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基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法與流程

文檔序號:12389497閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是按如下步驟:

一、分別用不同導熱率的材料接觸納米結構的硅基板;

二、激光照射納米結構的硅基板表面;

三、觀察硅基表面形態,并測量硅基表面凸起的長徑比。

四、總結硅基表面形態的變化規律。

2.如權利要求1所述基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是:不同導熱率的材料選用:絕熱材料、同種材料、導熱材料。

3.如權利要求2所述基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是:絕熱材料選用石棉、同種材料選用硅、導熱材料選用鋁。

4.基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是按如下步驟:

步驟一,用不同導熱率的材料接觸納米結構的硅基板四周;

步驟二,激光對納米結構的硅基板進行照射;

步驟三,關閉激光,觀察激光照射后的硅基板;

步驟四,測量硅基板的表面形態。

5.如權利要求4所述基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是:不同導熱率的材料選用:絕熱材料、同種材料、導熱材料。

6.如權利要求5所述基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是:絕熱材料為石棉,同種材料為硅,導熱材料為鋁。

7.如權利要求5或6所述基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是:步驟一,用絕熱材料、導熱材料和絕熱材料接觸硅基板的左右面,用絕熱材料、同種材料、絕熱材料去接觸硅基板前后面。

8.如權利要求4所述基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是:步驟二,激光的功率P=75mW,激光照射時間t=10s。

9.如權利要求4所述基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是:步驟三,硅基表面形態呈現棱錐形。

10.如權利要求4或9所述基于激光控制納米結構硅基表面形態的研究方法,其特征是:步驟四,硅基表面最大直徑D與最短直徑W的比值是0.74,最大高度H=950nm。

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