技術總結
本實用新型涉及一種一體式硅片精細拋光機。當前，企業在對硅片進行拋光加工時需要經過粗拋與精拋兩道工序，兩道工序分別在兩臺設備進行，這不僅降低了加工效率，同時，不同設備的裝配誤差不同，這會導致硅片的加工誤差大，影響硅片的尺寸，存在不足。本實用新型涉及一種一體式硅片精細拋光機，其中：一級帶輪通過二級傳動帶與二級帶輪連接，二級帶輪與精拋砂輪同軸連接，一級帶輪與粗拋砂輪同軸連接，第一電機與主動齒輪同軸連接，主動齒輪與從動齒輪通過嚙合連接，從動齒輪與第一曲柄固定連接，第一曲柄與槽輪連接。本裝置采用一體式結構，在一臺設備中完成兩道工序，不僅提高了加工效率，同時降低加工誤差，提高硅片的尺寸精度。
技術研發人員：支秉旭
受保護的技術使用者：江西大杰新能源技術有限公司
文檔號碼：201620669400
技術研發日：2016.06.30
技術公布日：2017.01.25