一種四探針測試儀的制作方法

本實用新型屬于單晶硅生產檢測設備領域，尤其是涉及一種四探針測試儀。

背景技術：

四探針測試儀是在半導體單晶生產過程中用來測試單晶斷面及表皮電阻率的測試儀器，但在實際使用過程中存在一定的不便，單晶硅的斷面往往需要測試中心點，R/2以及邊緣三個位置各四點共九個測試點，如圖1所示，而現在使用的四探針的連接探頭的連接臂是固定的。

以往的測試方法是通過在底座上來移動單晶段以改變測試點，但是隨著單晶直徑的增加，單晶的重量會逐漸增加，以氣摻單晶最常用的切斷長度270mm為例，表1為對應尺寸的一段單晶的重量。

表1 270mm氣摻單晶長度重量:

隨著單晶重量的增加，單晶段不但越來越難以移動，八寸的單晶已達22.8kg，在移動過程中稍有不慎，容易造成事故。

技術實現要素：

有鑒于此，本實用新型旨在提出一種四探針測試儀，以解決在單晶硅生產檢測過程中，隨著單晶重量的增加，單晶段不但越來越難以移動，且在移動過程中稍有不慎，容易造成事故的問題。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種四探針測試儀，包括底座，所述底座上固定連接有豎桿；所述豎桿上套有可旋轉連接臂和第一套筒，所述第一套筒通過固定螺絲固定在所述豎桿上；所述第一套筒位于所述可旋轉連接臂的下方，且兩者緊貼；所述可旋轉連接臂與所述豎桿轉動連接，所述可旋轉連接臂末端通過第一合頁連接有探頭；所述探頭電連接有顯示器。

將第一套筒有固定螺絲固定在豎桿上，既起到限定可旋轉連接臂豎直位置的作用，又起到托舉可旋轉連接臂的作用。

進一步的，所述豎桿表面為機械拋光面。

進一步的，所述可旋轉連接臂通過第二套筒轉動連接所述豎桿；所述第二套筒與所述可旋轉連接臂一體成型；所述第二套筒外徑大于所述第一套筒內徑。

進一步的，所述可旋轉連接臂包括第一連接臂和第二連接臂；所述第一連接臂套在所述豎桿上且通過所述第二套筒與豎桿轉動連接；所述第一連接臂與所述第二套筒一體成型；所述第二套筒位于所述第一套筒的上方，且兩者緊貼；所述第一連接臂末端通過第二合頁連接所述第二連接臂，所述第二連接臂末端通過第一合頁連接所述探頭。

進一步的，所述第一連接臂長度大于所述第二連接臂長度。

進一步的，所述第一連接臂和所述第二連接臂底部均與水平面平行。

進一步的，所述豎桿位于所述底座上表面的一側，且兩者固定連接。

進一步的，所述豎桿頂部設有一擋板；所述擋板的直徑大于所述第二套筒內徑。擋板的設置，可防止與第二套筒一體成型的可旋轉連接臂從豎桿上端脫出。

進一步的，所述固定螺絲位于所述第一套筒側面。

相對于現有技術，本實用新型所述的一種四探針測試儀具有以下優勢：

本實用新型所述的一種四探針測試儀，通過設置與豎桿旋轉連接的第二套筒以及與第二套筒一體成型的可旋轉連接臂，并在可旋轉連接臂的第一連接臂和第二連接臂中間設置第二合頁，可使探頭自由旋轉伸縮，檢測到單晶截面上的任一點，從而不再需要通過時刻移動單晶來改變測試點，減少了不必要的勞動，增加了安全性；通過設置連接探頭的第一合頁，可使探頭的四根探針自由調整方向，始終面向測試人，提高工作效率。

附圖說明

構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為現有技術中單晶硅斷面檢測點位置簡單示意圖；

圖2為本實用新型實施例所述的一種四探針測試儀檢測單晶硅斷面的簡單示意圖。

附圖標記說明：

1-底座；2-豎桿；3-第一套筒；4-固定螺絲；5-第一合頁；6-探頭；7-顯示器；8-第二套筒；9-第一連接臂；10-第二連接臂；11-第二合頁；12-擋板；13-單晶段。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。

在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以通過具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。

下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。

如圖2所示，一種四探針測試儀，包括底座1，所述底座1上固定連接有豎桿2；所述豎桿2上套有可旋轉連接臂和第一套筒3，所述第一套筒3通過固定螺絲4固定在所述豎桿2上；所述第一套筒3位于所述可旋轉連接臂的下方，且兩者緊貼；所述可旋轉連接臂與所述豎桿2轉動連接，所述可旋轉連接臂末端通過第一合頁5連接有探頭6；所述探頭6電連接有顯示器7。

所述豎桿2表面為機械拋光面。

所述可旋轉連接臂通過第二套筒8轉動連接所述豎桿2；所述第二套筒8與所述可旋轉連接臂一體成型；所述第二套筒8外徑大于所述第一套筒3內徑。

所述可旋轉連接臂包括第一連接臂9和第二連接臂10；所述第一連接臂9套在所述豎桿2上且通過所述第二套筒8與豎桿2轉動連接；所述第一連接臂9與所述第二套筒8一體成型；所述第二套筒8位于所述第一套筒3的上方，且兩者緊貼；所述第一連接臂9末端通過第二合頁11連接所述第二連接臂10，所述第二連接臂10末端通過第一合頁5連接所述探頭6。

所述第一連接臂9長度大于所述第二連接臂10長度，所述第二連接臂的長度為100mm。

所述第一連接臂9和所述第二連接臂10底部均與水平面平行。

所述豎桿2位于所述底座1上表面的一側，且兩者固定連接。

所述豎桿2頂部設有一擋板12；所述擋板12的直徑大于所述第二套筒8內徑。

所述固定螺絲4位于所述第一套筒3側面。

本實施例的工作過程為：

使用時，將待檢測單晶段13放置在所述底座1上，通過所述固定螺絲4調整所述第一套筒3，進而調整所述第一連接臂9的高度至最佳檢測高度，通過轉動所述第一連接臂9可對單晶表面寬度范圍內的點進行檢測；由于所述第一連接臂9和第二連接臂10通過第二合頁11連接，則通過調整所述第二連接臂9的位置，可實現單晶表面不同長度范圍內點的檢測；整個工作過程中，可通過所述第一合頁5調整所述探頭6位置，確保其始終面向測試人。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。