本發明涉及半導體技術領域，特別涉及一種用于WAT(晶圓驗收測試)檢測機的探針結構。
背景技術：
現有WAT檢測機的主流方案是：探針固定，當晶圓上待檢測觸點與探針在豎直方向對齊時，微位移機構在電機的作用下驅動晶圓盤垂直向上微運動，以實現探針與晶圓上待檢測觸點的接觸，完成檢測；此微位移機構有的采用絲杠導軌，有的采用凸輪，其裝配復雜，運動效率低，易磨損，且維修復雜。
技術實現要素：
本發明目的是提供一種用于WAT檢測機的探針結構，解決現有技術中存在的上述問題。
本發明解決上述技術問題的技術方案如下：
一種用于WAT檢測機的探針結構，包括壓電陶瓷彎曲致動片，所述壓電陶瓷彎曲致動片一端設置有探針，另一端設置在固定支架上；所述壓電陶瓷彎曲致動片的正負接線處通過導線與電源電連接，所述電源與控制器電連接。
本發明的有益效果是：當晶圓上待檢測觸點與探針在豎直方向對齊時，控制器驅動電源給壓電陶瓷彎曲致動片施加電壓，壓電陶瓷彎曲致動片在電壓的驅動下向下彎曲，帶動探針向下移動，以實現探針與晶圓上待檢測觸點接觸，完成檢測；用壓電陶瓷彎曲致動片帶動探針向下移動替代現有技術中微位移機構在電機作用下驅動晶圓盤向上移動；有效避免了微位移機構裝配復雜，運動效率低，易磨損，且維修復雜的問題；且探針移動，移動負載小，有效提高探針與晶圓上待檢測觸點的接觸精度，提高測試性能。
在上述技術方案的基礎上，本發明還可以做如下改進。
進一步，所述固定支架包括固定板和連接板；所述連接板一端與所述固定板連接，另一端與位于其上方的第一固定蓋板相配合夾緊所述壓電陶瓷彎曲致動片；所述連接板上開設有與所述正負接線處的焊點相匹配的凹槽。
采用上述進一步方案的有益效果是，連接板上開設有凹槽，壓電陶瓷彎曲致動片的正負接線處的焊點位于凹槽內，便于連接板與第一固定蓋板相配合夾緊壓電陶瓷彎曲致動片；且防止當連接板為金屬材質時，與焊點接觸導電；防止焊點裸露在外，受外界環境損傷。
進一步，所述連接板與所述第一固定蓋板通過螺釘連接夾緊所述壓電陶瓷彎曲致動片。
采用上述進一步方案的有益效果是，可通過調節螺釘改變連接板與第一固定蓋板之間的距離，實現對壓電陶瓷彎曲致動片夾緊的同時，不會損傷壓電陶瓷彎曲致動片。
進一步，所述固定板、連接板和第一固定蓋板的材質均為鋁合金；所述連接板和第一固定蓋板與所述壓電陶瓷彎曲致動片相接觸的接觸面上均設置有隔離膠。
采用上述進一步方案的有益效果是，鋁合金質輕且不易變形，保證探針與晶圓上待檢測觸點的接觸精度；隔離膠防止鋁合金材質的連接板和第一固蓋板損傷壓電陶瓷彎曲致動片，或與壓電陶瓷彎曲致動片接觸導電。
進一步，所述固定板為L型結構；所述固定板的一端與所述壓電陶瓷彎曲致動片平行或共面，并與所述連接板固定連接；所述固定板的另一端與所述壓電陶瓷彎曲致動片垂直設置，用于固定所述探針結構。
采用上述進一步方案的有益效果是，L型結構固定板利于探針結構的固定。
進一步，所述壓電陶瓷彎曲致動片上設置有固定基板，所述固定基板與位于其上方的第二固定蓋板相配合夾緊所述探針。
進一步，所述固定基板與所述第二固定蓋板通過螺釘連接夾緊所述探針。
采用上述進一步方案的有益效果是，可通過調節螺釘改變固定基板與第二固定蓋板之間的距離，實現對探針夾緊的同時，不會損傷探針。
進一步，所述固定基板通過環氧樹脂固定在所述壓電陶瓷彎曲致動片上。
采用上述進一步方案的有益效果是，采用環氧樹脂固定，防止損傷壓電陶瓷彎曲致動片。
進一步，所述導線上并聯或串聯有電流表。
采用上述進一步方案的有益效果是，當探針與晶圓上待檢測觸點接觸時，探針受待檢測觸點反作用力，并進一步將此反作用力施加到壓電陶瓷彎曲致動片，壓電陶瓷彎曲致動片由于壓電效應便會產生電流；在導線上并聯或串聯電流表，通過電流表的量測值折算出壓電陶瓷彎曲致動片受探針與待檢測觸點接觸的反作用力，獲知探針與待檢測觸點接觸的作用力，從而有效控制探針與待檢測觸點接觸的作用力，保證探針與待檢測觸點有效接觸的同時，不會損傷晶圓。
附圖說明
圖1為本發明一種用于WAT檢測機的探針結構示意圖。
附圖中，各標號所代表的部件列表如下：
1、壓電陶瓷彎曲致動片，11、固定基板，12、第二固定蓋板，2、探針，3、固定支架，31、固定板，32、連接板，33、第一固定蓋板，321、凹槽，4、螺釘。
具體實施方式
以下結合附圖對本發明的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本發明，并非用于限定本發明的范圍。
如圖1所示，一種用于WAT檢測機的探針結構，包括壓電陶瓷彎曲致動片1，所述壓電陶瓷彎曲致動片1一端設置有探針2，另一端設置在固定支架3上；所述壓電陶瓷彎曲致動片1的正負接線處通過導線與電源電連接，所述電源與控制器電連接。
所述固定支架3包括固定板31和連接板32；所述連接板32一端與所述固定板31連接，另一端與位于其上方的第一固定蓋板33相配合夾緊所述壓電陶瓷彎曲致動片1；所述連接板32上開設有與所述正負接線處的焊點相匹配的凹槽321。所述連接板32與所述第一固定蓋板33通過螺釘4連接夾緊所述壓電陶瓷彎曲致動片1。所述固定板31、連接板32和第一固定蓋板33的材質均為鋁合金；所述連接板32和第一固定蓋板33與所述壓電陶瓷彎曲致動片1相接觸的接觸面上均設置有隔離膠。所述固定板31為L型結構；所述固定板31的一端與所述壓電陶瓷彎曲致動片1平行或共面，并與所述連接板32通過螺釘4固定連接；所述固定板31的另一端與所述壓電陶瓷彎曲致動片1垂直設置，用于固定所述探針結構。
所述壓電陶瓷彎曲致動片1上設置有固定基板11，所述固定基板11與位于其上方的第二固定蓋板12相配合夾緊所述探針2。所述固定基板11與所述第二固定蓋板12通過螺釘4連接夾緊所述探針2。所述固定基板11通過環氧樹脂固定在所述壓電陶瓷彎曲致動片1上。
所述導線上并聯或串聯有電流表。
以上所述僅為本發明的較佳實施例，并不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。