮社化學株式會社制造)。
[0112] 對于分散劑的含有率,為了有效地達成上述目的,相對于導電性粉末100質量份, 優選為0. 1~10質量份,更優選為0. 5~5質量份。 陽11引 <光聚合抑制劑〉
[0114] 通過添加光聚合抑制劑,可W抑制由曝光導致的導電性樹脂組合物內部發生的自 由基聚合當中的、與阻聚劑的種類及其添加量相對應的一定量的自由基聚合。由此,可W抑 制對于散射光那樣的弱光的光反應。由此,可W清晰地形成更細微的導電電路的線,因此可 W優選使用。對于光聚合抑制劑,只要是可W作為光聚合抑制劑使用的物質,就沒有特別限 審IJ,例如可W舉出對苯釀、糞釀、二叔下基對甲酪、氨釀單甲酸、a-糞酪、乙酸乙脈、阱鹽酸 鹽、=甲基芐基氯化錠、二硝基苯、苦味酸、苯釀二目虧、連苯=酪、較酸、間苯二酪、銅鐵試劑、 吩嚷嗦等。
[0115] 光聚合抑制劑的添加量相對于前述含簇基樹脂100質量份優選在0.0 Ol~3質量 份的范圍內、更優選在0.01~2質量份的范圍內。若比該范圍少,則無法發揮阻聚的效果, 在由光散射造成的低曝光量下也會固化,容易發生線形狀的變粗。另外,比該范圍多時,靈 敏度下降,需要更多的曝光量,因此需要注意。 陽116] <填料〉
[0117] 在本發明的導電性樹脂組合物中,為了提高其涂膜的物理強度等,可W根據需要 配混填料。作為運樣的填料,可W使用公知慣用的無機或有機填料,可W特別優選地使用硫 酸領、二氧化娃、水滑石及滑石。
[011引 <熱固化催化劑〉
[0119] 本發明的導電性樹脂組合物中使用上述分子中具有2個W上環狀(硫)酸基的 熱固化性成分時,優選含有熱固化催化劑。作為運樣的熱固化催化劑,例如可W舉出咪 挫、2-甲基咪挫、2-乙基咪挫、2-乙基-4-甲基咪挫、2-苯基咪挫、4-苯基咪挫、1-氯基 乙基-2-苯基咪挫、1-(2-氯基乙基)-2-乙基-4-甲基咪挫等咪挫衍生物;雙氯胺、芐基 二甲基胺、4-(二甲基氨基)-N,N-二甲基芐基胺、4-甲氧基-N,N-二甲基芐基胺、4-甲 基-N,N-二甲基芐基胺等胺化合物、己二酸二酷阱、癸二酸二酷阱等酷阱化合物;S苯基 麟等憐化合物等。另外,作為市售品,例如可W舉出四國化成工業株式會社制造的2MZ-A、 2MZ-0K、2P監、2P4B監、2P4M監(均為咪挫系化合物的商品名)、San-Apro Ltd.制造的 U-CAT(注冊商標)3503N、U-CAT3502T(均為二甲基胺的封端異氯酸醋化合物的商品名)、 DBU、DBN、U-CATSA102、U-CA1'5002(均為二環式脈化合物及其鹽)等。但并不特別限定于運 些,只要是環氧樹脂、氧雜環下燒化合物的熱固化催化劑、或者促進選自環氧基及氧雜環下 基中的至少任一種與簇基的反應的物質即可,可W單獨使用或混合2種W上使用。另外,也 可W使用脈胺、甲基脈胺、苯并脈胺、S聚氯胺、2, 4-二氨基-6-甲基丙締酷氧基乙基-均S 嗦、2-乙締基-2, 4-二氨基-均S嗦、2-乙締基-4, 6-二氨基-均S嗦?異氯脈酸加成物、 2, 4-二氨基-6-甲基丙締酷氧基乙基-均S嗦?異氯脈酸加成物等均S嗦衍生物,優選將 運些也作為密合性賦予劑發揮作用的化合物與前述熱固化催化劑組合使用。
[0120] 運些熱固化催化劑的配混量為通常的量的比率即充分,例如相對于含簇基樹脂或 分子中具有2個W上環狀(硫)酸基的熱固化性成分100質量份,優選為0. 1~20質量份、 更優選為0.5~15質量份。 陽121] <熱聚合抑制劑〉 陽122] 為了防止本發明的導電性樹脂組合物的熱聚合或經時聚合,可W使用熱聚合抑制 劑。作為熱聚合抑制劑,例如可W舉出4-甲氧基苯酪、氨釀、烷基或芳基取代氨釀、叔下基 鄰苯二酪、連苯=酪、2-徑基二苯甲酬、4-甲氧基-2-徑基二苯甲酬、氯化亞銅、氯釀、糞胺、 0 -糞酪、2, 6-二叔下基-4-甲酪、2, 2'-亞甲基雙(4-甲基-6-叔下基苯酪)、化晚、硝基 苯、二硝基苯、苦味酸、4-甲苯胺、亞甲藍、銅與有機馨合劑反應物、水楊酸甲醋、及亞硝基化 合物、亞硝基化合物與Al的馨合物等。 陽123] <鏈轉移劑〉
[0124] 本發明的導電性樹脂組合物中,為了提高靈敏度,可W使用作為鏈轉移劑公知的 N-苯基甘氨酸類、苯氧基乙酸類、硫代苯氧基乙酸類、琉基嚷挫等。舉出鏈轉移劑的具體例 時,例如有琉基班巧酸、琉基乙酸、琉基丙酸、甲硫氨酸、半脫氨酸、硫代水楊酸及其衍生物 等具有簇基的鏈轉移劑;琉基乙醇、琉基丙醇、琉基下醇、琉基丙二醇、琉基下二醇、徑基苯 硫酪及其衍生物等具有徑基的鏈轉移劑;1-下硫醇、3-琉基丙酸下醋、3-琉基丙酸甲醋、 2, 2-(亞乙二氧基)二乙硫醇、乙硫醇、4-甲基苯硫酪、十二烷基硫醇、丙硫醇、下硫醇、戊硫 醇、1-辛硫醇、環戊硫醇、環己硫醇、硫代甘油、4, 4-硫代雙苯硫酪等。 陽125] 另外,可W使用多官能性硫醇系化合物,沒有特別限定,例如可W使用:1,6-己 二硫醇、1,10-癸二硫醇、二琉基二乙酸、二琉基二乙基硫酸等脂肪族硫醇類、苯二甲硫醇 (巧I^ene dimercaptan)、4, 4'-二琉基二苯基硫酸、1, 4-苯二硫酪等芳香族硫醇類;乙 二醇雙(琉基乙酸醋)、聚乙二醇雙(琉基乙酸醋)、丙二醇雙(琉基乙酸醋)、甘油=(琉 基乙酸醋)、=徑甲基乙燒=(琉基乙酸醋)、=徑甲基丙烷=(琉基乙酸醋)、季戊四醇 四(琉基乙酸醋)、二季戊四醇六(琉基乙酸醋)等多元醇的多(琉基乙酸醋)類;乙二 醇雙(3-琉基丙酸醋)、聚乙二醇雙(3-琉基丙酸醋)、丙二醇雙(3-琉基丙酸醋)、甘油 =(3-琉基丙酸醋)、=徑甲基乙燒=(琉基丙酸醋)、=徑甲基丙烷=(3-琉基丙酸醋)、 季戊四醇四(3-琉基丙酸醋)、二季戊四醇六(3-琉基丙酸醋)等多元醇的多(3-琉基 丙酸醋)類;1,4-雙(3-琉基下氧基)下燒、1,3, 5-S (3-琉基下氧基乙基)-1,3,5-S 嗦-2,4,6(1&3&5巧-^酬、季戊四醇四(3-琉基下酸醋)等多元醇的多(琉基下酸醋) 類。
[0126]作為它們的市售品,例如可 W舉出 BMPA、MPM、EHMP、N0MP、MBMP、STMP、TMMP、PEMP、 DPMP及TEMPI" W上,巧化學工業株式會社制造 )、Karenz MT-PE1、Karenz MT-BDl及 Karenz-NRl ( W上,昭和電工株式會社制造)等。
[0127] 進而,對于作為鏈轉移劑發揮作用的具有琉基的雜環化合物,例如可W舉出:琉 基-4-下內醋(別名:2-琉基-4-下內醋)、2-琉基-4-甲基-4-下內醋、2-琉基-4-乙 基-4-下內醋、2-琉基-4-硫代下內醋、2-琉基-4-下內酷胺、N-甲氧基-2-琉基-4-下 內酷胺、N-乙氧基-2-琉基-4-下內酷胺、N-甲基-2-琉基-4-下內酷胺、N-乙基-2-琉 基-4-下內酷胺、N-(2-甲氧基)乙基-2-琉基-4-下內酷胺、N-(2-乙氧基)乙基-2-琉 基-4-下內酷胺、2-琉基-5-戊內醋、2-琉基-5-戊內酷胺、N-甲基-2-琉基-5-戊內酷 胺、N-乙基-2-琉基-5-戊內酷胺、N- (2-甲氧基)乙基-2-琉基-5-戊內酷胺、N- (2-乙 氧基)乙基-2-琉基-5-戊內酷胺、2-琉基苯并嚷挫、2-琉基-5-甲硫基-嚷二挫、2-琉 基-6-己內酷胺、2, 4, 6-S琉基-均S嗦協化成株式會社制造:商品名Zisnet F)、2-二 下基氨基-4, 6-二琉基-均S嗦(S協化成株式會社制造:商品名Zisnet DB)、及2-苯胺 基-4, 6-二琉基-均S嗦(S協化成株式會社制造:商品名Zisnet AF)等。
[0128] 特別地,作為不損害導電性樹脂組合物的顯影性的鏈轉移劑即具有琉基的雜環化 合物,優選2-琉基苯并咪挫、2-琉基苯并嗯挫、2-琉基苯并嚷挫(商品名:川口化學工業株 式會社制造 Accel M)、3-琉基-4-甲基-4H-1,2, 4-S挫、5-甲基-1,3, 4-嚷二挫-2-硫 醇、1-苯基-5-琉基-IH-四挫。運些鏈轉移劑可W單獨使用或組合使用2種W上。
[0129] <其他添加成分〉 陽130] 本發明的導電性樹脂組合物中根據需要當然可W適當配混公知慣用的成分,例如 增稠劑、消泡劑/流平劑、偶聯劑、抗氧化劑、防誘劑等。 陽131] <導電電路的形成〉
[0132] 接著,針對使用本發明的導電性樹脂組合物形成導電電路的方法的一例進行說 明。
[0133] 關于本發明的導電性樹脂組合物,與上述各必需成分、W及可選成分的混煉分散 可W使用=漉磨、混合機等機械。
[0134] 將如此進行了分散的導電性樹脂組合物利用絲網印刷法、棒涂法、刮刀涂布法等 適宜的涂布方法涂布在基材上。
[0135] 涂布后,為了獲得指觸干燥性,優選將涂膜干燥。作為干燥方法,沒有特別限定。 例如,使用熱風循環式干燥爐、遠紅外線干燥爐等,在含簇基樹脂不會熱解的溫度、例如約 60~120°C下使其干燥5~40分鐘左右,使有機溶劑蒸發,由此得到不粘的涂膜。 陽136] 接著,使用具有規定的曝光圖案的負像掩模,實施接觸曝光或非接觸曝光。作為曝 光光源,可W使用面素燈、高壓隸燈、激光、金屬面化物燈、黑光燈、無極燈等。作為曝光量, 可W設為累計光量為200mJ/cm2W下的低光量。需要說明的是,可W不使用掩模,而利用激 光直接成像裝置在涂膜上形成圖案。
[0137] 接著,通過噴涂法、浸潰法等的顯影,使涂膜為圖案狀。作為顯影液,可W使用氨氧 化鋼、氨氧化鐘、碳酸鋼、碳酸鐘、娃酸鋼等金屬堿水溶液、單乙醇胺、二乙醇胺、=乙醇胺等 胺水溶液。可W特別優選地使用約1.5質量%^下的濃度的稀堿水溶液,但只要導電性樹 脂組合物中的含簇基樹脂的簇基被皂化、未固化部(未曝光部)被去除即可,并不限定于上 述那樣的顯影液。
[0138] 根據本發明的導電性樹脂組合物,通過使用稀堿水溶液作為顯影液,對涂膜的破 壞少,而且不會產生顯影殘渣的問題,能夠得到分辨率也優異的導電電路。 陽139] 因此,在本發明的一個方案中,對于導電電路的形成方法中使用的顯影液,優選是 NazCOs濃度為0. 05~0. 3質量%的稀堿水溶液,更優選是化2〔〇3濃度為0. 1~0. 2質量% 的稀堿水溶液。
[0140] 在顯影后,為了去除不需要的顯影液,優選進行水洗、酸中和。 陽141] 然后,將得到的導電電路在含簇基樹脂不會發生熱解的溫度下固化。由此,能夠 形成低電阻且具有細微圖案的導電電路。作為熱固化溫度,優選為180°C W下、更優選為 150°CW下、進一步優選為140°CW下、特別優選為130°CW下。
[0142] 運些工序中,沒有在高溫下進行賠燒,因此,作為基材,可W使用不具有耐熱性的 樹脂制的基材。具體而言,作為樹脂制的基材,例如可W舉出聚酷亞胺、聚醋系樹脂、聚酸 諷(PES)、聚苯乙締(P巧、聚甲基丙締酸甲醋(PMMA)、聚碳酸醋(PC)、聚酷胺(PA)、聚丙締 (PP)、聚苯酸(PPO)等,可W優選地使用聚醋系樹脂。需要說明的是,也可W為玻璃基板等。 陽1創[實施例]
[0144] W下基于實施例具體地說明本發明。但是,本發明并不限定于運些實施例。 陽145] <含簇基樹脂溶液的合成〉
[0146] 合成例1 :R-1清漆的合成
[0147] 在具備溫度計、攬拌機、滴液漏斗及回流冷凝器的燒瓶中,將甲基丙締酸甲醋和甲 基丙締酸W 0. 87 :0. 13的摩爾比投入,放入作為溶劑的二丙二醇單甲酸、作為催化劑的偶 氮二異下臘,在氮氣氛下、于8(TC攬拌6小時,得到含簇基樹脂溶液。關于該含簇基樹脂溶 液,質均分子量為約30000,固體成分酸值為IOOm巧OH/g,固體成分為40質量%。需要說明 的是,所得含簇基樹脂溶液的質均分子量通過連接有島津制作所株式會社制造的累LC-6AD 和3根昭和電工株式會社制造的柱化Odex (注冊商標)KF-804、KF-803、KF-802的高效液相 色譜儀來測定。W下,將該含簇基樹脂溶液稱為R-I清漆。 陽14引 < 含簇基(甲基)丙締酸醋單體(A)〉
[0149] ?單體 A-I
[0150] 作為含簇基(甲基)丙締酸醋單體,使用東亞合成株式會社制造的ARONIX M-510(單體A-1)。該單體A-I為通式(I)所示的化合物,其酸值為IOOm巧OH/g。 陽151] 此處,酸值是指通過根據"JISK2501-2003石油制品及潤滑油-中和值試驗方法" 中記載的方法的下述方法而測定的值。另外,關于后述的酸值也同樣。 陽152][酸值的測定方法] 陽153] 將試樣溶解在二甲苯和二甲基甲酯胺W 1 :1的質量比混合而成的滴定溶劑中,通 過電位滴定法、用0.1mol/L氨氧化鐘/乙醇溶液進行滴定。將滴定曲線上的拐點設為終點, 由氨氧化鐘溶液直至終點為止的滴定量算出酸值。 陽154] ?單體A-2
[0K5] 作為含簇基(甲基)丙締酸醋單體,使用東亞合成株式會社制造的ARONIX M-520 (單體A-2)。該單體A-2為通式(I)所示的化合物,其酸值為30m巧OH/g。 陽156] ?單體A-3
[0157] 作為含簇基(甲基)丙締酸醋單體,使用東亞合成株式會社制造的ARONIX T0-2359 (單體A-3)。該單體A-3為通式(I)所示的化合物,其酸值為70m巧OH/g。
[0158] <不含簇基的丙締酸醋單體度)〉
[0159] 作為不含簇基的丙締酸醋單體,使用新中村化學工業株式會社制造的U-4HA(單 體 B-1)。 陽16〇][導電性粉末] 陽161] 使用球狀的Ag粉末。Ag粉末的平均粒徑為0.4 ym。需要說明的是,平均粒徑是 使用電子顯微鏡(SEM)在10000倍下觀察到的隨機10個顆粒的平均粒徑。 陽162][光聚合引發劑] 陽16引 商品名JRGACURE 0XE02度ASF JAPAN株式會社制造)、1-巧-乙基-6-(2-甲基苯 甲酯基)-9H-巧挫-3-基]-1- (0-乙酷朽)乙酬 [0164][光聚合抑制劑] 陽1化]吩嚷嗦 陽166][有機酸] 陽167] 2, 2'-硫代二乙酸 陽1側[分散劑]
[0169] 商品名 DIS陽RBYK-IIUBYK Japan 邸.制造)
[0170] [封端異氯酸醋] 陽171] 商品名BI7982度axenden株式會社制造)異氯酸醋皿I S聚體封端劑二甲基化挫 (Dimethylpyrazole) 陽172][環氧樹脂]
[0173] 商品名:距R828 ( S菱化學株式會社制造)雙酪A型環氧樹脂
[0174] [導電性樹脂組合物的制備]
[01巧]使用后述表1記載的各成分和作為溶劑的乙酸卡必醇醋,利用=漉磨、混合機混 煉分散,粘度調整至固體成分80~90質量%。由此,得到該表中記載的各導電性樹脂組合 物。 陽176] <評價方法〉 陽177] 試輪片的制推 陽17引使用300目的聚醋絲網,將評價用的各導電性樹脂組合物整面涂布于聚醋樹脂制 的基材上,接著,在熱風循環式干燥爐中、于80°C下干燥30分鐘,形成指觸干燥性良好的涂 膜。然后,使用高壓隸燈作為光源,隔著負像掩模W導電性樹脂組合物上的累計光量成為 200mJ/cm2的方式進行圖案曝光,然后,使用液溫30°C的0. 2質量%化2〔〇3水溶液進行顯影, 水洗。最后,在140°C X30分鐘的條件下固化,制作形成有導電圖案膜的試驗片。 陽179](性能的評價方法)
[0180] 對于各種性能,如下所述進行評價。 陽181](分辨率)
[0182] 在試驗片的20 ym/20 ym的線和空間化/S)中,將完全沒有缺損的情況評價為A, 將有缺損的情況評價為B。 陽183](顯影殘渣)
[0184] 在光學顯微鏡100倍下觀察電路時,將電路間沒有殘渣的情況評價為A,將電路間 有殘渣的情況評價為B。
[0185] (電阻率) 陽186] 試驗片的制作:使用300目的聚醋絲網,將各導電性樹脂組合物整面涂布于聚醋 樹脂制的基材上,接著,在熱風循環式干燥爐中、于8(TC下干燥30分鐘,形成指觸干燥性良 好的涂膜。然后,使用高壓隸燈作為光源,隔著負像掩模W導電性組合物上的累計光量成為 200mJ/cm2的方式進行圖案曝光。接著,使用液溫30°C的、化2〔〇3濃度為0. 2質量%的碳酸 鋼水溶液進行顯影,水洗。最后,在140°C X30分鐘的條件下固化,制作形成有導電電路的 試驗片。 陽187] 電阻率的測定:利用上述方法形成4mmX IOcm的導電圖案電路,測定電阻值和膜 厚,算出電阻率。
[0188] (密合性)
[0189] 密合性:進行L/S = 20/20 Jim的圖案形成,進行Cellotape (注冊商標)剝離,將 完全沒有缺損的情況評價為A,將有缺損的情況評價為B。
[0190] (斷點) 陽191] 將印刷涂膜在熱風循環式干燥爐中、于80°C下干燥30分鐘,形成指觸干燥性良好 的涂膜后,使用液溫30°C的NazCOs濃度為0. 2質量%的碳酸鋼水溶液進行顯影,目視測定 從涂膜開始接觸顯影液直至涂膜消失為止的時間。 陽192] 表1匯總示出試驗結果。需要說明的是,表1中的各成分設及的數值沒有標注單 位時,表示質量份。
[0193][表 U 陽 194]
【主權項】
1. 一種導電性樹脂組合物,其含有:含羧基樹脂、導電性粉末、含羧基(甲基)丙烯酸 酯單體、光聚合引發劑及熱固化性成分。2. 根據權利要求1所述的導電性樹脂組合物,其中,所述含羧基(甲基)丙烯酸酯單體 的酸值為5~200mgK0H/g的范圍。3. 根據權利要求1或2所述的導電性樹脂組合物,其中,所述含羧基(甲基)丙烯酸酯 單體為下述通式(I)所示的化合物,式⑴中, η為O~4的整數; R各自獨立地為氫原子或甲基; 1^為 _〇_ 基、-(O-CH2CH2)nl-O-基、-(O-CH 2CH2CH2)n2-O-基,其中,nl 為 O ~8 的整數, n2為0~8的整數; L2為選自由單鍵、亞烷基、亞烯基、亞苯基、環亞烷基及環亞烯基組成的組中的基團。4. 根據權利要求1~3中任一項所述的導電性樹脂組合物,其中,所述熱固化性成分為 封端異氰酸酯。5. 根據權利要求1~4中任一項所述的導電性樹脂組合物,其中,所述導電性粉末的平 均粒徑為0. 1~10 μ m。6. -種導電電路,其使用權利要求1~5中任一項所述的導電性樹脂組合物而形成。
【文檔編號】G03F7/027GK106019834SQ201510817366
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2015年11月23日
【發明人】吉田貴大, 永野琢, 柳田伸行, 和泉伸郎, 和泉伸一郎, 大胡義和, 伊藤秀之, 青山良朋
【申請人】太陽油墨制造株式會社
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